板的边缘。通过以运送器框架覆盖基板的边缘，可由框架提供遮罩从而产生如上所述的边缘排除。举例来说，运送器框架的边缘排除功能可依照运送器框架的基板接收表面而定。
[0076]图9绘示方法700的实施例。方法700包括可分别对应至方块510、520及530或方块610、620及630的方块710、720及730。在方法700中，其中稳固地将基板固定在固定点包括:在方块725中，防止基板在沉积腔室中的操作期间在固定装置所提供的固定点相对于运送器移动。通过稳固地将基板固定至运送器，基板耦接至运送器，以限制基板对运送器的相对移动。然而，基板及运送器仍能彼此独立地膨胀。
[0077]根据本文所描述的某些实施例，本文所描述的方法中所使用的运送器框架包括基板接收表面，示例性地示为基板接收表面480。在某些实施例中，底框架部的中央区域对应于底框架部的基板接收表面的中央区域。然而，在某些实施例中，基板可在底框架部的基板接收表面的中央区域稳固地固定至运送器。
[0078]除了通过根据本文所描述的实施例的运送器所达到的上述效果外，几个进一步期望的效果与如本文所描述的运送器的使用联系在一块。举例来说，通过提供一小的、定义的但仍存在的排除涂膜之外的区域，边缘以排除可以根据本文所描述的实施例的运送器进行优化。此外，根据实施例，相较于昂贵的钛镶嵌，通过使用运送器中的固定装置，可节省成本与昂贵材料。
[0079]根据某些实施例，运送器的另一个效果是由于基板在运送器携带部内部移动的可能性较低，基板边缘上的刮痕减少。通过稳固地将基板固定在一固定点，基板稳固地保持在运送器之中，且基板的位置可准确地定义。准确地定义基板在运送器内的位置有助于提高广品的品质。
[0080]根据本文所描述的实施例，运送器的进一步效果是边缘排除可设计得较小(特别是由于精度的提升)，这增加了整体的工艺效率。并且，由于与已知的系统相比可省略钛镶嵌，使运送器中所使用的部件数量减少。通过使用实质上已知的夹钳的设计作为固定装置并增加夹持力，可进一步突显出此效果。
[0081]根据本文所描述的实施例，尽管防止基板在运送器之内移动，但同时允许基板由固定点在各个方向膨胀，可减低基板在运送器中破裂的风险。
[0082]虽然前述内容针对本发明的实施例，本发明的其它和进一步的实施例可在不脱离本发明的基本范围内而设计出来，本发明的范围当视后附的权利要求所界定者为准。
【主权项】
1.一种在沉积腔室中用以运送基板(210 ;310)的运送器(200 ;300 ;400)，包括:框架(240 ；250 ；260 ；270 ；340 ；350 ；360 ；370 ；440 ；450 ；460 ;470)，用以垂直地保持所述基板(210 ;310)，其中所述框架具有实质上为矩形的形状，并具有底框架部(240 ;340 ;.440)； 固定装置(225 ;325)，用以稳固地将所述基板(210;310)固定至所述运送器(200;.300 ;400)，其中所述固定装置(225 ;325)设置在所述底框架部(240 ；340 ；440)的中央区域中；以及 一个或多个支撑构件(220 ;230 ;320)，用以支撑但并非稳固地固定所述基板(210 ;.310) .2.如权利要求1所述的运送器，其中所述运送器包括在所述底框架部(240;340 ;440)的中央区域中的一个单一固定装置(225 ;325)，以稳固地将所述基板(210 ;310)固定至所述运送器(200 ；300 ；400) ο3.如权利要求1至2中任一项所述的运送器，其中所述一个或多个支撑构件(220;.230 ；320)设置在所述框架(240 ；250 ；260 ；270 ；340 ；350 ；360 ；370 ；440 ；450 ；460 ；470)的所述底框架部(240 ;340)。4.如权利要求1至3中任一项所述的运送器，其中所述固定装置(225;325)包括夹钳。5.如权利要求4所述的运送器，其中所述夹钳包括弹簧。6.如权利要求1至5中任一项所述的运送器，其中所述框架(240；250 ；260 ；270 ；340 ；.350 ；360 ；370 ；440 ；450 ；460 ；470)及所述固定装置(225 ；325)适用于稳固地固定所述基板(210 ;310)，所述基板具有在约0.3mm至约1.5mm的范围内的厚度。7.如权利要求1至6中任一项所述的运送器，其中所述固定装置(225;325)适用于在所述沉积腔室中的操作期间，防止所述基板(210 ;310)在所述固定装置(225 ;325)所提供的固定点(481)相对于所述运送器(200 ；300 ；400)的移动。8.如权利要求1至7中任一项所述的运送器，其中所述框架(240；250 ；260 ；270 ；340 ；.350 ;360 ;370 ;440 ;450 ;460 ;470)包括基板接收表面(480)，其中所述底框架部(240 ;.340 ；440)的所述中央区域对应于所述基板接收表面(480)的底部的中央区域(481 ;482)。9.如权利要求1至7中任一项所述的运送器，其中所述框架(240；250 ；260 ；270 ；340 ；.350 ;360 ;370 ;440 ;450 ;460 ;470)包括基板接收表面(480)，其中所述底框架部(240 ;.340 ;440)的所述中央区域对应至所述基板接收表面(480)的底部的中央区域，所述基板接收表面的底部的所述中央区域包括所述基板接收表面(480)的底部的中心(481)以及所述基板接收表面(480)在各个方向上长度(487)约15%的偏差。10.如权利要求1至9中任一项所述的运送器，其中所述运送器框架(240;250 ;260 ;.270 ；340 ；350 ；360 ；370 ；440 ；450 ；460 ；470)适用于提供所述基板(210 ；310)的边缘排除。11.一种在沉积工艺期间于沉积腔室中以运送器(200 ;300 ;400)运送基板(210 ;310)的方法，所述运送器包括用以垂直地保持所述基板(210 ;310)的框架(240 ;250 ;260 ;270 ;.340 ；350 ；360 ；370 ；440 ；450 ；460 ;470)，其中所述框架具有实质上为矩形的形状并具有底框架部(240 ；340 ;440)，所述方法包括: 以位于所述底框架部的中央区域的固定装置(225 ;325)稳固地将所述基板(210 ;310)固定至所述运送器(200 ；300 ；400);以及 以一个或多个支撑构件(220 ；230 ；320)在所述运送器(200 ；300 ；400)中支撑所述基板(210 ;310)，但并非以所述支撑构件稳固地固定所述基板。12.如权利要求11所述的方法，其中稳固地将所述基板(210;310)固定至所述运送器(200 ；300 ；400)包括以一个单一固定装置(225 ；325)稳固地将所述基板(210 ；310)固定至所述运送器(200 ；300 ；400) ο13.如权利要求11至12中任一项所述的方法，其中稳固地固定所述基板(210；310)包括在所述沉积腔室中的操作期间，防止所述基板(210 ;310)在所述固定装置(225 ;325)所提供的固定点相对于所述运送器(200 ;300 ;400)的移动。14.如权利要求11至13中任一项所述的方法，更包括以所述运送器框架(240;250 ;.260 ；270 ；340 ；350 ；360 ；370 ；440 ；450 ；460 ；470)覆盖所述基板(210)的边缘。15.如权利要求11至14中任一项所述的方法，其中所述框架(240；250 ；260 ；270 ；.340 ；350 ；360 ；370 ；440 ；450 ；460 ；470)包括基板接收表面(480)，其中所述底框架部(240 ；340 ；440)的所述中央区域对应至所述基板接收表面(480)的中央区域。
【专利摘要】描述一种在沉积腔室中用以运送基板(210；310)的运送器(200；300；400)。运送器包括：用以垂直地保持基板(210；310)的框架(240；250；260；270；340；350；360；370；440；450；460；470)，其中框架具有实质上为矩形的形状，并具有底框架部(240；340；440)；用以稳固地将基板(210；310)固定至运送器(200；300；400)的固定装置(225；325)，其中固定装置(225；325)设置在底框架部(240；340；440)的中央区域中；及用以支撑但并非稳固地固定基板(210；310)的一个或多个支撑构件(220；230；320)。此外，描述一种在沉积期间用以运送基板的方法。
【IPC分类】C03C17/00, C23C14/50
【公开号】CN105189811
【申请号】CN201380074572
【发明人】R·欣特舒斯特, A·布吕宁
【申请人】应用材料公司
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2013年3月15日
【公告号】EP2971225A1, US20160053361, WO2014139594A1