脱气处理装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及用于通过将带状的被成膜材加热来进行其脱气处理的装置。
【背景技术】
[0002]有时在对由长条的薄膜或薄片构成的薄壁的被成膜材通过溅镀或等离子CVD进行成膜之前，作为其前处理而进行脱气处理。该脱气处理是将上述被成膜材加热并使残留于其中的低聚体及水分成为气体且从该被成膜材除去的处理，该被成膜材的加热例如通过从板式加热器向该被成膜材的辐射或加热辊与被成膜材的直接的接触来进行。
[0003]以往，作为使用上述板式加热器的脱气处理装置，已知有专利文献1所记载的结构。该装置包括分别排列在上侧和下侧的多个辊、多片的板式加热器和收纳它们的腔室。上侧的辊和下侧的辊分别在上述行进方向上相互错开位置地配置，以便一边将被成膜材沿上下方向输送一边使其沿水平方向行进。上述板式加热器以直立姿势设置在该被输送的被成膜材中的在上述行进方向上彼此相邻的垂直部分彼此之间，通过辐射将位于该板式加热器的两侧的被成膜材的部分加热。上述腔室具有将上述各自由辊的两端能够旋转地支承的侧壁。
[0004]在上述那样的基于多个自由辊与板式加热器的组合的脱气处理装置中，由于构成要素的空间填充率高，所以能够实现装置的紧凑化，相反地，存在维护作业不容易的问题，例如各自由辊和板式加热器的清扫及被成膜材的所谓通纸的作业。即，在上述腔室内，由于多个辊、在被输送的被成膜材中相互在行进方向上相邻的多个部分及配置在这些部分之间的板式加热器在行进方向上密集，所以进行它们的维护等并不容易。
[0005]作为用来使得该维护可能的通常的方法，可以考虑在构成上述腔室的壁中的不贡献于上述各自由辊的支承的顶壁上设置较大的作业用的开口，但利用该开口，难以期待有效且高效的维护作业。具体而言，在从上侧经由该开口观察组合了上述自由辊和板式加热器的集合体的情况下，由于相对于被成膜材的行进方向(排列自由辊和板式加热器的方向)上的自由辊和板式加热器、被成膜材的间隙的尺寸较小，该集合体的进深的尺寸(即上下方向的尺寸)较大，所以即使作业人员将手从该开口插入来进行作业，在能够进行该作业的范围方面也有显著的限制。
[0006]专利文献1:日本特开2010 - 053382号公报。
【发明内容】
[0007]本发明的目的是提供一种脱气处理装置，包括用于一边将被成膜材沿上下方向输送一边使其沿左右方向行进的多个辊及多个板式加热器，能够高效地进行其维护。
[0008]本发明提供一种进行脱气处理的装置，通过将沿特定方向延伸的带状的被成膜材一边沿其纵长方向输送一边加热来进行该被成膜材的脱气处理，其中包括:多个引导辊，一边将上述被成膜材沿上下输送，一边引导该被成膜材以使其沿与上述上下方向正交的特定的行进方向行进，包括在上述行进方向上隔开间隔地排列的多个上侧辊、和在比上述上侧辊靠下侧的位置在上述行进方向上隔开间隔地排列的多个下侧辊；至少一个板式加热器，以直立姿势配设于沿上下方向被输送的被成膜材中的在上述行进方向上彼此相邻的部分彼此之间，发热以将该部分加热；和腔室，收纳上述引导辊和上述板式加热器。腔室包括外壁，所述外壁将上述引导辊和上述板式加热器包围，形成有将该外壁的内外连通的开口。该外壁包括前侧壁和后侧壁，当设与上述各引导辊的旋转中心轴平行的方向为前后方向时，所述前侧壁和后侧壁分别位于上述引导辊和上述板式加热器的该前后方向的两侧，这些前侧壁和后侧壁分别包括将上述各上侧辊的轴向端部能够旋转地支承的上侧辊支承部、和在比该上侧辊支承部靠下侧的位置将上述各下侧辊的轴向端部能够旋转地支承的下侧辊支承部。在上述开口中，包括在上述前侧壁和后侧壁的至少一方上形成在其上侧辊支承部与下侧辊支承部之间的区域中的辊间开口，该辊间开口具有将沿上下方向被输送的上述被成膜材和上述各板式加热器沿上述行进方向横穿的形状。
【附图说明】
[0009]图1是本发明的第1实施方式的成膜装置的剖面主视图。
[0010]图2是图1的II — II线剖视图。
[0011]图3是本发明的第2实施方式的成膜装置的剖面主视图。
[0012]图4是本发明的第2实施方式的成膜装置的俯视图。
【具体实施方式】
[0013]参照【附图说明】本发明的优选实施方式。
[0014]图1和图2表示本发明的第1实施方式的脱气处理装置。该实施方式的脱气处理装置例如作为构成成膜系统的单元之一构成。具体而言，如图1所示，该脱气处理装置配置在执行其上游侧的加工的上游侧单元U1与执行其下游侧的加工的下游侧单元U2之间，通过将从上述上游侧单元U1排出的带状的被成膜材10 —边沿其纵长方向输送一边加热来进行脱气处理，将其处理后的被成膜材10送至上述下游侧单元U2。上述被成膜材10例如是如塑料制的薄膜那样长条且具有挠性的，其脱气处理通过将上述被成膜材10加热而使该被成膜材10中包含的残留的低聚体及水分成为气体并从该被成膜材分离来进行。在将该脱气处理装置组装到例如用于对被成膜材10的表面实施成膜的成膜系统中的情况下，例如包括展开滚筒的展开单元对应于上述上游侧单元U1，例如包括成膜辊的成膜单元对应于上述下游侧单元U2。
[0015]该实施方式的脱气处理装置包括多个引导辊、多个板式加热器12、收纳这些引导辊和板式加热器12的腔室14、和将该腔室14从下方支承的支承框架16。
[0016]如图1所示，上述多个引导辊配置为，一边将上述被成膜材10沿上下方向输送，一边引导该被成膜材10以使其沿着与上下方向正交的特定的行进方向即左右方向行进，上述多个引导辊分别由腔室14支承，以便能够绕沿着装置的前后方向(图1的进深方向)延伸的轴旋转。
[0017]具体而言，上述多个引导辊包括多个上侧辊18A和多个下侧辊18B。各上侧辊18A在特定的高度位置(在该实施方式中是腔室14的上端附近的高度位置)在上述行进方向(左右方向)上隔开与下侧辊18B的直径大致相同的间隔地排列。各下侧辊18B在比上述上侧辊18A靠下侧的高度位置(在该实施方式中是腔室14的下端附近的高度位置)相互隔开间隔地排列，以使其关于上述行进方向位于彼此相邻的上侧辊18A彼此之间。在本发明中，弓丨导辊的个数没有限定，但在该实施方式中，在上下分别排列有4个上侧辊18A和3个下侧辊18B，因而，相对于这些辊18A、18B的组，将被成膜材10从上侧辊18A的高度位置导入并从相同的高度位置导出。
[0018]对于这些上侧辊18A和下侧辊18B，上述被成膜材10交替地穿过各上侧辊18A的上侧和各下侧辊18B的下侧，以交错状架设在这些辊18A、18B上。因而，通过对该被成膜材10施加沿着其纵长方向的输送力，使得能够一边将该被成膜材10沿上下方向输送一边使其沿左右方向行进。
[0019]上述各板式加热器12呈平板状，配设在通过其自身的发热将上述被成膜材10高效地加热的位置。具体而言，如上述那样架设在辊18A、18B上以沿上下方向被输送的被成膜材10具有在其行进方向上排列的多片(在图1所示的例子中有共计6片)垂直部分10a，而上述板式加热器12以直立姿势配置以夹在这些垂直部分10a中的彼此相邻的部分彼此之间。在本发明中，板式加热器的个数也没有限定，但在该实施方式中，在从上述行进方向的上游侧数位于第2个和第3个的位置的垂直部分10a彼此之间、和位于第4个和第5个的位置的垂直部分10a彼此之间，分别配置上述板式加热器12。
[0020]上述腔室14包括将上述引导辊18A、18B及上述板式加热器12包围的外壁，所述外壁形成有将该外壁的内外连通的多个开口。上述外壁具有前侧壁20、后侧壁22、左侧壁24、右侧壁26、顶壁28及底壁30。
[0021]上述前侧壁20和上述后侧壁22是在如上述那样设与各辊18A、18B的旋转中心轴平行的方向为装置的前后方向时位于该辊18A、18B及板式加热器12的该前后方向的两侧的侧壁，以直立的姿势将该辊18A、18B的轴向端部分别能够旋转地支承。即，前侧壁20和后侧壁22具有将上侧辊18A