半导体蒸发台用热电偶保护装置的制造方法

文档序号:9560831
半导体蒸发台用热电偶保护装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种半导体加工装置,尤其是一种半导体蒸发台用热电偶保护装置。
【背景技术】
[0002]半导体加工过程中需涉及蒸发台的使用,蒸发台中需采用热电偶对其进行温度传感工作。传统蒸发台的热电偶仅在其两端连接有相关部件,然而,由于热电偶的特性,蒸发台中飞溅的蒸发源沾覆至热电偶表面时发生的热熔现象极易损坏热电偶,同时,在清洁蒸发台腔体的过程中,热电偶亦容易被清洁设备折断。

【发明内容】

[0003]本发明要解决的技术问题是提供一种半导体蒸发台用热电偶保护装置,其可对于温度传感用的热电偶起到良好的保护作用。
[0004]为解决上述技术问题,本发明涉及一种半导体蒸发台用热电偶保护装置,其包括有蒸发室腔体,蒸发室腔体内部设置有用于检测温度的温度传感装置,温度传感装置中包含有热电偶;其特征在于,所述半导体蒸发台用热电偶保护装置包含有热电偶保护套,其沿水平方向进行延伸,所述热电偶设置于热电偶保护套内部。
[0005]作为本发明的一种改进,所述热电偶保护套的长度至少为热电偶长度的3/4,其可确保保护套对热电偶起到足够的保护作用。
[0006]作为本发明的一种改进,所述热电偶保护套之中设置有多个在水平方向上延伸的第一固定端板,第一固定端板与蒸发室腔体的下端面之间通过螺栓进行连接。采用上述设计,其可通过第一固定端板使得热电偶与蒸发室腔体之间保持稳定连接,从而避免因机械振动等因素导致热电偶损坏。
[0007]作为本发明的一种改进,所述蒸发室腔体之中设备多根支撑杆件,支撑杆件于蒸发室腔体的上端面与下端面之间进行延伸;所述热电偶保护套之中设置有多个在竖直方向上延伸的第二固定端板,每一个第二固定端板均位于支撑杆件的侧端部,第二固定端板与支撑杆件之间通过螺栓进行连接。采用上述设计,其一方面可通过支撑杆件使得蒸发室腔体的稳定性得以进一步的改善,另一方面,其可通过第二固定端板的设置使得热电偶及其保护套的稳定性得以进一步的提升。
[0008]采用上述技术方案的半导体蒸发台用热电偶保护装置,其可通过热电偶保护套以对热电偶起到良好的保护作用,从而避免热电偶受腔体内其余部件影响而发生损坏,同时期亦可避免热电偶与蒸发台其余部件接触导致短路现象。
【附图说明】
[0009]图1为本发明示意图;
图2为本发明中热电偶保护套俯视图;
附图标记列表: 1 一蒸发室腔体、2—热电偶、3—热电偶保护套、4 一第一固定端板、5—支撑杆件、6—第二固定端板。
【具体实施方式】
[0010]下面结合【具体实施方式】,进一步阐明本发明,应理解下述【具体实施方式】仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。需要说明的是,下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向,词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
[0011]实施例1
如图1与图2所示的一种半导体蒸发台用热电偶保护装置,其包括有蒸发室腔体1,蒸发室腔体1内部设置有用于检测温度的温度传感装置,温度传感装置中包含有热电偶2 ;所述半导体蒸发台用热电偶保护装置包含有热电偶保护套3,其沿水平方向进行延伸,所述热电偶2设置于热电偶保护套3内部。
[0012]作为本发明的一种改进,所述热电偶保护套3的长度为热电偶2长度的3/4,其可确保保护套对热电偶起到足够的保护作用。
[0013]作为本发明的一种改进,所述热电偶保护套3之中设置有多个在水平方向上延伸的第一固定端板4,第一固定端板4与蒸发室腔体1的下端面之间通过螺栓进行连接。采用上述设计,其可通过第一固定端板使得热电偶与蒸发室腔体之间保持稳定连接,从而避免因机械振动等因素导致热电偶损坏。
[0014]采用上述技术方案的半导体蒸发台用热电偶保护装置,其可通过热电偶保护套以对热电偶起到良好的保护作用,从而避免热电偶受腔体内其余部件影响而发生损坏,同时期亦可避免热电偶与蒸发台其余部件接触导致短路现象。
[0015]实施例2
作为本发明的一种改进,如图1所示,所述蒸发室腔体1之中设备多根支撑杆件5,支撑杆件5于蒸发室腔体的上端面与下端面之间进行延伸;所述热电偶保护套3之中设置有多个在竖直方向上延伸的第二固定端板6,每一个第二固定端板6均位于支撑杆件5的侧端部,第二固定端板6与支撑杆件5之间通过螺栓进行连接。采用上述设计,其一方面可通过支撑杆件使得蒸发室腔体的稳定性得以进一步的改善,另一方面,其可通过第二固定端板的设置使得热电偶及其保护套的稳定性得以进一步的提升。
[0016]本实施例其余特征与优势均与实施例1相同。
【主权项】
1.一种半导体蒸发台用热电偶保护装置,其包括有蒸发室腔体,蒸发室腔体内部设置有用于检测温度的温度传感装置,温度传感装置中包含有热电偶;其特征在于,所述半导体蒸发台用热电偶保护装置包含有热电偶保护套,其沿水平方向进行延伸,所述热电偶设置于热电偶保护套内部。2.按照权利要求1所述的半导体蒸发台用热电偶保护装置,其特征在于,所述热电偶保护套的长度至少为热电偶长度的3/4。3.按照权利要求2所述的半导体蒸发台用热电偶保护装置,其特征在于,所述热电偶保护套之中设置有多个在水平方向上延伸的第一固定端板,第一固定端板与蒸发室腔体的下端面之间通过螺栓进行连接。4.按照权利要求3所述的半导体蒸发台用热电偶保护装置,其特征在于,所述蒸发室腔体之中设备多根支撑杆件,支撑杆件于蒸发室腔体的上端面与下端面之间进行延伸;所述热电偶保护套之中设置有多个在竖直方向上延伸的第二固定端板,每一个第二固定端板均位于支撑杆件的侧端部,第二固定端板与支撑杆件之间通过螺栓进行连接。
【专利摘要】本发明公开了一种半导体蒸发台用热电偶保护装置,其包括有蒸发室腔体,蒸发室腔体内部设置有用于检测温度的温度传感装置,温度传感装置中包含有热电偶;其特征在于,所述半导体蒸发台用热电偶保护装置包含有热电偶保护套,其沿水平方向进行延伸,所述热电偶设置于热电偶保护套内部;采用上述技术方案的半导体蒸发台用热电偶保护装置,其可通过热电偶保护套以对热电偶起到良好的保护作用,从而避免热电偶受腔体内其余部件影响而发生损坏。
【IPC分类】C23C14/24, C23C14/34, C23C14/56, H01L21/67
【公开号】CN105316644
【申请号】CN201510806322
【发明人】史进, 伍志军
【申请人】苏州赛森电子科技有限公司
【公开日】2016年2月10日
【申请日】2015年11月20日
再多了解一些
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