在线型化学气相沉积系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及在线型化学气相沉积系统(in-line type chemical vapordeposit1n system)，并且更具体地，涉及能够精确地使沉积对象保持在某一工艺温度并且同时进行水平运动以便适合于该在线型化学气相沉积方法的结构的在线型化学气相沉积系统。
【背景技术】
[0002]化学气相沉积CVD技术已被广泛用于精确制造半导体，液晶显示器等领域以及一般工业领域，特别是，具有高沉积效率的等离子体增强化学气相沉积PECVD已被广泛使用。
[0003]—般来说，关于PECVD，更多地使用进行化学气相沉积方法的单晶片型方法，其中一个或多个沉积对象载置在腔室内并且该腔室的整个内部保持在真空环境，以便向整个腔室的内部注入反应物。
[0004]然而，单晶片型化学气相沉积技术在其方法的自动化和非常困难的方法粘性时间的减少方面具有局限性。
【发明内容】
[0005]因此，本发明是为了解决在现有技术中出现的上述问题，并且本发明的目的是提供一种能够精确地使沉积对象保持在某一工艺温度并且同时进行水平运动以便适合于该在线型化学气相沉积方法的结构的在线型化学气相沉积系统。
[0006]为了实现上述目的，根据本发明，提供了一种在线型化学气相沉积系统，包括:布置在中心并且在腔室内在水平方向上移动沉积对象的同时在沉积对象的表面上进行薄膜的化学气相沉积的加工腔室；设置在加工腔室的一侧并提供沉积对象进入该加工腔室的装载腔室；以及设置在装载腔室的相对侧并从该加工腔室接收沉积对象以便将沉积对象排出到外部的卸载腔室。
[0007]根据本发明，沉积对象优选地包括:预定板状的安装盘；以及多个以预定间隔设置在该安装盘的顶表面上的沉积对象基板。
[0008]此外，根据本发明，该加工腔室优选地包括:用于在内部形成预定的真空空间的腔室；设置在该腔室内的上侧的中心并且为了沉积源材料到沉积对象表面的沉积在向下的方向上将沉积源材料喷洒成线状的线沉积部件；在该腔室内设置在装载腔室侧并且接收从该装载腔室提供的沉积对象的接收部件；设置在该腔室内的下侧并接收在接收部件接收到的沉积对象以便水平移动沉积对象，使得该沉积对象在处理温度被保持的状态通过线沉积部件的下侧的水平移动部件；以及在该腔室内设置在卸载腔室侧并且在该过程完成之后接收由水平移动部件传送的沉积对象以便将沉积对象排出到卸载腔室的排出部件。
[0009]此外，根据本发明，沉积对象水平移动部件优选地包括:用于将沉积对象安装在其顶表面上并且在预定的温度加热该沉积对象的加热夹具；用于驱动该加热夹具在水平方向上往复运动的水平移动装置；以及设置成连接到水平移动装置的下部并且在竖直方向上操作水平移动装置的竖直驱动装置。
[0010]此外，该水平移动装置优选地包括用于在该加热夹具被安装在其顶表面上的状态在水平方向上往复移动该加热夹具的传送带；用于在两侧旋转该传送带的旋转辊；以及用于操作该旋转辊的旋转力提供部件。
[0011]此外，根据本发明，该竖直驱动装置优选地包括:连接到水平移动装置的下部并且通过穿透该腔室的底壁延伸到外部的竖直连接部件；设置成连接到竖直连接部件的下端的水平板；以及用于在竖直方向上操作该水平板的竖直操作力提供部件。
[0012]此外，根据本发明，旋转力提供部件优选地设置在水平板上。
[0013]此外，根据本发明，该加热夹具优选地包括:板状的夹具主体；设置在夹具主体内部并且使用从外部供给的电力加热的加热器；以及连接到加热器同时与该夹具主体的竖直和水平操作关联移动并且向该加热器提供电力的供电部件。
[0014]此外，根据本发明，该供电部件优选地包括:设置为穿过该腔室的底壁并且具有在该中心形成的电源线安装孔的竖直轴；设置成连接到该竖直轴的下端并且驱动该竖直轴在竖直方向上移动的竖直轴竖直驱动装置；以及用于连接竖直轴的上端到夹具主体并且具有多轴机器人结构以便响应于夹具主体的水平移动而移动并且连接电源线的可变连接部件。
[0015]根据本发明，该在线型化学气相沉积系统在反复水平移动期间在该线沉积部件的下侧实现用于该沉积对象的沉积过程，使得整个系统可以形成为在线型并且该沉积对象的温度可以在此过程中被均匀地保持，从而实现非常精确的化学气相沉积过程。
【附图说明】
[0016]结合附图从本发明的优选实施例的以下详细描述中，本发明的上述和其它目的，特征和优点将是显而易见的，其中:
[0017]图1是用于说明根据本发明的一个实施例的在线型化学气相沉积系统的结构的视图；
[0018]图2是用于说明根据本发明的该实施例的沉积对象的结构的平面图；
[0019]图3是用于说明根据本发明的该实施例的水平移动部件的结构和操作的视图，以及
[0020]图4至9是用于说明根据本发明的该实施例的在线型化学气相沉积系统的操作过程的视图。
【具体实施方式】
[0021 ] 参照附图，现在将具体说明本发明的优选实施例。
[0022]根据本发明的一个优选实施例的在线型化学气相沉积系统1，如图1中所示，可以包括加工腔室100，装载腔室200和卸载腔室300。在此，如图1中所示，该加工腔室100是布置在整个系统1的中心并且在腔室内在水平方向上移动沉积对象的同时在表面上进行薄膜的化学气相沉积的构成元件。
[0023]此外，该装载腔室200设置在加工腔室100的一侧处并提供沉积对象进入该加工腔室100中，并且该卸载腔室300设置在装载腔室200的相对侧并且从该加工腔室100接收沉积对象以便将沉积对象排出到外部。
[0024]在本实施例中，装载腔室200设置有用于使该腔室的内部成为真空状态的真空栗(未示出)和用于使该腔室的内部能够与外部连通的门210，其中，门210设置有用于控制该门210的门阀220。此外，门230也设置到与加工腔室100进行接触的腔室的侧壁，以便使沉积对象能够移动，其中，门阀240设置到门230以便控制门230。
[0025]此外，沉积对象移动装置250设置在装载腔室200的内部，使得沉积对象移动装置250接收从外部提供的沉积对象并且传送该沉积对象到加工腔室100。在本实施例中，沉积对象移动装置250可以以各种结构来实现并且具有辊子结构，如图1中所示。
[0026]接下来，在本实施例中，关于沉积对象400，各种装置诸如矩形玻璃基板，圆形晶片等均可适用。例如，如在图2和3中所示，沉积对象400可以包括安装盘410和沉积对象基板420。在此，安装盘410是，如在图2中所示，形成为诸如矩形形状等的预定板状形状的构成元件，其中，安装盘410可以形成有用于在其上表面上安装多个沉积对象基板420的安装槽(未示出)。
[0027]此外，如图2和3所示，沉积对象基板420在安装盘410的上表面上以预定间隔排列，其中，沉积对象基板420是薄膜沉积的主体。在本实施例中，优选的是，多个沉积对象基板420在安装盘410上排列成矩阵的形状，以便通过该过程一次处理。此时，优选的是，沉积对象基板420以尽可能紧密接触的状态安装在安装盘410上。
[0028]接着，在本实施例中，如图1所示，加工腔室100可以包括腔室110，线沉积部件120，接收部件130，水平移动部件140和排出部件150。首先，腔室110是用于在加工腔室100内部形成预定的真空空间的构成元件。因此，腔室110设置有用于抽吸和排出内部气体以便形成真空状态的真空栗(未示出)等。此外，腔室110具有形成在其左和右两侧的门112，114以便使沉积对象400通过，其中该门112，114分别由门阀控制。
[0029]接着，如图1中所示，线沉积部件120是设置在该腔室110内的上侧的中心并且在向下的方向上将沉积源材料喷洒成线状以便实现沉积源材料在沉积对象400的表面上的沉积的构成元件。该线沉积部件120将沉积源材料喷洒成沉积对象400的宽度的线状，其中，在沉积对象400通过线沉积部件120的下侧的同时，进行沉积过程。在本实施例中，线沉积部件120可以用市售产品来实现并且因此其详细说明将被省略。
[0030]接着，如图1中所示，接收部件130是设置在该腔室110内的装载腔室200侧处并且接收从该装载腔室200提供的沉积对象400的构成元件。如上文所述，辊状的沉积对象移动装置250在装载腔室200内在加工腔室100的方向通过门230提供沉积对象400。然后，如图3中所示，接收部件130接收水平移动的沉积对象400。因此，接收部件130优选地也具有辊的结构。
[0031]接着，如图1中所示，沉积对象水平移动部件140是这样的构成元件:其设置在该腔室110内的下侧并接收在接收部件130接收到的沉积对象400以便水平移动沉积对象400，使得该沉积对象400在处理温度被保持的状态下通过线沉积部件120的下侧。S卩，在本实施例中，水平移动部件140使沉积对象400能够在在线型化学气相沉积过程期间，在沉积对象400被安装在水平移动部件140的上部的状态下，在线沉积部件120的下侧的下面，在水平方向上不止一次地重复移动。当然，在以这种方式水平移动沉积对象400之前，水平移动部件140必须从接收部件130接收沉积对象400，并且在沉积过程完成后，水平移动部件140必须传送沉积对象400到排出部件150。
[0032]为此，在本实施例中，沉积对象水平移动部件140具体可以包括加热夹具160，水平移动装置170和竖直驱动装置180。
[0033]首先，如图2中所示，加热夹具160是将沉积对象400安装在其上表面上并且在预定温度加热该沉积对象的构成元件。为此，在本实施例中，加热夹具160具体可包括夹具主体162，加热器163和供电部件161，如图1和3中所示。
[0034]首先，夹具主体162是板状的构成元件。也就是说，夹具主体162在整体上形成为矩形面板的形状，如图3中所示，并且具有比安装盘410的宽度更小的宽度。因此，当从接收部件接收到沉积对象400时，夹具主体162在从下侧移动到上侧时可以接收沉积对象400，并且防止在这个过程中相对于接收部件130的干扰。
[0035]如图3中所示，加热器163是设置在夹具主体162内部并且使用从外部供给的电力加热的构成元件。通过这些加热器163，安装在夹具主体162上的沉积对象400以加工温度被加热，从而实现适当的化学气相沉积工艺。加热器163可以以各种形状布置在夹具主体162内，其中，夹具主体162的整个表面可以均匀地保持在该加工温度就足够了。
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