飞散板、研磨轮及研磨装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种飞散板、研磨轮及研磨装置。
【背景技术】
[0002]以往，作为研磨被研磨件的研磨轮，使用杯型的部件。一般杯型的研磨轮具有设于轮基座上的环状的磨石。磨石具有沿着环状的外周方向以既定间隔设置的多个刀片。另一方面，设置这种研磨轮的研磨装置，具有能够供给研磨液的供给配管。研磨轮被设于此供给配管的开口端侧。
[0003]在这种研磨加工中，若研磨被研磨件，则磨石磨损，需要更换研磨轮。因此，从抑制成本增加的观点来说，希望延长研磨轮的寿命。
[0004]专利文献1:日本特许第4921430号公报。
[0005]专利文献2:日本特开平9-38866号公报。
[0006]为延长研磨轮的寿命，考虑增加磨石的高度尺寸。但是，在磨石的高度尺寸较高的状态下研磨时，与在较低的状态下研磨的情况相比，距晶片研磨面的距离变远，所以，存在无法供给必要量的研磨液到晶片研磨面上的不良情况。因此，在磨石的高度尺寸较高的状态下研磨时，因为研磨液的供给不足，有每一张晶片的磨石磨损量增大的问题。
[0007]因此，为抑制在磨石的高度尺寸较高的状态下的磨石磨损量，考虑下述方法:例如对应磨石磨损量使研磨液的供给流量变化(参照专利文献1 )。
[0008]但是，如在专利文献1所述的方法中，有研磨液的供给流量的调整变复杂的问题。
[0009]此外，探讨下述方法:使用具有被配置成放射状的叶轮的飞散板，利用通过使该飞散板旋转来产生的离心力，将研磨液供给至晶片研磨面(参照专利文献2)。但是，在此方法中，有下述问题:由于需要设置叶轮，飞散板的构造变得复杂。
[0010]综上所述，在使经由供给配管被供给的研磨液等供给液飞散的结构中，期望以简单的结构将供给液向供给方向的飞散距离延长。
【发明内容】
[0011]本发明的目的在于提供一种飞散板、研磨轮及研磨装置，所述飞散板、研磨轮及研磨装置结构简单且能够抑制成本增加，同时能够将供给液向供给方向的飞散距离延长。
[0012]本发明的飞散板使经由供给配管被供给的供给液飞散，其特征在于，具备板状部件，前述板状部件能够配置成，在对置于前述供给配管的开口端的位置处，厚度方向与前述供给液的供给方向大致平行，并且，以大致平行于前述厚度方向的旋转轴为中心旋转，在前述板状部件上，在该板状部件的旋转中心以外的部位上，设有在厚度方向上贯通且前述供给液能够通过的飞散孔，前述飞散孔的位于旋转方向的后侧的壁面倾斜，使得位于对置面侧的前述旋转方向的最后侧的壁面端部与位于非对置面侧的前述旋转方向的最后侧的壁面端部相比位于旋转方向的前方，前述对置面对置于前述供给配管。
[0013]在此，作为供给液，只要是能够经由供给配管供给的液体即可，可以例示用于研磨、洗净、化学反应等的液体。另外，供给配管可以构成为以与飞散板相同的速度旋转或者以与飞散板不同的速度旋转，也可以构成为不旋转。
[0014]根据本发明，使飞散板的飞散孔的位于旋转方向的后侧的壁面旋转，使得位于对置面侧的旋转方向的最后侧的壁面端部与位于非对置面侧的旋转方向的最后侧的壁面端部相比位于旋转方向的前方，前述对置面对置于前述供给配管。
[0015]若使上述结构的飞散板在对置于供给配管的开口端的位置处旋转，则从供给配管被排出的供给液进入飞散孔。此时，考虑为，该壁面的倾斜移动至飞散板的旋转方向的前方，由此对与飞散孔的旋转方向的后侧的壁面接触的供给液施加向供给方向的力。因此，能够在不调整供给液的供给流量的情况下，以仅使飞散孔的壁面如上述地倾斜的简单结构，来与以往的结构相比延长供给液向供给方向的飞散距离。
[0016]另外，在本发明的飞散板中，优选地，前述飞散孔的位于旋转方向的前侧的壁面倾斜，使得位于前述对置面侧的前述旋转方向的最前侧的壁面端部与位于前述非对置面侧的前述旋转方向的最前侧的壁面端部相比位于旋转方向的前方。
[0017]根据本发明，使飞散孔的位于旋转方向的前侧的壁面倾斜，使得位于对置面侧的旋转方向的最前侧的壁面端部与位于非对置面侧的旋转方向的最前侧的壁面端部相比位于旋转方向的前方。
[0018]因此，若从供给配管被排出的供给液到达飞散孔，则借助旋转方向的前侧的壁面的倾斜，该供给液被向旋转方向的后侧引导。因此，能够借助飞散孔的旋转方向的后侧的壁面，增加被施加向排出方向的力的供给液的量，能够进一步延长供给液向排出方向的飞散距离。
[0019]另外，在本发明的飞散板中，优选地，在前述板状部件上设有多个前述飞散孔，多个前述飞散孔在以前述板状部件的旋转中心为中心的假想圆的圆周上等间隔地设置。
[0020]根据本发明，将多个飞散孔在以板状部件的旋转中心为中心的假想圆的圆周上等间隔地设置。
[0021]因此，能够借助在假想圆的圆周上等间隔地设置的多个穿孔，使供给液在圆周方向的任何方向上都均匀地飞散。
[0022]另外，在本发明的飞散板中，优选的是，前述飞散孔设置成前述供给配管的开口边缘的一部分位于前述对置面侧的开口内。
[0023]例如在将供给配管构成为能够旋转的情况下，供给液借助供给配管的旋转而受到离心力，在被按压在供给配管的内壁面上的状态下朝向供给配管的开口边缘。因此，若构成为飞散孔的对置面侧的开口全部位于供给配管的开口内，且对置面侧的开口边缘与供给配管的开口边缘完全不重叠，则产生下述不良情况:在供给配管的整周范围内被按压于供给配管的开口边缘的供给液不进入飞散孔，而滞留在供给配管中。
[0024]另一方面，根据本发明，构成为，供给配管的开口边缘的一部分位于飞散孔的对置面侧的开口内，或者，对置面侧的开口边缘的一部分和供给配管的开口边缘的一部分重叠，所以，被按压在供给配管的开口边缘上的供给液不滞留在供给配管内，能够切实地进入飞散孔。因此，能够抑制供给液的飞散量的减少。
[0025]本发明的研磨轮使用经由供给配管被供给的研磨液进行被研磨件的研磨，其特征在于，具备轮基座和磨石，前述轮基座为大致板状，能够配置成，在对置于前述供给配管的开口端的位置处，厚度方向与前述供给液的供给方向大致平行，并且，以大致平行于前述厚度方向的旋转轴为中心旋转，前述磨石被设置成从前述轮基座的不与前述供给配管对置的非对置面环状地突出，被压接在前述被研磨件上，在前述轮基座上，在该轮基座的旋转中心以外的部位上设有在厚度方向上贯通且前述研磨液能够通过的飞散孔，前述飞散孔的位于旋转方向的后侧的壁面倾斜，使得位于对置面侧的前述旋转方向的最后侧的壁面端部与位于前述非对置面侧的前述旋转方向的最后侧的壁面端部相比位于旋转方向的前方，前述对置面对置于前述供给配管。
[0026]根据本发明的研磨轮，在轮基座上设有与上述飞散板相同的飞散孔，所以，能够在不调整研磨液的供给流量的情况下，以仅使飞散孔的壁面如上所述地倾斜的简单结构，来与以往的结构相比进一步延长供给液向供给方向的飞散距离。另外，即使在研磨轮的磨石的高度尺寸较高的状态下，也能够供给必要量的研磨液到被研磨件，不增大每一张被研磨件的磨石磨损量。因此，能够延长研磨轮的寿命。
[0027]本发明的研磨装置的特征在于，具备供给配管、飞散板和研磨轮，前述飞散板使研磨液飞散，前述研磨液作为经由前述供给配管被供给的供给液，前述研磨轮使用由前述飞散板飞散的研磨液来进行前述被研磨件的研磨。以下，也有称其为本发明的第一研磨装置的情况。
[0028]本发明的另一研磨装置的特征在于，具备供给配管和上述研磨轮，前述研磨轮使用经由前述供给配管被供给的研磨液来进行被研磨件的研磨。以下，也有称其为本发明的第二研磨装置的情况。
[0029]根据本发明的第一研磨装置及第二研磨装置，能够在不调整研磨液的供给流量的情况下，以仅使飞散孔的壁面如上所述地倾斜的简单结构，来与以往的结构相比延长供给液向供给方向的飞散距离。另外，如上所述，能够延长研磨轮的寿命。进而，即使在磨石的高度尺寸较高的状态下，也能够在不调整研磨液的供给流量的情况下，使研磨液切实地到达被研磨件，所以，不需要过多的研磨液，能够降低