一种金属镀层厚度自动控制装置的制造方法

文档序号:9745554阅读:438来源:国知局
一种金属镀层厚度自动控制装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及在铝蒸发装置中使用真空镀膜技术的技术领域,尤其涉及一种在铝蒸发装置中能自动检测薄膜镀层并调节控制蒸发舟功率保持镀层厚度一致的金属镀层厚度自动控制装置。
【背景技术】
[0002]目前,现有技术中使用的铝蒸发装置包括基体、蒸发舟及两个固定电极等,其中蒸发舟的一端与一个固定电极在基体内连接,另一端与另一个固定电极在基体内连接,蒸发舟的两端由两个固定电极夹紧。该种结构在连续使用过程中,由于固定电极的消耗,蒸发舟两端与固定电极之间的连接会逐渐松动,导致蒸发舟与电极的接触不良,影响铝蒸发装置的正常使用。针对上述情况,已有技术能解决上述铝蒸发装置的技术缺陷。但是对于在铝蒸发装置中能够在线检测薄膜镀层厚度的技术还未出现,更不能保证镀层的厚度一致,因此,现有技术的薄膜的镀层生产会出现镀层厚度不一致的情况,降低了生产效率和成品率,以及增加了生产成本。

【发明内容】

[0003]本发明的目的是为了克服上述现有技术的缺点,提供一种金属镀层厚度自动控制装置,该金属镀层厚度自动控制装置能够根据镀膜镀层的要求而自动设定镀层厚度并进行检测,当检测镀层厚度出现不合格时,能自动调节蒸发舟的功率使其镀层厚度达到一致并重新检测直至符合要求为止,保证镀层厚度的一致。
[0004]本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种金属镀层厚度自动控制装置,包括铝蒸发槽、与铝蒸发槽一端安装连接并与其端面配合形成真空状态的真空密封端面、固定设于真空密封端面内侧并置于铝蒸发槽内的固定电极、设于固定电极上的蒸发舟、蒸发舟连接的活动电极;所述的蒸发舟上设有在线检测薄膜镀层厚度并可调节蒸发舟功率的镀层厚度自动控制器;所述的镀层厚度自动控制器由启动单元、与启动单元连接并设定薄膜镀层厚度的镀层厚度设定单元、与镀层厚度设定单元连接并在线检测镀层厚度的在线检测单元、与在线监测单元连接并接收在线监测单元检测合格信号的循环工作执行单元、循环工作执行单元分别连接有结束停止单元和镀层厚度设定单元并反馈信号至镀层厚度设定单元循环工作;所述的在线检测单元还连接有接收在线检测单元发出不合格信号并可调节蒸发舟功率的蒸发舟功率调节单元,蒸发舟功率调节单元循环连接在线检测单元并传达重新检测信号至在线检测单元。该蒸发舟与固定电极和活动电极一直处于夹紧状态,能保证蒸发舟与各电极之间的良好接触。而镀层厚度自动控制器能够依据自动设定设定金属镀层的厚度,并对该镀层厚度进行检测是否符合要求,如符合要求,即可形成合格产品,如不符合要求,则可调节蒸发舟功率调节单元自动调节蒸发舟的功率,使其对镀层厚度设定为一致后并重新检测,直至符合要求形成合格产品为止。
[0005]进一步的,于固定电极上横向阵列安装有八个蒸发舟,每个蒸发舟均单独连接一个活动电极。
[0006]综上所述,本发明的金属镀层厚度自动控制装置能够根据镀膜镀层的要求而自动设定镀层厚度并进行检测,当检测镀层厚度出现不合格时,能自动调节蒸发舟的功率使其镀层厚度达到一致并重新检测直至符合要求为止,保证镀层厚度的一致。
【附图说明】
[0007]图1是本发明的一种金属镀层厚度自动控制装置的结构示意图;
图2是本发明的镀层厚度自动控制器的结构框图。
【具体实施方式】
[0008]实施例1
本实施例1所描述的一种金属镀层厚度自动控制装置,如图1和图2所示,包括铝蒸发槽1、与铝蒸发槽一端安装连接并与其端面配合形成真空状态的真空密封端面5、固定设于真空密封端面内侧并置于铝蒸发槽内的固定电极3、设于固定电极上的蒸发舟2、蒸发舟连接的活动电极4 ;所述的蒸发舟上设有在线检测薄膜镀层厚度并可调节蒸发舟功率的镀层厚度自动控制器;所述的镀层厚度自动控制器由启动单元6、与启动单元连接并设定薄膜镀层厚度的镀层厚度设定单元7、与镀层厚度设定单元连接并在线检测镀层厚度的在线检测单元8、与在线监测单元连接并接收在线监测单元检测合格信号的循环工作执行单元9、循环工作执行单元分别连接有结束停止单元10和镀层厚度设定单元并反馈信号至镀层厚度设定单元循环工作;所述的在线检测单元还连接有接收在线检测单元发出不合格信号并可调节蒸发舟功率的蒸发舟功率调节单元11,蒸发舟功率调节单元循环连接在线检测单元并传达重新检测信号至在线检测单元。该蒸发舟与固定电极和活动电极一直处于夹紧状态,能保证蒸发舟与各电极之间的良好接触。而镀层厚度自动控制器能够依据自动设定设定金属镀层的厚度,并对该镀层厚度进行检测是否符合要求,如符合要求,即可形成合格产品,如不符合要求,则可调节蒸发舟功率调节单元自动调节蒸发舟的功率,使其对镀层厚度设定为一致后并重新检测,直至符合要求形成合格产品为止。
[0009]于固定电极上横向阵列安装有八个蒸发舟,每个蒸发舟均单独连接一个活动电极。
[0010]以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明的结构作任何形式上的限制。凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明的技术方案的范围内。
【主权项】
1.一种金属镀层厚度自动控制装置,其特征在于,包括铝蒸发槽、与铝蒸发槽一端安装连接并与其端面配合形成真空状态的真空密封端面、固定设于真空密封端面内侧并置于铝蒸发槽内的固定电极、设于固定电极上的蒸发舟、蒸发舟连接的活动电极;所述的蒸发舟上设有在线检测薄膜镀层厚度并可调节蒸发舟功率的镀层厚度自动控制器;所述的镀层厚度自动控制器由启动单元、与启动单元连接并设定薄膜镀层厚度的镀层厚度设定单元、与镀层厚度设定单元连接并在线检测镀层厚度的在线检测单元、与在线监测单元连接并接收在线监测单元检测合格信号的循环工作执行单元、循环工作执行单元分别连接有结束停止单元和镀层厚度设定单元并反馈信号至镀层厚度设定单元循环工作;所述的在线检测单元还连接有接收在线检测单元发出不合格信号并可调节蒸发舟功率的蒸发舟功率调节单元,蒸发舟功率调节单元循环连接在线检测单元并传达重新检测信号至在线检测单元。2.根据权利要求1所述的一种金属镀层厚度自动控制装置,其特征在于,于固定电极上横向阵列安装有八个蒸发舟,每个蒸发舟均单独连接一个活动电极。
【专利摘要】本发明公开了一种金属镀层厚度自动控制装置,包括铝蒸发槽、与铝蒸发槽一端安装连接并与其端面配合形成真空状态的真空密封端面、固定设于真空密封端面内侧并置于铝蒸发槽内的固定电极、设于固定电极上的蒸发舟、蒸发舟连接的活动电极;所述的蒸发舟上设有在线检测薄膜镀层厚度并可调节蒸发舟功率的镀层厚度自动控制器。该金属镀层厚度自动控制装置能够根据镀膜镀层的要求而自动设定镀层厚度并进行检测,当检测镀层厚度出现不合格时,能自动调节蒸发舟的功率使其镀层厚度达到一致并重新检测直至符合要求为止,保证镀层厚度的一致。
【IPC分类】C23C14/54, C23C14/24, C23C14/14
【公开号】CN105506572
【申请号】CN201410496647
【发明人】张德强
【申请人】江门市兆业科技有限公司
【公开日】2016年4月20日
【申请日】2014年9月25日
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