一种旋转工作台及晶圆减薄机的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及硅片超精密磨削技术领域，特别是涉及一种旋转工作台及晶圆减薄机。
【背景技术】
[0002]在半导体专用设备制造过程中，承片台的角度调整是实现磨削晶圆质量的关键技术。在现代化的生产设备中，承片台角度调整一般是通过拆卸承片台或是通过拧紧、松开承片台座的安装螺钉来达到。这种调整手段往往浪费大量宝贵时间，影响设备磨削的工作效率，造成人力物力的损失。另外，在拆卸过程中往往会影响到整个承片台系统定位精度及轴向精度，影响磨削质量，从而影响设备的稳定性。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于提供一种旋转工作台及晶圆减薄机，用于解决现有技术中承片台的角度调整方法浪费工时、效率低且影响承片台稳定性的问题。
[0004]为了实现上述目的，本发明实施例提供的一种旋转工作台，包括:
[0005]与承片台座可拆卸连接的旋转工作台本体，所述承片台座位于所述旋转工作台本体的上表面；
[0006]与所述旋转工作台本体可拆卸连接的固定连接板，所述固定连接板位于所述旋转工作台本体的下表面;其中，
[0007]所述旋转工作台本体内设置有联轴器，所述联轴器连接有旋转螺杆以及电机的电机轴；
[0008]所述固定连接板上连接有所述电机的电机本体以及电机保护套，所述电机本体套设于所述电机保护套内。
[0009]其中，所述电机为压电陶瓷电机。
[0010]其中，所述旋转螺杆的一端与所述联轴器连接，所述旋转螺杆的另一端与所述承片台座连接。
[0011]其中，所述电机上设置有第一安装孔，所述电机通过所述第一安装孔与所述固定连接板固定连接。
[0012]其中，所述电机保护套上设置有第三安装孔，所述电机保护套通过所述第三安装孔与所述固定连接板固定连接。
[0013]其中，所述固定连接板上设置有与所述第一安装孔相对应的第二安装孔，以及与所述第三安装孔相对应的第四安装孔。
[0014]其中，所述固定连接板上还设置有第五安装孔以及第六安装孔，所述固定连接板通过所述第五安装孔与所述旋转工作台本体连接，所述电机轴穿过所述第六安装孔与所述联轴器连接。
[0015]其中，所述旋转工作台本体的上表面上设置有四个所述承片台座。
[0016]其中，与所述承片台座相对应的所述旋转工作台本体的下表面上设置有两个所述固定连接板。
[0017]本发明实施例还提供一种晶圆减薄机，包括:承片台、控制主机以及如上述所述的旋转工作台；
[0018]其中，所述控制主机与所述电机电连接。
[0019]本发明的上述技术方案的有益效果如下:
[0020]本发明实施例的方案中，通过晶圆减薄机上的控制主机控制电机的电机轴旋转，从而通过联轴器带动旋转螺杆向上或向下运动，进而调整承片台座左右高低，实现微调承片台角度的目的。避免了传统拆卸承片台重新打表的繁琐过程，提高了设备的整体使用效率及稳定性。
【附图说明】
[0021]图1为本发明实施例的旋转工作台的剖视图；
[0022]图2为本发明实施例的旋转工作台的立体结构示意图一；
[0023]图3为本发明实施例的旋转工作台的立体结构示意图二；
[0024]图4为本发明实施例的旋转工作台本体的下表面局部放大示意图；
[0025]图5为本发明实施例的旋转工作台中旋转螺杆的结构示意图；
[0026]图6为本发明实施例的旋转工作台中的电机保护套的结构示意图。
[0027]附图标记说明:
[0028]1-承片台座；2-旋转工作台本体;3-固定连接板;4-联轴器;5-旋转螺杆;6_电机；7-电机轴;8-电机本体;9-电机保护套;10-圆形凹槽;11-圆形通孔。
【具体实施方式】
[0029]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0030]本发明公开了一种旋转工作台，如图1所示，该旋转工作台包括:与承片台座I可拆卸连接的旋转工作台本体2，所述承片台座I位于旋转工作台本体2的上表面；
[0031]这里需说明的是，承片台包括承片台座I及位于承片台座I上的承片台座本体，该承片台本体固定安装于承片台座I上。
[0032]这里，承片台座I上设置有多个安装孔，用于将该承片台座I与旋转工作台本体2固定连接。
[0033]与旋转工作台本体2可拆卸连接的固定连接板3，固定连接板3位于旋转工作台本体2的下表面;其中，
[0034]旋转工作台本体2内设置有联轴器4，联轴器4连接有旋转螺杆5以及电机6的电机轴7。也就是说，旋转工作台本体2上设置有放置该联轴器4的限位结构。如图4所示，该限位结构为内部中空的圆形凹槽10。圆形凹槽10的底部设置有一圆形通孔11，旋转螺杆5穿过该圆形通孔11与承片台座I连接。
[0035]这里，本发明实施例中联轴器4优先地为弹性联轴器。当然不仅限于此类型的联轴器，其他可放置于旋转工作台上的联轴器均可采用。
[0036]如图5所示，该旋转螺杆5为一端外设有螺纹的圆柱杆，作为联轴器4上的从动轴。本发明实施例中旋转螺杆5的一端与联轴器4连接，另一端与承片台座I连接。
[0037]固定连接板3上连接有电机6的电机本体8以及电机保护套9，电机本体8套设于电机保护套9内。
[0038]本发明实施例中电机6包括电机本机8以及电机轴7，优选地为压电陶瓷电机。当然不仅限于该类型的电机，其他可实现高定位精度、高稳定性、体积小、重量轻的电机均可采用。
[0039]这里需说明的是，该