电子枪装置以及真空蒸镀装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用于真空蒸镀法(真空蒸发镀膜法)等的电子枪装置以及真空蒸镀装置。
【背景技术】
[0002]电子枪装置是通过加热丝极来产生电子束的装置。电子枪装置例如用于真空蒸镀法中的加热蒸发源，其构成为，通过对配置在蒸镀装置内的蒸发材料照射电子束并对其进行加热，能够使该蒸发材料蒸发(例如参照专利文献I?3)。这种电子枪装置典型的是，具有用于加热丝极的加热电流用电源、用于控制电子束的轨道的线圈以及该线圈用的电源等。另外，如专利文献4所示，例如采用2个电子枪装置来进行蒸镀的方法也众所周知。
[0003]专利文献1:日本发明专利公开公报特开2013-112894号专利文献2:日本发明专利公开公报特开2002-97566号
专利文献3:日本发明专利公开公报平1-149955号专利文献4:日本发明专利公开公报特开2004-55180号
[0004]但是，在采用2个电子枪装置对蒸发材料进行交替加热的情况下，在使用一个电子枪装置时，而使另一个电子枪装置停止工作。或者，与该情况相同的是，仅使用2个电子枪装置中的一个电子枪装置。在这些情况下，可能会导致该另一个电子枪装置的加热电流用电源和线圈用的电源等设备过剩，使设备成本上升。
【发明内容】
[0005]鉴于上述情况，本发明的目的在于提供一种能够产生多个电子束且能够简化设备的电子枪装置以及真空蒸镀装置。
[0006]为了达成上述目的，本发明的一个技术方案所涉及的电子枪装置具有第I丝极、第2丝极、电源单元、切换单元与控制部。
上述第I丝极能够产生第I电子束。
上述第2丝极能够产生第2电子束。
上述电源单元具有:加热电流供给部，其供给用于使上述第I丝极和上述第2丝极中的任意一个产生电子束的加热电流;偏压供给部，其向上述加热电流施加偏压。
上述切换单元构成为，能够选择性地切换第I状态和第2状态，上述第I状态为向上述第I丝极供给驱动电流的状态，上述第2状态为向上述第2丝极供给上述驱动电流的状态，其中，所述驱动电流是对所述加热电流施加所述偏压后形成的电流。
上述控制部控制上述第I状态和上述第2状态的切换。
【附图说明】
[0007]图1是表示具有本发明的第I实施方式所涉及的电子枪装置的真空蒸镀装置。
图2是上述电子枪装置的电路图。 图3是表示上述电子枪装置的控制部的一个动作例的流程图。
图4是本发明的第I实施方式的比较例所涉及的电子枪装置的电路图。
图5是本发明的第I实施方式的参考例所涉及的真空蒸镀装置的示意图。
图6是本发明的第2实施方式所涉及的电子枪装置的电路图。
图7是表示本发明的电子枪装置的连接部的结构和连接关系的局部电路图。
图8是本发明的第2实施方式的参考例所涉及的电子枪装置的电路图。
图9是本发明的第3实施方式所涉及的电子枪装置的电路图。
【具体实施方式】
[0008]本发明的一个实施方式所涉及的电子枪装置具有第I丝极、第2丝极、电源单元、切换单元与控制部。
上述第I丝极能够产生第I电子束。
上述第2丝极能够产生第2电子束。
上述电源单元具有:加热电流供给部，其供给用于使上述第I丝极和上述第2丝极中的任意一个产生电子束的加热电流;偏压供给部，其向上述加热电流施加偏压。
上述切换单元构成为，能够选择性地切换第I状态和第2状态，上述第I状态为向上述第I丝极供给驱动电流的状态，上述第2状态为向上述第2丝极供给上述驱动电流的状态，其中，所述驱动电流是对所述加热电流施加所述偏压后形成的电流。
上述控制部控制上述第I状态和上述第2状态的切换。
[0009]采用上述电子枪装置时，能够通过切换单元选择性地由加热电流供给部向第I丝极和第2丝极中的任意一个供给加热电流。从而能够利用I个加热电流供给部产生第I电子束和第2电子束中的任意一个，并且能够省略无用的结构，简化设备。
[0010]另外，上述加热电流供给部可以具有:
加热电流用电源；
第I加热电流电路，其与上述第I丝极连接，
上述切换单元具有:
第2加热电流电路，其与上述第2丝极连接；
加热电流切换部，其在上述第I状态下连接上述加热电流用电源和第I加热电流电路，在上述第2状态下连接上述加热电流用电源和第2加热电流电路。
[0011 ]通过上述加热电流切换部能够选择性地将来自加热电流用电源的加热电流供给给第I加热电流电路和第2加热电流电路中的任意一个。
[0012]再者，上述切换单元还可以具有偏压切换部，上述偏压切换部在上述第I状态下连接上述偏压供给部和上述第I加热电流电路，在上述第2状态下连接上述偏压供给部和上述第2加热电流电路。
[0013]由于上述偏压切换部能够连接偏压供给部和第1、第2加热电流电路，因而可以在作为高电压的偏压被施加前由加热电流切换部切换加热电流的路径。
[0014]再者，由于加热电流切换部可以在与高偏压绝缘的加热用电源侧切换加热电流，因而能够由较为简单的继电器或电磁接触器等构成加热电流切换部。
[0015]另外，上述第I加热电流电路可以包括第I变压部，上述第I变压部能够改变上述加热电流的电压值，
上述第2加热电流电路可以包括第2变压部，上述第2变压部能够改变上述加热电流的电压值。
[0016]通过第I变压部和第2变压部能够将加热电流(驱动电流)的电压值变为适当的电压值。
[0017]或者，上述偏压供给部与上述第I加热电流电路和上述第2加热电流电路这两者连接。
[0018]从而，不用进行高偏压的切换，就能够以更为便宜的价格构成电子枪装置。
[0019]另外，上述控制部可以对上述第I加热电流电路和上述第2加热电流电路中的任意一个是否正被供给所述驱动电流进行判定，
当判定结果为上述第I加热电流电路和上述第2加热电流电路这两者均没有被供给所述驱动电流时，上述控制部可以使上述加热电流用电源停止上述加热电流的供给。
[0020]通过上述控制部能够监视对第I加热电流电路和第2加热电流电路的电流的供给，检测出丝极接触不良、加热电源故障以及偏压切换部故障等异常情况。因此，能够对实际的驱动电流的供给进行确认，以进行可靠的切换，防止因切换异常引起的成膜问题。
[0021]上述控制部可以对上述加热电流是否正被上述偏压供给部施加上述偏压进行判定，当判定结果为没有施加上述偏压时，上述控制部可以切换上述第I状态和上述第2状态。
[0022]从而能够避免在偏压被施加了的状态下进行切换，防止出现加热电流切换部等的触点粘连等问题。
[0023]或者，上述电子枪装置还可以具有:
第I致偏器，其能够使上述第I电子束发生偏转；
第2致偏器，其能够使上述第2电子束发生偏转，
上述电源单元还可以具有致偏电流供给部，上述致偏电流供给部向上述第I致偏器和上述第2致偏器中的任意一个供给电流，
上述切换单元可以具有致偏电流切换部，上述致偏电流切换部在上述第I状态下连接上述致偏电流供给部和第I致偏器，在上述第2状态下连接上述致偏电流供给部和第2致偏器。
[0024]通过上述致偏电流切换部切换来自I个致偏电流供给部的电流的路径，从而能够使第I电子束和第2电子束中的任意一个发生偏转。因此，能够进一步实现设备的简化。
[0025]这种情况下，上述控制部可以对上述第I致偏器和上述第2致偏器中的任意一个是否正被上述致偏用电源供给部供给电流进行判定，
当判定结果为上述第I致偏器和上述第2致偏器这两者均没有被供给所述电流时，上述控制部可以切换上述第I状态和上述第2状态。
[0026]上述电子枪装置还可以具有连接部，上述连接部以能够使上述电源和上述切换单元拆开的方式连接这两者。
通过上述连接部能够以后续安装的方式连接切换单元，并且能够在保管时或运输时分别处理电源单元和切换单元。因此，能够容易进行保管或运输，提高处理效率。
[0027]本发明的其他实施方式所涉及的真空蒸镀装置具有能够维持真空状态的腔室、支承部、第I蒸发材料保持部、第2蒸发材料保持部与电子枪装置。
上述支承部配置在上述腔室内，支承基板。
上述第I蒸发材料保持部以与上述支承部相向的方式配置在上述腔室内，其被维持在地电位，保持第I蒸发材料。
上述第2蒸发材料保持部以与上述支承部相向的方式配置在上述腔室内，其被维持在地电位，保持第2蒸发材料。
上述电子枪装置具有第I丝极、第2丝极、电源单元、切换单元、控制部。
上述第I丝极能够向上述第I蒸发材料射出第I电子束。
上述第2丝极能够向上述第2蒸发材料射出第2电子束。
上述电源单元具有:加热电流供给部，其供给用于使上述第I丝极和上述第2丝极中的任意一个产生电子束的加热电流;偏压供给部，其向上述加热电流施加偏压。
上述切换单元构成为，能够选择性地切换第I状态和第2状态，上述第I状态为向上述第I丝极供给驱动电流的状态，上述第2状态为向上述第2丝极供给上述驱动电流的状态，其中，所述驱动电流是所述加热电流被施加所述偏压后形成的电流。
上述控制部控制上述第I状态和上述第2状态的切换。
[0028]采用上述真空蒸镀装置时，能够利用I个加热电流供给部交替产生第I电子束和第2电子束，并且能够省略无用的结构，简化设备。再者，由于具有I个腔室，因而能够向已做好蒸镀准备的具有适当的真空环境的腔室内射出第I电子束和第2电子束中的任意一个，以能够构成安全性更高的结构。
[0029]下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
[0030]〈第I实施方式〉
图1是表示本发明的第I实施方式所涉及的真空蒸镀装置的示意图。真空蒸镀装置I具有腔室2、第I蒸发材料保持部3a、第2蒸发材料保持部3b、支承部4、主控制器5以及电子枪装置100。真空蒸镀装置I通过利用电子枪装置100对被第2蒸发材料保持部3a、第2蒸发材料保持部3b保持的第I蒸发材料31a和第2蒸发材料31b进行加热，以在真空环境中使第I蒸发材料31a和第2蒸发材料31b蒸发，而在基板W上成膜。
[0031]腔室2是构成为能够维持真空结构的真空腔，腔室2连接着未图示的真空栗。
[0032]在腔室2的上部安装着支承多个基板W的支承部4。支承部4例如可以由能够保持多个基板W的拱形夹具构成，这种情况下，该支承部4可以构成为能够被未图示的驱动部驱动而转动的结构。从而，能够在多个基板W上均匀成膜。另外，支承部4并不局限于上述结构。
[0033]第I蒸发材料保持部3a和第2蒸发材料保持部3b例如与支承部4相向，配置在腔室2的下部。第I蒸发材料保持部3a保持第I蒸发材料31a，第2蒸发材料保持部3b保持第2蒸发材料31b。第I蒸发材料保持部3a和第2蒸发材料保持部3b典型的是，分别构成为收装蒸发材料的坩祸。这种情况下，真空蒸镀装置I可以具有能够安装该坩祸的基座。另外，第I蒸发材料保持部3a和第2蒸发材料保持部3b可以具有能够保持固体的第I和第2蒸发材料31a、31b的环形座。
第I蒸发材料保持部3a和第2蒸发材料保持部3b分别被维持在地电位。从而，可以使后述的第I丝极10a和第2丝极10b维持正电位。
[0034]主控制器5控制真空蒸镀装置I的整体驱动。主控制器5例如生成切换控制信号，该切换控制信号用于控制切换第I电子束BI和第2电子束B2的射出。该切换控制信号被用于后述的电子枪装置10的控制部150的处理。
[0035]电子枪装置100向腔室2内选择性地射出第I电