一种用于制备cigs太阳电池吸收层的束流蒸发源的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及太阳电池真空制备设备领域，特别是涉及一种用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源。
【背景技术】
[0002]在真空腔室中用共蒸发的方法蒸镀CIGS太阳电池吸收层的实验中，蒸发源的方向角度的变化对于蒸发结果有非常大的影响，即使是完全相同的蒸发源，在不同的方向角度条件下蒸镀出的薄膜性能也存在相当大的差异，而现有专利中与束流蒸发源的方向角度调整机构等方面相关的专利非常少，仅有的相关专利中给出的束流蒸发源结构在CIGS太阳电池吸收层制备中也并不适用，如何利用简单的结构实现便捷的蒸发源调整是关键所在。
[0003]发明专利200610083452.6(申请号)公开了一种真空系统中可移动、万向蒸发源装置，其更加适用于分子束外延，由于装置本身特点，并不十分适用于真空蒸发腔室。
【发明内容】
[0004]本发明要解决的技术问题是:提供一种用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源。该用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源能够实现束流蒸发源角度多方向调整。
[0005]本发明为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是:
[0006]—种用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源，至少包括:
[0007]—真空腔室底盘(10);在所述真空腔室底盘(10)上安装有纵向导杆(8);在所述纵向导杆(8)上安装有纵向滑动块(9);在所述纵向滑动块(9)上固定有横向导杆(5);在所述横向导杆(5)上安装有横向滑动块(7);在所述横向滑动块(7)上安装有转动连接片(6);所述转动连接片(6)由上连接片(6-1)和下连接片(6-2)组成;其中:所述下连接片(6-2)的底部与横向滑动块(7)固定于横向滑动块(7)的顶部;所述下连接片(6-2)的顶部与上连接片(6-1)的设置有连接用的圆孔;在所述圆孔内插入螺栓将上连接片(6-1)和下连接片(6-2)连接;所述上连接片(6-1)的顶部连接有下束流源悬挂件(4)，所述下束流源悬挂件(4)包括圆盘形状的下悬挂件本体(4-1);在所述下悬挂件本体(4-1)的轴心上开设有中心连接孔(4-2);在所述下悬挂件本体(4-1)上还开设有两个固定孔(4-3);在所述下束流源悬挂件
(4)上设置有上束流源悬挂件(3);所述上束流源悬挂件(3)包括圆盘形状的上悬挂件本体(3-1);在所述上悬挂件本体(3-1)上设置有两个上支腿(3-2)，在每个上支腿(3-2)上开设有上连接孔(3-3);所述上悬挂件本体(3-1)和下悬挂件本体(4-1)之间固定连接;在所述上支腿(3-2)上安装有束流源底盘(2);所述束流源底盘(2)包括圆盘形状的底盘本体(2-4);在所述底盘本体(2-4)上设置有热耦导出孔(2-1)和两个下支腿(2-2);在每个下支腿(2-2)上开设有下连接孔(2-3);在所述束流源底盘(2)上安装有束流源(I)。
[0008]进一步:在所述横向滑动块(7)上设置有顶丝孔(7-1)。
[0009 ]更进一步:在所述纵向滑动块(9)上设置有顶丝孔。3
[0010]更进一步:所述束流蒸发源由不锈钢材料制成。[0011 ]本发明具有的优点和积极效果是:
[0012]1.通过采用上述技术方案，本发明能够实现蒸发源角度的任意调节；
[0013]2.由于所以部件的连接均采用机械螺栓、螺母、滑竿连接;因此不需要复杂的电控技术;故障率比较低;且易于维修；
[0014]3.由于采用不锈钢材料制成，因此具有耐腐蚀、耐氧化、耐高温且放气量小的特点。
【附图说明】
:
[0015]图1为本发明优选实施例的结构图；
[0016]图2为本发明优选实施例中束流源底盘的三视图，其中:图2a为主视图；图21^为侧视图；图2c为俯视图；
[0017]图3为本发明优选实施例中上束流源悬挂件的三视图，其中:图3a为主视图；图3b为侧视图；图3c为俯视图；
[0018]图4为本发明优选实施例中下束流源悬挂件的三视图，其中:图4a为主视图；图4b为侧视图；图4c为俯视图；
[0019]图5为本发明优选实施例中转动连接片的主视图；
[0020]图6为本发明优选实施例中横向滑动块的主视图；
[0021 ]图7为本发明优选实施例中纵向滑动块的俯视图；
[0022]图8为本发明优选实施例中纵向滑动块的侧视图。
[0023]其中:1、束流源;2、束流源底盘;2-1、热耦导出孔;2-2、下支腿;2_3、下连接孔;2_
4、底盘本体;3、上束流源悬挂件;3-1、上悬挂件本体;3-2、上支腿;3-3、上连接孔;4、下束流源悬挂件;4-1、下悬挂件本体;4-2、中心连接孔;4-3、固定孔;5、横向导杆;6、转动连接片；
6-1、上连接片;6-2、下连接片;6-3、连接孔;6-4、上安装孔;6_5、下安装孔;7、横向滑动块；
7-1、顶丝孔;7-2、顶空;8、纵向导杆;9、纵向滑动块;1、真空腔室底盘；
【具体实施方式】
[0024]为能进一步了解本发明的
【发明内容】
、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下:
[0025]请参阅图1至图8，一种用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源，包括:束流源1、束流源底盘2、上束流源悬挂件3、下束流源悬挂件4、横向导杆5、转动连接片6、横向滑动块7、纵向导杆8、纵向滑动块9、以及真空腔室底盘10。上述真空腔室底盘位于束流蒸发源10的底部，真空腔室底盘10上设置有纵向导杆8，纵向导杆8上设置纵向滑动块9，在所述纵向滑动块9上安装有横向导杆5，横向导杆5上设置有横向滑动块7，横向滑动块7上安装有转动连接片6，在转动连接片6上安装有下束流源悬挂件4，在下束流源悬挂件4上安装有上束流源悬挂件3，上束流源悬挂件3上安装有束流源底盘2，束流源底盘2上安装有束流源I;请参阅图2，所述束流源底盘2包括圆盘形状的底盘本体2-4;在所述底盘本体2-4上设置有热耦导出孔2-1和两个下支腿2-2;在每个下支腿2-2上开设有下连接孔2-3;请参阅图3，所述上束流源悬挂件3包括圆盘形状的上悬挂件本体3-1;在所述上悬挂件本体3-1上设置有两个上支腿3-2，在每个上支腿3-2上开设有上连接孔3-3;将下连接孔2-3和上连接孔3-3对准后，插入螺栓，这样就能够实现束流源底盘2和上束流源悬挂件3的固定连接4;在实际使用过程中，旋松连接孔2-3和上连接孔3-3内的螺栓，然后通过旋转进而实现束流源底盘2和上束流源悬挂件3之间的角度，当束流源底盘2和上束流源悬挂件3之间的角度达到需要角度时，紧固上述螺栓，即上述过程实现了束流源在YOZ平面上的角度调整。
[0026]请参阅图4，所述下束流源悬挂件4包括圆盘形状的下悬挂件本体4-1;在所述下悬挂件本体4-1的轴心上开设有中心连接孔4-2;在所述下悬挂件本体4-1上还开设有两个固定孔4-3;将连接孔3-3和固定孔4-3对齐后，插入螺栓进行紧固，这样就可以实现:上悬挂件本体3-1和下悬挂件本体4-1之间的固定连接;请参阅图5，转动连接片6由上连接片6-1和下连接片6-2组成;上连接片6-1和下连接片6-2的连接端分别开设有连接用的连接孔6-3，将螺栓插入连接孔6-3后将上连接片6-1和下连接片6-2连接起来，使用时，旋松上述螺栓，调整上连接片6-1和下连接片6-2之间的角度，即可实现YOX平面内的任意角调节;请参阅图6，在所述横向滑动块7上设置有若干个顶丝孔7-1;使用时，横向滑动块7能够顺着横向导杆5移动，当到达所需位置时，通过顶丝孔7-1实现横向滑动块7在横向导杆5上的固定；同理，请参阅图7和图8，在所述纵向滑动块9上设置有顶丝孔;使用时，纵向滑动块9能够顺着纵向导杆8移动，当到达所需位置时，通过顶丝孔实现纵向滑动块9在纵向导杆8上的固定。
[0027]本发明用于CIGS电池吸收层共蒸发制备的真空设备中，由于Se气体具有强氧化性，同时设备需要在高真空下加热至300?1500 °C，所以该设备料采用耐腐蚀、耐氧化、耐高温且放气量小的材料。高铬含量的铁素体不锈钢因其含铬量高致使其具有很强的耐腐蚀性能与抗氧化性能的同时还具有高温抗氧化性能好、热膨胀系数小等特点。本优选实施例中的所有零部件及连接各部件所用螺丝、螺栓、顶丝均采用抛光不锈钢材料制备。
[0028]以上对本发明的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。
【主权项】
1.一种用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源，其特征在于:至少包括: 一真空腔室底盘(10);在所述真空腔室底盘(10)上安装有纵向导杆(8);在所述纵向导杆(8)上安装有纵向滑动块(9);在所述纵向滑动块(9)上固定有横向导杆(5);在所述横向导杆(5)上安装有横向滑动块(7);在所述横向滑动块(7)上安装有转动连接片(6);所述转动连接片(6)由上连接片(6-1)和下连接片(6-2)组成;其中:所述下连接片(6-2)的底部与横向滑动块(7)固定于横向滑动块(7)的顶部;所述下连接片(6-2)的顶部与上连接片(6-1)的设置有连接用的圆孔;在所述圆孔内插入螺栓将上连接片(6-1)和下连接片(6-2)连接；所述上连接片(6-1)的顶部连接有下束流源悬挂件(4)，所述下束流源悬挂件(4)包括圆盘形状的下悬挂件本体(4-1);在所述下悬挂件本体(4-1)的轴心上开设有中心连接孔(4-2);在所述下悬挂件本体(4-1)上还开设有两个固定孔(4-3);在所述下束流源悬挂件(4)上设置有上束流源悬挂件(3);所述上束流源悬挂件(3)包括圆盘形状的上悬挂件本体(3-1);在所述上悬挂件本体(3-1)上设置有两个上支腿(3-2)，在每个上支腿(3-2)上开设有上连接孔(3-3);所述上悬挂件本体(3-1)和下悬挂件本体(4-1)之间固定连接;在所述上支腿(3-2)上安装有束流源底盘(2);所述束流源底盘(2)包括圆盘形状的底盘本体(2-4);在所述底盘本体(2-4)上设置有热耦导出孔(2-1)和两个下支腿(2-2);在每个下支腿(2-2)上开设有下连接孔(2-3);在所述束流源底盘(2)上安装有束流源(I)。2.根据权利要求1所述用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源，其特征在于:在所述横向滑动块(7)上设置有顶丝孔(7-1)。3.根据权利要求2所述用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源，其特征在于:在所述纵向滑动块(9)上设置有顶丝孔。4.根据权利要求1-3任一项所述用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源，其特征在于:所述束流蒸发源由不锈钢材料制成。
【专利摘要】本发明公开了一种用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源，包括：束流源、束流源底盘、上束流源悬挂件、下束流源悬挂件、横向导杆、转动连接片、横向滑动块、纵向导杆、纵向滑动块、以及真空腔室底盘。上述真空腔室底盘位于束流蒸发源的底部，真空腔室底盘上设置有纵向导杆，纵向导杆上设置纵向滑动块，在所述纵向滑动块上安装有横向导杆，横向导杆上设置有横向滑动块，横向滑动块上安装有转动连接片，在转动连接片上安装有下束流源悬挂件，在下束流源悬挂件上安装有上束流源悬挂件，上束流源悬挂件上安装有束流源底盘，束流源底盘上安装有束流源。该用于制备CIGS太阳电池吸收层的束流蒸发源能够实现束流蒸发源角度多方向调整。
【IPC分类】H01L31/18, C23C14/24
【公开号】CN105586569
【申请号】CN201511024282
【发明人】赖运子, 赵岳, 申绪男, 王胜利, 刘帅奇, 乔在祥, 赵彦民
【申请人】中国电子科技集团公司第十八研究所
【公开日】2016年5月18日
【申请日】2015年12月29日