一种真空镀膜用阳极罩自动调节装置的制造方法

文档序号:9859557
一种真空镀膜用阳极罩自动调节装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种镀膜厚度调节装置,具体涉及一种镀膜厚度自动调节装置。
【背景技术】
[0002]现有的真空镀膜装置结构复杂,制造成本较高,在实际使用过程中,容易出现机械故障,需要人员定期维护,最主要的是,在镀膜过程中,镀膜厚度不能自由调节,工作效率较低。

【发明内容】

[0003]发明目的:本发明的目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种镀膜厚度可以自由调节,工作效率大大提高,结构简单,机械故障少,使用寿命长的真空镀膜用阳极罩自动调节装置。
[0004]技术方案:为了解决上述技术问题,本发明所述的一种真空镀膜用阳极罩自动调节装置,它包括阳极罩,在所述阳极罩一端设有导轨,在所述导轨上设有挡板,所述挡板在导轨上作直线运动,在所述挡板一侧中部设有滚珠丝杆,在所述滚珠丝杆端部设有步进电机,在所述滚珠丝杆上设有真空箱体,在所述真空箱体与滚珠丝杆的连接处设有磁流体密封装置。
[0005]所述挡板为钛合金挡板。
[0006]在所述阳极罩上设有等离子体发射窗口。
[0007]所述真空箱体的一侧为大气侧,另一侧为真空侧,所述磁流体密封装置安装在真空箱的大气侧。
[0008]本发明通过步进电机和磁流体密封装置调节动能从大气端到真空端,再由滚珠丝杆带动钛合金挡板沿水平方向在导轨上作往复运动,从而达到了调节等离子阳极罩窗口大小的目的控制溅射等离子体的产额大小来调节镀膜膜层厚度。
[0009]有益效果:本发明与现有技术相比,其显著优点是:本发明整体结构简单,采用导轨及设在导轨上的钛合金挡板,可以用来控制阳极罩的等离子体发射窗口的大小,从而实现镀膜厚度的自由调节,采用步进电机、磁流体密封装置和滚珠丝杆,实现挡板的自由精确调节,大大提高工作效率,本装置机械故障少,使用寿命长,符合实际使用要求。
【附图说明】
[0010]图1是本发明的结构示意图。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。
[0012]如图1所示,本发明所述的一种真空镀膜用阳极罩自动调节装置,它包括阳极罩1,在所述阳极罩I 一端设有导轨2,在所述导轨2上设有挡板3,所述挡板3在导轨2上作直线运动,在所述挡板3 —侧中部设有滚珠丝杆4,在所述滚珠丝杆4端部设有步进电机5,在所述滚珠丝杆4上设有真空箱体6,在所述真空箱体6与滚珠丝杆4的连接处设有磁流体密封装置7 ;所述挡板3为钛合金挡板;在所述阳极罩I上设有等离子体发射窗口 8 ;所述真空箱体6的一侧为大气侧,另一侧为真空侧,所述磁流体密封装置7安装在真空箱6的大气侦U。本发明整体结构简单,采用导轨及设在导轨上的钛合金挡板,可以用来控制阳极罩的等离子体发射窗口的大小,从而实现镀膜厚度的自由调节,采用步进电机、磁流体密封装置和滚珠丝杆,实现挡板的自由精确调节,大大提高工作效率,本装置机械故障少,使用寿命长,符合实际使用要求。
[0013]本发明提供了一种思路及方法,具体实现该技术方案的方法和途径很多,以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围,本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。
【主权项】
1.一种真空镀膜用阳极罩自动调节装置,其特征在于:它包括阳极罩(1),在所述阳极罩(I) 一端设有导轨(2),在所述导轨(2)上设有挡板(3),所述挡板(3)在导轨(2)上作直线运动,在所述挡板(3) —侧中部设有滚珠丝杆(4),在所述滚珠丝杆(4)端部设有步进电机(5),在所述滚珠丝杆(4)上设有真空箱体¢),在所述真空箱体(6)与滚珠丝杆(4)的连接处设有磁流体密封装置(7)。2.根据权利要求1所述的真空镀膜用阳极罩自动调节装置,其特征在于:所述挡板(3)为钛合金挡板。3.根据权利要求1所述的真空镀膜用阳极罩自动调节装置,其特征在于:在所述阳极罩(I)上设有等离子体发射窗口(8)。4.根据权利要求1所述的真空镀膜用阳极罩自动调节装置,其特征在于:所述真空箱体(6)的一侧为大气侧,另一侧为真空侧,所述磁流体密封装置(7)安装在真空箱(6)的大气侧。
【专利摘要】本发明涉及一种真空镀膜用阳极罩自动调节装置,它包括阳极罩,在所述阳极罩一端设有导轨,在所述导轨上设有挡板,所述挡板在导轨上作直线运动,在所述挡板一侧中部设有滚珠丝杆,在所述滚珠丝杆端部设有步进电机,在所述滚珠丝杆上设有真空箱体,在所述真空箱体与滚珠丝杆的连接处设有磁流体密封装置。本发明镀膜厚度可以自由调节,工作效率大大提高,结构简单,机械故障少,使用寿命长。
【IPC分类】C23C14/54
【公开号】CN105624635
【申请号】CN201410621527
【发明人】曹俊
【申请人】无锡康力电子有限公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2014年11月6日
再多了解一些
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1