薄膜透光性记录钨粉使用状况相比，大大提高了输出的钨粉含量稳定性，保证了维修过程中薄膜的质量，提升了维修的成功率。
[0070]优选地，如图4(a)和图4(b)所示，本发明具体实施例中的粉末收集装置27包括:用于收集固态物的空心柱状收集器41，以及与空心柱状收集器41连接的温度调节装置42。
[0071]如图2和图4(a)所示，本发明具体实施例中的温度调节装置42，用于在第一开关25打开，第二开关26关闭时，对空心柱状收集器41进行降温，使得气态钨粉凝固为固态钨粉。具体地，温度调节装置42为装有第一预设温度的水的容器，在第一预设温度下，能够使得气态钨粉凝固为固态钨粉，第一预设温度为根据实际情况设定的温度值，具体实施时，温度调节装置42为能够为空心柱状收集器41提供冷却水的装置。
[0072]如图2和图4(b)所示，本发明具体实施例中的温度调节装置42，还用于在第一开关25关闭，第二开关26打开时，对空心柱状收集器41进行升温，使得收集在该空心柱状收集器41中的固态钨粉升华为气态钨粉。具体地，温度调节装置42为装有第二预设温度的水的容器，在第二预设温度下，能够使得固态钨粉升华为气态钨粉，第二预设温度为根据实际情况设定的温度值，具体实施时，温度调节装置42为能够为空心柱状收集器41提供加热水的装置。
[0073]优选地，如图2和图4(b)所示，本发明具体实施例中的监控装置24中设置有回收栗210，用于对监控装置24进行清洁。具体实施时，首先，为空心柱状收集器41提供加热水，使空心柱状收集器41中的固态钨粉升华为气态钨粉;然后，开启回收栗210，抽出整个监控装置24中的钨粉等杂质，对监控装置24进行清洁清理。
[0074]实施例二:
[0075]如图5所示，本发明具体实施例中的监控装置包括:降温装置51、采样室52和颗粒浓度检测仪53;
[0076]降温装置51紧邻采样室52设置，用于在第一开关打开，第二开关关闭时，将出气管道23中的气态物凝固为固态物；
[0077]采样室52，用于收集固态物；
[0078]颗粒浓度检测仪53设置在采样室52内，用于检测固态物的浓度。
[0079]本发明具体实施例中的粉末以钨粉为例进行介绍，具体地，通过设置在出气管道23外侧，紧邻采样室52设置的降温装置51将出气管道23中的气态钨粉凝固为固态钨粉，固态钨粉被收集在采样室52内，通过设置在采样室52内的颗粒浓度检测仪53检测固态钨粉的浓度。
[0080]本发明具体实施例中的颗粒浓度检测仪是利用β射线吸收原理自动检测经过冷却的钨粉颗粒浓度，从而估算出气管道中气态钨粉的含量，实施监控。采用这种方法进行监控时，采集数据简单、灵敏度高，但是钨粉在结晶的情况下，数据准确性差。
[0081 ]另外，图5中采样室52的一端还设置有排气口 54，排气口 54用于将采样室52中废弃的钨粉排出，以便对采样室进行清洁。
[0082]如图6所示，本发明具体实施例中的粉末储藏罐21的底端设置为一移动结构，该移动结构用于调节粉末储藏罐21的体积;优选地，该移动结构为一活塞，通过向上移动活塞，可以减小粉末储藏罐21的体积，如图中粉末储藏罐21下方的虚线箭头。
[0083]本发明具体实施例中的装置还包括:与粉末储藏罐21和监控装置24连接的报警调节装置62，报警调节装置62用于接收监控装置24反馈的出气管道23中单位体积内粉末的含量，将单位体积内粉末的含量值与预设范围比较，当单位体积内粉末的含量超出预设范围时，发出警报，并控制移动结构运动，直到警报消除。
[0084]本发明具体实施例将粉末储藏罐的底端设置为一移动结构，与现有技术相比，形成可移动底端的粉末储藏罐，在粉末储藏罐中粉末异常的情况下，调节粉末储藏罐的体积，维持单位体积内粉末的含量不变，保证维修薄膜的质量，提高维修成功率。
[0085]本发明具体实施例中的粉末以钨粉为例，监控装置24以实施例一中的监控装置为例，结合附图6进行具体介绍。
[0086]如图6所示，当第一开关25打开，第二开关26关闭时，粉末储藏罐21中的气态钨粉61沿着出气管道23进入监控装置24，监控装置24将监控到的出气管道23中单位体积内气态钨粉的含量反馈给报警调节装置62，报警调节装置62将接收到单位体积内的气态钨粉的含量值与预设范围比较，当单位体积内的气态钨粉的含量值超出预设范围时，发出警报，并控制移动结构运动，直到警报消除。具体地，当单位体积内的气态钨粉的含量值小于预设范围中的最小值时，发出警报，并控制粉末储藏罐21中的活塞向上运动，以减小粉末储藏罐21的体积，在移动过程中，若警报消失，则控制活塞停止运动。本发明具体实施例中的预设范围是根据预先建立的压力与单位体积的气态钨粉的含量，以及压力与薄膜厚度的一一对应关系数据库，以及实际生产的需要进行设置的。
[0087]具体地，当警报消失，说明钨粉含量正常，之后可以开启第二开关26，关闭第一开关25，装置正常工作;如果在活塞移动到预设位置的整个过程中警报一直未消除，则需要停机检查，考虑更换钨粉和清理管道。其中，在粉末储藏罐21中设置的预设位置是根据实际生产的需要进行设置的。
[0088]具体实施时，根据监控装置反馈的出气管道中单位体积内气态钨粉的含量，将报警级别分为1、2、3、4等级，根据不同的等级，调节粉末储藏罐底端面，增加单位体积内的钨粉含量，如果仍然持续报警，需要考虑更换钨粉，清理管道。
[0089]如图7所示，本发明具体实施例还提供了一种上述装置的使用方法，包括:
[0090]S701、控制监控装置与气体腔体之间的第二开关关闭，并控制监控装置与出气管道之间的第一开关开启，监控出气管道中单位体积内粉末的含量；
[0091]S702、控制监控装置与气体腔体之间的第二开关开启，并控制监控装置与出气管道之间的第一开关关闭，输出气体进行薄膜沉积。
[0092]优选地，本发明具体实施例中的监控装置包括:粉末收集装置、弹簧和压力传感器，压力传感器通过弹簧与粉末收集装置连接，监控装置的具体设置参见本发明具体实施例一；
[0093]监控出气管道中单位体积内粉末的含量，包括:
[0094]粉末收集装置收集出气管道中的气态物，并将收集到的气态物凝固为固态物；
[0095]在气态物凝固为固态物时，压力传感器通过检测弹簧的压力，得到随时间变化的压力转化为数字信号的数值，根据预先建立的压力与单位体积的粉末含量的对应关系，得到出气管道中单位体积内粉末的含量。
[0096]优选地，本发明具体实施例粉末储藏罐的底端设置为一移动结构，该移动结构用于调节粉末储藏罐的体积;本发明具体实施例中的装置还包括与粉末储藏罐和监控装置连接的报警调节装置；
[0097]本发明具体实施例监控出气管道中单位体积内粉末的含量后，还包括:
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