汽化系统的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及使液体材料汽化的汽化系统。
【背景技术】
[0002]以往，例如作为生成成膜工序等半导体制造工序中所用的气体的装置，使用将液体材料汽化的汽化系统。
[0003]例如专利文献I(日本专利公开公报特开2003-273026号)所示，所述汽化系统具备储存液体材料并加热所述液体材料使其汽化的汽化器，以及控制向所述汽化器供给的液体材料供给量的供给量控制设备(例如质量流控制器和流量控制阀等)。
[0004]可是，由于所述汽化器和所述供给量控制设备通过配管连接，所以因上述配管使汽化系统难以小型化。此外，虽然考虑了利用配管的长度来减小汽化系统的长度尺寸、而在所述汽化器的上部装载所述供给量控制设备的结构，但是这需要将配管在汽化系统内弯折，从而使汽化系统的结构复杂化。
[0005]另外，如专利文献2(国际公开第2010/101077号)所示，也考虑了通过在汽化器的汽化罐的侧壁上直接安装流量控制阀(供给量控制设备)、并将所述汽化罐安装在气体面板上的结构。可是，所述结构中，需要在汽化罐的侧壁上设置流量控制阀、并形成用于控制流量的复杂的流道。此外，拆下汽化罐时，也需要拆下流量控制阀，使更换作业等变得繁复。
【发明内容】
[0006]鉴于上述问题，本发明的主要目的是提供一种小型化的汽化系统，不必在汽化器的内部形成用于安装供给量控制设备的流道，并可取消汽化系统中的配管。
[0007]即本发明的汽化系统包括:使液体材料汽化的汽化器;控制向所述汽化器的液体材料供给量的供给量控制设备；以及歧管块，其内部形成有流道，并且具有分别安装所述汽化器和所述供给量控制设备的设备安装面，所述汽化器和所述供给量控制设备通过安装在所述设备安装面上，借助所述流道彼此连接。
[0008]按照上述结构，通过在歧管块的设备安装面上安装汽化器和供给量控制设备，由于上述设备借助歧管块的流道连接，所以能够取消汽化器和供给量控制设备之间的配管，从而使汽化系统小型化。此外，因为汽化器和供给量控制设备分别安装在设备安装面上，所以不必在汽化器的内部形成用于安装供给量控制设备的流道，可以简化汽化器的结构。而且，能够使汽化器和供给量控制设备在歧管块上单独拆卸，可以简化更换作业等。此外，由于将汽化器和供给量控制设备安装在歧管块上，所以能够将汽化系统组装入其他的气体面板。
[0009]本发明的汽化系统优选还具备把供给所述汽化器的液体材料预热到规定的温度的预热器，所述预热器通过安装到所述设备安装面上，借助所述流道与所述汽化器和所述供给量控制设备连接。
[0010]按照所述结构，由于对供给汽化器的液体材料进行预热，因此不会使汽化器的加热器大型化，从而可以使汽化器小型化。此外，通过将预热器安装在设备安装面上，由于所述预热器借助流道与所述汽化器和所述供给量控制设备连接，所以不需要具有预热器的汽化系统的配管，可以使所述汽化系统小型化。
[0011]本发明的汽化系统优选还包括:流体检测设备，检测有关由所述汽化器生成的汽化气体的流量的物理量；以及控制由所述汽化器生成的汽化气体的流量的流量控制阀，所述流体检测设备和所述流量控制阀通过安装在所述设备安装面上，借助所述流道与所述汽化器连接。
[0012]按照所述结构，通过在歧管块上安装流体检测设备和流量控制阀，在使汽化系统保持汽化气体的流量控制功能的同时，可以取消汽化器、流量检测设备和流量控制阀之间的配管，从而使所述汽化系统小型化。
[0013]本发明的汽化系统优选所述歧管块通过连接第一主体单元和第二主体单元构成，且所述第一主体单元安装有所述汽化器和所述供给量控制设备，所述第二主体单元安装有所述流体检测设备和所述流量控制阀。
[0014]按照所述结构，由于歧管块是分为所述第一主体单元和所述第二主体单元的结构，所以相比歧管块由单个单元构成的情况，可以容易形成流道。
[0015]本发明的汽化系统优选所述第一主体单元上设有加热所述第一主体单元的第一加热器，所述第二主体单元上设有加热所述第二主体单元的第二加热器。
[0016]按照所述结构，由于第一主体单元和第二主体单元分别设有加热器，所以能够将第一主体单元和第二主体单元分别控制在最佳的温度，可以提高汽化效率，并且能够防止汽化气体的再液化。此时，优选将第二主体单元设为比第一主体单元温度高的状态。此外，由于将歧管块分为第一主体单元和第二主体单元，所以用于插入加热器的孔的加工变得容易O
[0017]按照上述结构的本发明，通过在歧管块的设备安装面上安装汽化器和供给量控制设备，由于上述设备借助歧管块的流道连接，所以不用在汽化器的内部形成用于安装供给量控制设备的流道，可取消汽化系统中的配管，从而可以使汽化系统小型化。
【附图说明】
[0018]图1是表示本实施方式的汽化系统的结构的示意图。
[0019]图2是上述实施方式的主体单元(第一主体单元和第二主体单元)的、从设备安装面观察的平面图。
[0020]附图标记说明
[0021]100 汽化系统
[0022]B 主体单元(歧管块)
[0023]BI 第一主体单元
[0024]Blx 设备安装面
[0025]Hl 第一加热器
[0026]B2 第二主体单元
[0027]B2x 设备安装面
[0028]H2 第二加热器
[0029]2汽化部
[0030]21汽化器
[0031]22供给量控制设备
[0032]23预热器
[0033]3质量流控制器
[0034]31流体检测设备
[0035]32流量控制阀
【具体实施方式】
[0036]以下参照【附图说明】本发明的汽化系统的一个实施方式。
[0037]本实施方式的汽化系统100用于组装到例如半导体生产线等中、向进行半导体制造工序的腔室供给规定流量的气体，如图1所示，汽化系统100具备:使液体原料汽化的汽化部2;以及控制由所述汽化部2汽化的、气体的流量的质量流控制器3。
[0038]所述汽化部2具备:通过热烘方式使液体材料汽化的汽化器21;控制向所述汽化器21的液体材料供给量的供给量控制设备22;以及将供给到所述汽化器21中的液体材料预热到规定的温度的预热器23。
[0039]上述汽化器21、供给量控制设备22和预热器23，安装在设备安装面Blx上，所述安装面Blx设定于内部形成流道的歧管块亦即主体单元BI(以下，称第一主体单元BI)的一面上。这里第一主体单元BI是例如不锈钢等金属制品，呈具有长边方向的大体柱状(具体为大致长方体形状)，所述设备安装面Blx是呈具有长边方向的矩形的面。另外，本实施方式的第一主体单元BI，以其长边方向朝向上下方向(垂直方向)的方式设置在半导体生产线等上。
[0040]具体地，所述预热器23、所述供给流量控制设备22和所述汽化器21，在所述设备安装面Blx上沿长边方向安装成一列。此外，所述预热器23、所述供给流量控制设备22和所述汽化器21，从上游侧依次由所述第一主体单元BI内形成的内部流道(Rl?R4)串