一种化学气相沉积设备专用挡板装置的制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种化学气相沉积设备专用挡板装置，包括真空转接法兰、挡板、挡板连接杆、支撑杆和手柄，真空转接法兰设置于沉积腔体的壳体上，支撑杆通过固定杆与沉积腔体连接，挡板设置于沉积腔体内，挡板与挡板连接杆一端连接，挡板连接杆的另一端横向依次穿过真空转接法兰和支架，与手柄连接，挡板连接杆通过轴承与支撑杆连接，通过前后移动手柄进而通过挡板连接杆带动挡板移动，挡板连接杆上还设有止动装置，当通过手柄带动挡板移动到合适位置时，通过止动装置对挡板连接杆止动固定。阻止沉积腔体内的源溶液蒸汽在基板上沉积，确保化学气相沉积的沉积时间为一可控的定值，减小实验误差，提高薄膜质量，该装置结构简单，操作方便，提高了工作效率。
【专利说明】
一种化学气相沉积设备专用挡板装置
技术领域
[0001]本发明涉及化学气相沉积设备技术领域，具体涉及一种化学气相沉积设备专用挡板装置。
【背景技术】
[0002]化学气相沉积法在制备各种功能、结构薄膜方面，是最具潜力的一种先进薄膜制备技术。该法制备薄膜的优点为沉积速率快，薄膜均匀，且能在形状复杂的大面积器件上沉积。此外，化学气相沉积设备简单，真空要求低，容易工业化。
[0003]对于目前的化学气相沉积设备来讲，在原料供应系统开始向腔体中输送源溶液时，由于管道内气体存在会导致喷嘴喷出的源溶液蒸气不均匀，随着化学气相沉积反应的进行，源溶液蒸气的喷液雾化会逐渐均匀。从薄膜的制备上来讲，刚开始从给料系统输送至腔体的源溶液蒸气，会导致薄膜各项性能的不确定性和沉积过程的不可控性，因此需要阻止该阶段的源溶液蒸气在基板上沉积。
[0004]而且，在化学气相沉积反应结束后，虽然原料供应系统停止供应，喷嘴不再向腔体中喷雾，但此时腔体内仍然存在大量的源溶液蒸气，由于腔体内还有余热，这些源溶液蒸气会继续在基板上沉积。对于化学气相沉积反应来讲，薄膜的沉积时间是一定的，腔体内剩余源溶液蒸气在基板上沉积，理论上增加了薄膜的沉积时间，使沉积时间无法控制。并且，反应结束后，腔体的温度不断降低，这些剩余源溶液蒸气的沉积时间也无法控制。总的来讲，反应结束后，腔体内剩余的源溶液蒸气也会导致薄膜各项性能的不确定性和沉积过程的不可控性，因此反应结束后也需要阻止腔体内剩余的大量源溶液蒸气在基板上沉积。
【发明内容】
[0005]本发明要解决的技术问题是，针对现有技术存在的上述缺陷，提供了一种化学气相沉积设备专用挡板装置，阻止沉积腔体内的源溶液蒸汽在基板上沉积，确保化学气相沉积的沉积时间为一可控的定值，降低实验不确定性，减小实验误差，提高薄膜质量，结构简单，操作方便，提高了工作效率。
[0006]本发明为解决上述技术问题所采用的技术方案是:
[0007]—种化学气相沉积设备专用挡板装置，包括真空转接法兰、挡板、挡板连接杆、支撑杆和手柄，真空转接法兰设置于沉积腔体的壳体上，隔绝沉积腔体外的空气，使沉积腔体保持真空环境，支撑杆底部设有固定杆，固定杆与沉积腔体连接固定，挡板设置于沉积腔体内，挡板与挡板连接杆一端连接，挡板连接杆的另一端横向依次穿过真空转接法兰和支架，与手柄连接，挡板连接杆通过轴承与支撑杆连接，通过前后移动手柄进而通过挡板连接杆带动挡板移动，挡板连接杆上还设有止动装置，当通过手柄带动挡板移动到合适位置时，通过止动装置对挡板连接杆止动固定，防止挡板移动和转动。
[0008]接上述技术方案，止动装置包括止动器、防转动杆和防滑动杆，防转动杆的一端与挡板连接杆连接，防转动杆的另一端与防滑动杆的一端连接，防滑动杆的另一端穿过支撑杆，防滑动杆通过轴承与支撑杆连接，防滑动杆与挡板连接杆平行设置，防滑动杆通过防转动杆随挡板连接杆横向移动，止动器设置于防滑动杆上，当挡板随挡板连接杆移动到合适位置时，通过止动器对防滑动杆止动固定，进而防止挡板连接杆移动，挡板连接杆通过防转动杆与防滑动杆连接，防止挡板连接杆转动。
[0009]接上述技术方案，止动器套装于防滑动连接杆上，止动器上设有紧定手柄，防滑动杆上沿轴向设有多个凹槽，拧紧紧定手柄，使紧定手柄的下端插入到防滑动杆上相应的凹槽内，起到防滑固定作用。
[0010]接上述技术方案，真空转接法兰内设有密封圈，挡板连接杆套装于密封圈上。
[0011 ]接上述技术方案，所述密封圈为O型密封圈。
[0012]接上述技术方案，还包括步进电机，步进电机与手柄连接，通过带动手柄移动，进而精确控制挡板的移动位移。
[0013]接上述技术方案，所述挡板为L型，挡板的L形短边上设有通孔，固定螺丝穿过通孔旋入挡板连接杆一端的螺丝孔内。
[0014]本发明具有以下有益效果:
[0015]通过真空转接法兰保持沉积腔体内的真空度与洁净度，通过手柄和挡板连接杆在沉积腔体外对挡板进行操控调整位置，在反应开始前和反应结束后，阻止沉积腔体内的源溶液蒸汽在基板上沉积，确保化学气相沉积的沉积时间为一可控的定值，止动装置对挡板连接进行锁紧固定，防止挡板在反应过程中发生移动和转动，降低实验不确定性，减小实验误差，提高薄膜质量，结构简单，操作方便，提高了工作效率。
【附图说明】
[0016]图1是本发明实施例中化学气相沉积设备专用挡板装置在工作时的示意图；
[0017]图2是图1的K局部不意图；
[0018]图中，1-支撑杆，2-防转动杆，3-轴承，4-止动器，5-挡板连接杆，6_防滑动杆，7_手柄，8-固定螺丝，9-挡板，10-紧定手柄，11-固定杆，12-真空转接法兰，13-沉积腔体，14-喷嘴，15-基板。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图和实施例对本发明进行详细说明。
[0020]参照图1?图2所示，本发明提供的一个实施例中的化学气相沉积设备专用挡板装置，包括真空转接法兰12、挡板9、挡板连接杆5、支撑杆I和手柄7，真空转接法兰12设置于沉积腔体13的壳体上，隔绝沉积腔体13外的空气，使沉积腔体13保持真空环境，支撑杆I底部设有固定杆11，固定杆11与沉积腔体13连接固定，挡板9设置于沉积腔体13内，挡板9与挡板连接杆5—端连接，挡板连接杆5的另一端横向依次穿过真空转接法兰12和支架，与手柄7连接，挡板连接杆5通过轴承3与支撑杆I连接，通过前后移动手柄7进而通过挡板连接杆5带动挡板9移动，挡板连接杆上还设有止动装置，当通过手柄7带动挡板9移动到合适位置时，通过止动装置对挡板连接杆5止动固定，防止挡板9移动和转动;通过真空转接法兰12保持沉积腔体13内的真空度与洁净度，通过手柄7和挡板连接杆5在沉积腔体13外对挡板9进行操控调整位置，在反应开始前和反应结束后，阻止沉积腔体13内的源溶液蒸汽在基板15上沉积，确保化学气相沉积的沉积时间为一可控的定值，止动装置对挡板连接杆进行锁紧固定，防止挡板9在反应过程中发生移动和转动，降低实验不确定性，减小实验误差，提高薄膜质量。
[0021]进一步地，止动装置包括止动器4、防转动杆2和防滑动杆6，防转动杆2的一端与挡板连接杆5连接，防转动杆2的另一端与防滑动杆6的一端连接，防滑动杆6的另一端穿过支撑杆I，防滑动杆6通过轴承3与支撑杆I连接，防滑动杆6与挡板连接杆5平行设置，防滑动杆6通过防转动杆2随挡板连接杆5横向移动，止动器4设置于防滑动杆6上，当挡板9随挡板连接杆5移动到合适位置时，通过止动器4对防滑动杆6止动固定，进而防止挡板连接杆5移动，挡板连接杆5通过防转动杆2与防滑动杆6连接，防止挡板连接杆5转动。
[0022]进一步地，所述轴承为直线法兰轴承。
[0023]进一步地，止动器4套装于防滑动连接杆上，止动器4上设有紧定手柄10，防滑动杆6上沿轴向设有多个凹槽，拧紧紧定手柄10，使紧定手柄10的下端插入到防滑动杆6上相应的凹槽内，起到防滑固定作用。
[0024]进一步地，真空转接法兰12内设有密封圈，挡板连接杆5套装于密封圈上。
[0025]进一步地，所述密封圈为O型密封圈。
[0026]进一步地，还包括步进电机，步进电机与手柄7连接，通过带动手柄7移动，进而精确控制挡板9的移动位移。
[0027]进一步地，还包括控制器，通过控制器控制步进电机转动，进而与化学气相沉积设备进彳丁联动控制。
[0028]进一步地，所述挡板9为L型，挡板9的L形短边上设有通孔，固定螺丝8穿过通孔旋入挡板连接杆5—端的螺丝孔内。
[0029]进一步地，轴承3通过固定螺丝8与支撑杆I连接，防转动杆2的两端分别通过固定螺丝8与挡板连接杆5和防滑动杆6连接，手柄7通过固定螺丝8与放转动杆2连接。
[0030]进一步地，原料蒸汽从喷嘴14中进入沉积腔体13内。
[0031 ]本发明的一个实施例中，本发明的工作过程:
[0032]该实施例中，先将本装置各部件按上述说明组装完毕。化学气相沉积实验开始之前，挡板9位于喷嘴14正下方，当反应开始时，拧动止动器4上的紧定手柄10，使紧定手柄10退出防滑动杆6上的凹槽，往腔体相反方向拖动手柄7，将挡板9移动至合适的位置，然后拧紧止动器4上的紧定手柄10，使紧定手柄10卡进防滑动杆6上的另一凹槽，以此固定防滑动杆6，从而固定挡板9的移动与转动。待反应完毕后，再松开止动器4上的紧定手柄10，使紧定手柄10退出防滑动杆6上的凹槽，推动手柄7将挡板9移回原位，拧紧止动器4上的紧定手柄10卡进凹槽内，使得挡板9静止不动，操作完毕。
[0033]综上所述，本发明提供的一种化学气相沉积设备专用挡板装置，避免了实验过程中，在反应开始前和反应结束后，腔体内不稳定的源溶液蒸气在基板15上沉积，减小了实验误差，提高了薄膜质量和实验效率。本发明实施效果良好，提高了化学气相沉积实验的准确度以及薄膜的性能，并且该装置及方法应用广泛，可适用于所有化学气相沉积设备。
[0034]以上的仅为本发明的较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等效变化，仍属本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种化学气相沉积设备专用挡板装置，其特征在于，包括真空转接法兰、挡板、挡板连接杆、支撑杆和手柄，真空转接法兰设置于沉积腔体的壳体上，隔绝沉积腔体外的空气，使沉积腔体保持真空环境，支撑杆底部设有固定杆，固定杆与沉积腔体连接固定，挡板设置于沉积腔体内，挡板与挡板连接杆一端连接，挡板连接杆的另一端横向依次穿过真空转接法兰和支架，与手柄连接，挡板连接杆通过轴承与支撑杆连接，通过前后移动手柄进而通过挡板连接杆带动挡板移动，挡板连接杆上还设有止动装置，当通过手柄带动挡板移动到合适位置时，通过止动装置对挡板连接杆止动固定，防止挡板移动和转动。2.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备专用挡板装置，其特征在于，止动装置包括止动器、防转动杆和防滑动杆，防转动杆的一端与挡板连接杆连接，防转动杆的另一端与防滑动杆的一端连接，防滑动杆的另一端穿过支撑杆，防滑动杆通过轴承与支撑杆连接，防滑动杆与挡板连接杆平行设置，防滑动杆通过防转动杆随挡板连接杆横向移动，止动器设置于防滑动杆上，当挡板随挡板连接杆移动到合适位置时，通过止动器对防滑动杆止动固定，进而防止挡板连接杆移动，挡板连接杆通过防转动杆与防滑动杆连接，防止挡板连接杆转动。3.根据权利要求2所述的化学气相沉积设备专用挡板装置，其特征在于，止动器套装于防滑动连接杆上，止动器上设有紧定手柄，防滑动杆上沿轴向设有多个凹槽，拧紧紧定手柄，使紧定手柄的下端插入到防滑动杆上相应的凹槽内，起到防滑固定作用。4.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备专用挡板装置，其特征在于，真空转接法兰内设有密封圈，挡板连接杆套装于密封圈上。5.根据权利要求4所述的化学气相沉积设备专用挡板装置，其特征在于，所述密封圈为O型密封圈。6.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备专用挡板装置，其特征在于，还包括步进电机，步进电机与手柄连接，通过带动手柄移动，进而精确控制挡板的移动位移。7.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备专用挡板装置，其特征在于，所述挡板为L型，挡板的L形短边上设有通孔，固定螺丝穿过通孔旋入挡板连接杆一端的螺丝孔内。
【文档编号】C23C16/44GK105862011SQ201610416355
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年6月14日
【发明人】赵培, 苏轼, 王莹
【申请人】武汉工程大学