防着板固定装置、蒸镀腔室及蒸镀设备的制造方法
【专利摘要】本发明公开一种防着板固定装置、蒸镀腔室和蒸镀设备，属于蒸镀技术领域。防着板固定装置用于蒸镀设备，蒸镀设备的蒸镀腔室的内壁上设置有自锁安装结构，防着板固定装置包括：自锁固定结构；自锁固定结构能够与防着板固定连接，且能够与自锁安装结构卡接，本发明解决了防着板固定过程复杂的问题，达到了简化防着板固定过程的效果。本发明用于防着板固定。
【专利说明】
防着板固定装置、蒸镀腔室及蒸镀设备
技术领域
[0001]本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种防着板固定装置、蒸镀腔室及蒸镀设备。
【背景技术】
[0002]在显示基板的制造过程中，通常可以采用蒸镀设备在基板上形成薄膜。蒸镀设备可以包括:蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(英文:source)和基板支撑架，在基板上形成薄膜时，可以将基板设置在基板支撑架上，加热蒸镀源使蒸镀源蒸发出蒸镀材料分子，蒸镀材料分子沉积到基板上形成薄膜。
[0003]在基板上形成薄膜的过程中，蒸镀材料分子通常会沉积在蒸镀腔室的内壁上污染蒸镀腔室，因此，可以在蒸镀腔室的内壁上设置防着板(用于对蒸镀材料分子进行阻挡，以避免蒸镀材料分子接触到蒸镀腔室的内壁以及蒸镀腔室内的机械结构的板子)来防止蒸镀材料分子污染蒸镀腔室。具体地，可以采用防着板固定装置将防着板固定在蒸镀腔室的内壁上。相关技术中，防着板固定装置为螺丝，蒸镀腔室的内壁和防着板上均设置有螺孔，螺丝依次穿过防着板上的螺孔和蒸镀腔室的内壁上的螺孔，将防着板固定在蒸镀腔室的内壁上。
[0004]在实现本发明的过程中，发明人发现相关技术至少存在以下问题:
[0005]由于相关技术中的防着板固定装置为螺丝，在蒸镀腔室的内壁上固定防着板时，需要工作人员拧动螺丝，导致防着板固定过程复杂。
【发明内容】
[0006]为了解决防着板固定过程复杂的问题，本发明提供一种防着板固定装置、蒸镀腔室及蒸镀设备。所述技术方案如下:
[0007]第一方面，提供一种防着板固定装置，用于蒸镀设备，所述蒸镀设备的蒸镀腔室的内壁上设置有自锁安装结构，所述防着板固定装置包括:自锁固定结构；
[0008]所述自锁固定结构能够与防着板固定连接，且能够与所述自锁安装结构卡接。
[0009]可选地，所述自锁固定结构包括:自锁棒、自锁扣和弹性件，
[0010]所述自锁棒设置有空腔，侧壁上设置有与所述空腔连通的第一开口，所述弹性件设置在所述空腔内，所述自锁扣通过所述第一开口与所述弹性件固定连接，所述弹性件能够带动所述自锁扣进入所述空腔或远离所述空腔，当所述自锁扣远离所述空腔运动至所述自锁棒外部时，所述自锁扣与所述自锁安装结构卡接。
[0011]可选地，所述弹性件为弹簧，所述弹簧的长度方向与所述自锁棒的长度方向垂直；
[0012]所述自锁固定结构包括:两个自锁扣，所述自锁棒的侧壁上设置有两个所述第一开口，所述两个自锁扣中的一个自锁扣通过一个所述第一开口与所述弹簧的一端固定连接，另一个自锁扣通过另一个所述第一开口与所述弹簧的另一端固定连接。
[0013]可选地，所述自锁固定结构还包括:解锁件，
[0014]所述自锁棒的一端设置有与所述空腔连通的第二开口，所述解锁件的一端通过所述第二开口伸入所述空腔内，且能够带动所述弹性件产生形变，使所述自锁扣进入所述空腔。
[0015]可选地，所述解锁件包括:解锁推杆和解锁按钮，
[0016]所述解锁推杆设置在所述空腔内，且所述解锁推杆的长度方向与所述自锁棒的长度方向平行，所述解锁推杆的一端与所述弹簧的侧面连接，另一端与所述解锁按钮固定连接，所述解锁按钮位于所述第二开口所在位置，且位于所述空腔外并能够在推力的作用下从所述第二开口进入所述空腔。
[0017]可选地，所述自锁安装结构包括:自锁槽，所述自锁槽的侧壁上设置有卡接结构，
[0018]所述自锁棒未设置所述第二开口的一端能够插入所述自锁槽带动所述自锁扣插入所述自锁槽内，所述自锁扣能够卡接在所述卡接结构上。
[0019]可选地，所述自锁安装结构包括:固定杆，所述固定杆固定设置在所述蒸镀腔室的内壁上，且所述固定杆上设置有轴线方向与所述固定杆的长度方向垂直的自锁孔，
[0020]所述自锁棒未设置所述第二开口的一端能够穿过所述自锁孔带动所述自锁扣穿过所述自锁孔，所述自锁扣能够通过所述自锁孔卡接在所述固定杆上。
[0021]可选地，所述防着板固定装置还包括:扣合结构和驱动结构；
[0022]所述驱动结构设置在所述防着板的第一板面上，且所述防着板的第一板面上设置有开口，所述扣合结构的一端与所述驱动结构固定连接，另一端位于所述开口所在位置，并能够穿过所述开口扣合在所述固定杆的侧面上，所述第一板面为所述防着板靠近所述蒸镀腔室的内壁的一面。
[0023]可选地，所述扣合结构包括:扣合钩子，所述驱动结构包括:扣合推杆、第一轨道和第二轨道，
[0024]所述第一轨道和所述第二轨道都设置在所述防着板的第一板面上，所述扣合推杆设置在所述第一轨道内，所述扣合钩子设置在所述第二轨道内；
[0025]所述扣合钩子为弧形结构，一端与所述扣合推杆的一端连接，另一端位于所述开口所在位置；
[0026]其中，在推力的作用下，所述扣合推杆能够沿所述第一轨道的长度方向移动，推动所述扣合钩子沿所述第二轨道的长度方向移动，使所述扣合钩子的另一端穿过所述开口扣合在所述固定杆的侧面上。
[0027]可选地，所述驱动结构还包括:壳体，
[0028]所述壳体、所述第一轨道和所述第二轨道都设置在所述防着板的第一板面上，且所述第一轨道和所述第二轨道都位于所述壳体内，所述扣合推杆的一端位于所述壳体内，另一端位于所述壳体外。
[0029]可选地，所述自锁棒为由圆柱状结构和半球状结构叠加形成的一体结构，所述圆柱状结构的直径与所述半球状结构的球径相等，所述半球状结构的平面与所述圆柱状结构的一底面叠加，所述第二开口设置在所述圆柱状结构的另一底面上。
[0030]第二方面，提供一种蒸镀腔室，所述蒸镀腔室的内壁上设置有自锁安装结构，所述自锁安装结构用于与防着板固定装置的自锁固定结构卡接，所述自锁固定结构能够与防着板固定连接。
[0031 ]可选地，所述自锁安装结构包括:自锁槽，所述自锁槽的侧壁上设置有卡接结构。
[0032]可选地，所述自锁安装结构包括:固定杆，所述固定杆固定设置在所述蒸镀腔室的内壁上，且所述固定杆上设置有轴线方向与所述固定杆的长度方向垂直的自锁孔。
[0033]第三方面，提供一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括:
[0034]防着板固定装置和蒸镀腔室；
[0035]所述蒸镀腔室的内壁上设置有自锁安装结构，所述防着板固定装置包括:自锁固定结构；
[0036]所述自锁固定结构能够与防着板固定连接，且能够与所述自锁安装结构卡接。
[0037]本发明提供的技术方案带来的有益效果是:
[0038]本发明提供的防着板固定装置、蒸镀腔室及蒸镀设备，蒸镀腔室的内壁上设置有自锁安装结构，防着板固定装置包括自锁固定结构；自锁固定结构能够与防着板固定连接，且能够与自锁安装结构卡接。由于自锁固定结构能够与防着板固定连接，且能够与自锁安装结构卡接，因此可以通过卡接的方式将防着板固定在蒸镀腔室的内壁上，简化了防着板固定过程。解决了相关技术中防着板固定过程复杂的问题，达到了简化防着板固定过程的效果。
[0039]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本发明。
【附图说明】
[0040]为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0041]图1是本发明实施例提供的一种防着板固定装置的结构示意图；
[0042]图2是本发明实施例提供的一种防着板固定装置的使用场景图；
[0043]图3是本发明实施例提供的一种自锁固定结构的结构示意图；
[0044]图4是本发明实施例提供的另一种自锁固定结构的结构示意图；
[0045]图5是图2的右视图；
[0046]图6是本发明实施例提供的另一种防着板固定装置的使用场景图；
[0047]图7是本发明实施例提供的另一种防着板固定装置的使用场景图；
[0048]图8是本发明实施例提供的再一种防着板固定装置的使用场景图；
[0049]图9是图8的局部结构示意图；
[0050]图10是本发明实施例提供的一种蒸镀腔室的局部结构示意图；
[0051]图11是本发明实施例提供的另一种蒸镀腔室的局部结构示意图。
[0052]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。
【具体实施方式】
[0053]为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部份实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
[0054]请参考图1，其示出了本发明实施例提供的一种防着板固定装置00的结构示意图，该防着板固定装置00可以用于蒸镀设备(图1中未示出)，蒸镀设备的蒸镀腔室(图1中未示出)的内壁(图1中未示出)上设置有自锁安装结构(图1中未示出)，该防着板固定装置00包括:自锁固定结构001，该自锁固定结构001能够与防着板(图1中未示出)固定连接，且能够与自锁安装结构卡接。
[0055]综上所述，本发明实施例提供的防着板固定装置，由于自锁固定结构能够与防着板固定连接，且能够与自锁安装结构卡接，因此可以通过卡接的方式将防着板固定在蒸镀腔室的内壁上，简化了防着板固定过程。解决了相关技术中防着板固定过程复杂的问题，达到了简化防着板固定过程的效果。
[0056]请参考图2，其示出了本发明实施例提供的一种防着板固定装置的使用场景图，该防着板固定装置可以用于蒸镀设备(图2中未示出)，蒸镀设备的蒸镀腔室(图2中未示出)的内壁(图2中未示出)上设置有自锁安装结构(图2中未示出)，该防着板固定装置包括:自锁固定结构001，该自锁固定结构001能够与防着板OI固定连接，且能够与自锁安装结构卡接。
[0057]进一步地，请参考图3，其示出了本发明实施例提供的一种自锁固定结构001的结构示意图，参见图3，该自锁固定结构001包括:自锁棒0011、自锁扣0012和弹性件0013。
[0058]自锁棒0011为由圆柱状结构和半球状结构叠加形成的一体结构，圆柱状结构的直径与半球状结构的球径相等，半球状结构的平面与圆柱状结构的一底面叠加，自锁棒0011设置有空腔0，自锁棒0011的侧壁上设置有与空腔O连通的第一开口(图3中未标出)，弹性件0013设置在空腔O内，自锁扣0012通过第一开口与弹性件0013固定连接，弹性件0013能够带动自锁扣0012进入空腔O或远离空腔0，当弹性件0013带动自锁扣0012进入空腔O时，可以将自锁固定结构001穿入自锁孔或者自锁槽，当弹性件0013带动自锁扣0012远离空腔O运动至自锁棒0011外部时，自锁扣0012与自锁安装结构(图3中未示出)卡接。其中，弹性件0013能够为自锁扣0012提供将自锁扣0012拉入空腔O的拉力和将自锁扣0012推出空腔O的推力，使得自锁扣0012能够进入空腔O或远离空腔O。
[0059]可选地，弹性件0013可以为弹簧，弹簧的长度方向X与自锁棒0011的长度方向y垂直；自锁固定结构001包括:两个自锁扣0012，自锁棒0011的侧壁上设置有两个第一开口，两个自锁扣0012中的一个自锁扣0012通过一个第一开口与弹簧的一端固定连接，另一个自锁扣0012通过另一个第一开口与弹簧0012的另一端固定连接。
[0060]进一步地，请继续参考图3，该自锁固定结构001还包括:解锁件0014。自锁棒0011的一端设置有与空腔O连通的第二开口(图3中未标出)，解锁件0014的一端通过第二开口伸入空腔O内，且能够带动弹性件0013产生形变使自锁扣0012进入空腔O。比如，解锁件0014带动弹性件0013拉伸，弹性件0013拉动自锁扣0012进入空腔O。
[0061 ] 可选地，如图3所示，解锁件0014包括:解锁推杆00141和解锁按钮00142。解锁推杆00141设置在空腔O内，且解锁推杆00141的长度方向yl与自锁棒0011的长度方向y平行，解锁推杆00141的一端与弹簧的侧面连接，另一端与解锁按钮00142固定连接，解锁按钮00142位于第二开口所在位置，且位于空腔O外并能够在推力的作用下从第二开口进入空腔O。解锁按钮00142进入空腔O推动解锁推杆00141沿自锁棒0011的长度方向y向空腔O内移动，推动弹性件0013拉伸，弹性件0013产生形变使自锁扣0012进入空腔O。
[0062]示例地，如图4所示，其示出了本发明实施例提供的另一种自锁固定结构001的结构示意图，参见图4，弹性件0013产生形变，拉动自锁扣0012向空腔O内移动，实现对自锁扣0012的解锁。其中，在按压解锁按钮00142时，解锁按钮00142向解锁推杆00141施加推力，使得解锁推杆00141向弹簧的侧面施加推力，此时，由于弹簧的两端分别与自锁扣0012连接，弹簧拉伸，从而向自锁扣0012施加拉力，将自锁扣0012拉进空腔O，实现对自锁扣0012的解锁。当撤去按压解锁按钮00142的压力时，弹簧需要从拉伸状态恢复至原始状态，弹簧向分别向自锁扣0012施加推力，将自锁扣0012推出空腔O。
[0063]可选地，请继续参考图2，自锁安装结构包括:固定杆(图2中未示出)，固定杆固定设置在蒸镀腔室的内壁上，该防着板固定装置还可以包括:扣合结构002和驱动结构003;驱动结构003设置在防着板01的第一板面(图2中未标出)上，且防着板01的第一板面上设置有开口(图2中未标出)，扣合结构002的一端与驱动结构003固定连接，另一端位于开口所在位置，并能够穿过开口扣合在固定杆的侧面上，该第一板面为防着板与蒸镀腔室固定时靠近蒸镀腔室的内壁的一面。
[0064]可选地，扣合结构002包括:扣合钩子0021，请参考图5，其示出了图2的右视图，参见图5，驱动结构003包括:扣合推杆0031、第一轨道(图5中未示出)和第二轨道(图5中未示出)，第一轨道和第二轨道都设置在防着板01的第一板面A上，扣合推杆0031设置在第一轨道内，扣合钩子0021设置在第二轨道;扣合钩子0021为弧形结构，一端与扣合推杆0031的一端连接，另一端位于开口所在位置;其中，在推力的作用下，扣合推杆0031能够沿第一轨道的长度方向移动，推动扣合钩子0021沿第二轨道的长度方向移动，使扣合钩子0021的另一端穿过开口扣合在固定杆的侧面上。
[0065]可选地，驱动结构003还包括:壳体0032，壳体0032、第一轨道和第二轨道都设置在防着板01的第一板面A上，且第一轨道和第二轨道都位于壳体0032内，扣合推杆0031的一端位于壳体0032内，另一端位于壳体0032外。其中，壳体0032的设置可以提高防着板固定装置的整体性。需要说明的是，自锁固定结构001与防着板01固定连接后，解锁按钮00142位于防着板OI的第一板面上。
[0066]可选地，请参考图6和图7，其示出了本发明实施例提供的另一种防着板固定装置的使用场景图，参见图6和图7，蒸镀设备(图6和图7中均未示出)的蒸镀腔室(图6和图7中均未示出)的内壁02上设置有自锁安装结构021，该自锁安装结构021包括:自锁槽0211，自锁槽0211的侧壁(图6和图7中均未标出)上设置有卡接结构(图6和图7中均未示出)，自锁棒0011与防着板OI固定连接，且自锁棒0011未设置第二开口的一端能够插入自锁槽0211带动自锁扣0012插入自锁槽0211内，自锁扣0012能够卡接在卡接结构上。其中，该卡接结构可以为台阶结构等，本发明实施例对此不作限定。需要说明的是，本发明实施例是自锁安装结构为自锁槽为例进行说明的，实际应用中，自锁安装结构还可以为穿透蒸镀腔室的内壁02的自锁孔，本发明实施例对此不作限定。
[0067]需要说明的是，图6和图7所示的是防着板水平固定(在蒸镀腔室内的顶面上固定防着板和在蒸镀腔室内的底面上固定防着板)的场景图，防着板水平固定时，可以仅采用自锁固定结构001对防着板进行固定，而不需要采用扣合结构。具体地，图6是适用于在蒸镀腔室内的顶面上固定防着板的场景，图7是适用于在蒸镀腔室内的底面上固定防着板的场景，在图6和图7所示的场景中，自锁棒OO11与防着板OI固定连接后，解锁按钮00142位于防着板01远离蒸镀腔室的内壁02的一面上，本发明实施例在此不再赘述。
[0068]可选地，请参考图8，其示出了本发明实施例提供的再一种防着板固定装置的使用场景图，参见图8，自锁安装结构021包括:固定杆0212，固定杆0212固定设置在蒸镀腔室(图8中未示出)的内壁02上，且固定杆0212上设置有轴线方向(图8中未示出)与固定杆0212的长度方向(图8中未示出)垂直的自锁孔(图8中未示出)，请参考图9，其示出了图8的局部结构示意图，参见图9，自锁棒0011未设置第二开口的一端能够穿过固定杆0212上的自锁孔带动自锁扣0012穿过自锁孔，自锁扣0012能够通过自锁孔卡接在固定杆0212上。在推力的作用下，扣合推杆0031能够沿第一轨道的长度方向移动，推动扣合钩子0021沿第二轨道的长度方向移动，使扣合钩子0021的另一端穿过防着板01上的开口扣合在固定杆0212的侧面上。此时，由于固定杆0212固定设置在蒸镀腔室的内壁上，而自锁固定结构021和扣合结构002分别采用卡接和扣合的方式将防着板01固定在固定杆0212，因此，防着板01固定在蒸镀腔室的内壁上。
[0069]其中，固定杆0212可以是焊接在蒸镀腔室的内壁上的不锈钢管，其可以对防着板01进行承载，自锁扣0012卡接在固定杆0212上可以防止防着板01移动，扣合钩子0021扣合在固定杆0212的侧面上，可以起到支撑防着板的作用。
[0070]需要说明的是，当自锁固定结构的解锁按钮不承受外界的按压力时，自锁固定结构的解锁推杆的一端与弹簧的侧面连接，且解锁推杆与弹簧的侧面之间无相互作用力，自锁扣0012在外界的压力作用下，向弹簧施加推力使弹簧收缩，自锁扣0012进入空腔自锁棒0011的空腔，将自锁固定结构卡接在固定杆0212上，在按压解锁按钮时，解锁按钮向解锁推杆施加推力，使得解锁推杆向弹簧的侧面施加推力，弹簧拉伸，从而向自锁扣0012施加拉力，将自锁扣0012拉进空腔，实现对自锁扣0012的解锁。
[0071]综上所述，本发明实施例提供的防着板固定装置，由于自锁固定结构能够与防着板固定连接，且能够与自锁安装结构卡接，因此可以通过卡接的方式将防着板固定在蒸镀腔室的内壁上，简化了防着板固定过程。解决了相关技术中防着板固定过程复杂的问题，达到了简化防着板固定过程的效果。
[0072]相关技术中的防着板固定装置为螺丝，在蒸镀腔室的内壁上固定防着板时，需要工作人员拧动螺丝，且需要借助扳手等辅助工具来实现防着板的安装与拆卸，导致防着板的安装和拆卸过程耗时较长，效率低，进而导致蒸镀设备的维护保养耗费较大的人力成本和时间成本，本发明实施例提供的防着板固定装置，采用卡接的方式对防着板进行固定，防着板固定过程简单，耗时短、效率高，可以节省大量的人力和时间成本。
[0073]本发明实施例还提供了一种蒸镀腔室，该蒸镀腔室的内壁上设置有自锁安装结构，自锁安装结构用于与防着板固定装置的自锁固定结构卡接，自锁固定结构能够与防着板固定连接。
[0074]示例地，如图10所示，蒸镀腔室(图10中未示出)的内壁02上设置有自锁安装结构021，自锁安装结构021包括:自锁槽0211，自锁槽021的侧壁上设置有卡接结构(图10中未示出)，该卡接结构可以为台阶结构等，用于与防着板固定装置的自锁固定结构卡接，本发明实施例对此不作限定。
[0075]示例地，如图11所示，蒸镀腔室(图11中未示出)的内壁02上设置有自锁安装结构021，自锁安装结构021包括:固定杆0212，固定杆0212固定设置在蒸镀腔室的内壁02上，且固定杆0212上设置有轴线方向与固定杆的长度方向垂直的自锁孔K，该自锁孔K用于与防着板固定装置的自锁固定结构卡接。
[0076]综上所述，本发明实施例提供的蒸镀腔室，由于防着板固定装置的自锁固定结构能够与防着板固定连接，且能够与蒸镀腔室的自锁安装结构卡接，因此可以通过卡接的方式将防着板固定在蒸镀腔室的内壁上，简化了防着板固定过程。解决了相关技术中防着板固定过程复杂的问题，达到了简化防着板固定过程的效果。
[0077]本发明实施例还提供了一种蒸镀设备，该蒸镀设备包括:防着板固定装置和蒸镀腔室；蒸镀腔室的内壁上设置有自锁安装结构，防着板固定装置包括:自锁固定结构；自锁固定结构能够与防着板固定连接，且能够与自锁安装结构卡接。
[0078]综上所述，本发明实施例提供的蒸镀设备，由于防着板固定装置的自锁固定结构能够与防着板固定连接，且能够与蒸镀腔室的自锁安装结构卡接，因此可以通过卡接的方式将防着板固定在蒸镀腔室的内壁上，简化了防着板固定过程。解决了相关技术中防着板固定过程复杂的问题，达到了简化防着板固定过程的效果。
[0079]以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种防着板固定装置，其特征在于，用于蒸镀设备，所述蒸镀设备的蒸镀腔室的内壁上设置有自锁安装结构，所述防着板固定装置包括:自锁固定结构； 所述自锁固定结构能够与防着板固定连接，且能够与所述自锁安装结构卡接。2.根据权利要求1所述的防着板固定装置，其特征在于，所述自锁固定结构包括:自锁棒、自锁扣和弹性件， 所述自锁棒设置有空腔，侧壁上设置有与所述空腔连通的第一开口，所述弹性件设置在所述空腔内，所述自锁扣通过所述第一开口与所述弹性件固定连接，所述弹性件能够带动所述自锁扣进入所述空腔或远离所述空腔，当所述自锁扣远离所述空腔运动至所述自锁棒外部时，所述自锁扣与所述自锁安装结构卡接。3.根据权利要求2所述的防着板固定装置，其特征在于， 所述弹性件为弹簧，所述弹簧的长度方向与所述自锁棒的长度方向垂直； 所述自锁固定结构包括:两个自锁扣，所述自锁棒的侧壁上设置有两个所述第一开口，所述两个自锁扣中的一个自锁扣通过一个所述第一开口与所述弹簧的一端固定连接，另一个自锁扣通过另一个所述第一开口与所述弹簧的另一端固定连接。4.根据权利要求3所述的防着板固定装置，其特征在于，所述自锁固定结构还包括:解锁件， 所述自锁棒的一端设置有与所述空腔连通的第二开口，所述解锁件的一端通过所述第二开口伸入所述空腔内，且能够带动所述弹性件产生形变，使所述自锁扣进入所述空腔。5.根据权利要求4所述的防着板固定装置，其特征在于，所述解锁件包括:解锁推杆和解锁按钮， 所述解锁推杆设置在所述空腔内，且所述解锁推杆的长度方向与所述自锁棒的长度方向平行，所述解锁推杆的一端与所述弹簧的侧面连接，另一端与所述解锁按钮固定连接，所述解锁按钮位于所述第二开口所在位置，且位于所述空腔外并能够在推力的作用下从所述第二开口进入所述空腔。6.根据权利要求4或5所述的防着板固定装置，其特征在于，所述自锁安装结构包括:自锁槽，所述自锁槽的侧壁上设置有卡接结构， 所述自锁棒未设置所述第二开口的一端能够插入所述自锁槽带动所述自锁扣插入所述自锁槽内，所述自锁扣能够卡接在所述卡接结构上。7.根据权利要求4或5所述的防着板固定装置，其特征在于，所述自锁安装结构包括:固定杆，所述固定杆固定设置在所述蒸镀腔室的内壁上，且所述固定杆上设置有轴线方向与所述固定杆的长度方向垂直的自锁孔， 所述自锁棒未设置所述第二开口的一端能够穿过所述自锁孔带动所述自锁扣穿过所述自锁孔，所述自锁扣能够通过所述自锁孔卡接在所述固定杆上。8.根据权利要求7所述的防着板固定装置，其特征在于，所述防着板固定装置还包括:扣合结构和驱动结构； 所述驱动结构设置在所述防着板的第一板面上，且所述防着板的第一板面上设置有开口，所述扣合结构的一端与所述驱动结构固定连接，另一端位于所述开口所在位置，并能够穿过所述开口扣合在所述固定杆的侧面上，所述第一板面为所述防着板靠近所述蒸镀腔室的内壁的一面。9.根据权利要求8所述的防着板固定装置，其特征在于，所述扣合结构包括:扣合钩子，所述驱动结构包括:扣合推杆、第一轨道和第二轨道， 所述第一轨道和所述第二轨道都设置在所述防着板的第一板面上，所述扣合推杆设置在所述第一轨道内，所述扣合钩子设置在所述第二轨道内； 所述扣合钩子为弧形结构，一端与所述扣合推杆的一端连接，另一端位于所述开口所在位置； 其中，在推力的作用下，所述扣合推杆能够沿所述第一轨道的长度方向移动，推动所述扣合钩子沿所述第二轨道的长度方向移动，使所述扣合钩子的另一端穿过所述开口扣合在所述固定杆的侧面上。10.根据权利要求9所述的防着板固定装置，其特征在于，所述驱动结构还包括:壳体， 所述壳体、所述第一轨道和所述第二轨道都设置在所述防着板的第一板面上，且所述第一轨道和所述第二轨道都位于所述壳体内，所述扣合推杆的一端位于所述壳体内，另一端位于所述壳体外。11.根据权利要求4或5所述的防着板固定装置，其特征在于， 所述自锁棒为由圆柱状结构和半球状结构叠加形成的一体结构，所述圆柱状结构的直径与所述半球状结构的球径相等，所述半球状结构的平面与所述圆柱状结构的一底面叠加，所述第二开口设置在所述圆柱状结构的另一底面上。12.一种蒸镀腔室，其特征在于，所述蒸镀腔室的内壁上设置有自锁安装结构，所述自锁安装结构用于与防着板固定装置的自锁固定结构卡接，所述自锁固定结构能够与防着板固定连接。13.根据权利要求12所述的蒸镀腔室，其特征在于， 所述自锁安装结构包括:自锁槽，所述自锁槽的侧壁上设置有卡接结构。14.根据权利要求12所述的蒸镀腔室，其特征在于， 所述自锁安装结构包括:固定杆，所述固定杆固定设置在所述蒸镀腔室的内壁上，且所述固定杆上设置有轴线方向与所述固定杆的长度方向垂直的自锁孔。15.一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括: 防着板固定装置和蒸镀腔室； 所述蒸镀腔室的内壁上设置有自锁安装结构，所述防着板固定装置包括:自锁固定结构； 所述自锁固定结构能够与防着板固定连接，且能够与所述自锁安装结构卡接。
【文档编号】C23C14/24GK105970159SQ201610561960
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2016年7月15日
【发明人】付文悦, 陈立强, 王小虎
【申请人】京东方科技集团股份有限公司