一种MCrALY专用超厚膜电弧靶的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种MCrALY专用超厚膜电弧靶，所述阴极体的上方设置有靶材，所述阴极体的两侧安装有调整螺母，所述调整螺母的下方安装有螺母座，所述阴极体的两侧在调整螺母的上方设置有阴极体密封胶圈，所述水管与阴极体的相接处设置有水管密封胶圈，所述水管的两侧安装有绝缘套Ⅳ，所述绝缘套Ⅳ的上方设置有连接座，所述连接座的下方安装有绝缘套Ⅰ，所述绝缘套Ⅳ套设在靶座上，所述靶座的下方设置有调整手柄，所述水管的底部安装有快接水嘴，所述水管的上方设置有辐阳，所述水管的右侧安装有绝缘套Ⅱ，所述调整螺母与水管的连接处设置有端面密封胶圈，所述螺母座通过连接板与水管固定连接，所述连接座的下方通过垫固定连接有绝缘套Ⅲ。
【专利说明】
一种MCrALY专用超厚膜电弧靶
技术领域
[0001]本发明属于电弧靶设备技术领域，具体涉及一种MCrALY专用超厚膜电弧靶。【背景技术】
[0002]随着航空技术的发展，对飞机的要求越来越高，飞机速度快，机动性好，主要取决于发动机的性能。MCrALY(M=Ni，Co或Ni+Co，Cr是铬，A1是铝，Y是钇)涂层是发动机上重要涂层之一，能显著提高发动机叶片、机匣的使用寿命，用做热障涂层、封严涂层的过渡底层。涂层厚度要求大约100M1。采用电弧离子镀制备，所镀膜层厚，单次靶材消耗量大，电弧阴极靶材需足够厚，现有电弧靶结构不能满足这种厚度，还没有达到就需膜层厚度就要更换靶材。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于提供一种MCrALY专用超厚膜电弧靶，以解决上述【背景技术】中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案:一种MCrALY专用超厚膜电弧靶，包括阴极体和水管，所述阴极体的上方设置有靶材，所述阴极体的两侧安装有调整螺母，所述调整螺母的下方安装有螺母座，所述阴极体的两侧在调整螺母的上方设置有阴极体密封胶圈，所述水管与阴极体的相接处设置有水管密封胶圈，所述水管的两侧安装有绝缘套IV，所述绝缘套IV的上方设置有连接座，所述连接座的下方安装有绝缘套I，所述绝缘套IV套设在靶座上，所述靶座的下方设置有调整手柄，所述水管的底部安装有快接水嘴，所述水管的上方设置有辐阳，所述水管的右侧安装有绝缘套n，所述调整螺母与水管的连接处设置有端面密封胶圈，所述螺母座通过连接板与水管固定连接，所述连接座的下方通过垫固定连接有绝缘套m。
[0005]优选的，所述辐阳为纯铁，所述辐阳的内部设置有水冷结构。
[0006]优选的，所述连接板与水管螺纹连接。
[0007]与现有技术相比，本发明的有益效果是:该MCrALY专用超厚膜电弧靶，辅阳材料采用纯铁，辅阳内部设有水冷结构，在水管中通入冷却水，可避免长时间镀膜导致的辅阳温度过高问题，同时可解决靶材过厚不易冷却的问题;通过调整螺母的设计，使得靶材能够在真空状态下前后移动，随意调整，从而及时供应靶材，确保镀膜正常进行;该MCrALY专用超厚膜电弧靶，具有结构设计合理、操作简单、安全实用等优点，同时能大幅度提高除尘效率，可以普遍推广使用。【附图说明】
[0008]图1为本发明的结构不意图；图2为本发明的俯视图；图3为本发明的A-A剖面结构示意图。
[0009]图中:1绝缘套1、2靶座、3调整手柄、4快接水嘴、5调整螺母、6阴极体、7阴极体密封胶圈、8端面密封胶圈、9绝缘套n、10水管密封胶圈、11螺母座、12连接板、13垫、14绝缘套 m、15连接座、16绝缘套IV、17辐阳、18靶材、19水管。【具体实施方式】
[0010]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0011]本发明提供了如图1-3所示的一种MCrALY专用超厚膜电弧靶，包括阴极体6和水管 19,所述阴极体6的上方设置有靶材18,所述阴极体6的两侧安装有调整螺母5,所述调整螺母5的下方安装有螺母座11，所述阴极体6的两侧在调整螺母5的上方设置有阴极体密封胶圈7,所述水管19与阴极体6的相接处设置有水管密封胶圈10,所述水管19的两侧安装有绝缘套IV16，所述绝缘套IV16的上方设置有连接座15，所述连接座15的下方安装有绝缘套11， 所述绝缘套IV16套设在靶座2上，所述靶座2的下方设置有调整手柄3,所述水管19的底部安装有快接水嘴4，所述水管19的上方设置有辐阳17，所述水管19的右侧安装有绝缘套II9，所述调整螺母5与水管19的连接处设置有端面密封胶圈8,所述螺母座11通过连接板12与水管 19固定连接，所述连接座15的下方通过垫13固定连接有绝缘套HI 14，所述福阳17为纯铁，所述辐阳17的内部设置有水冷结构，所述连接板12与水管19螺纹连接。
[0012]工作原理:电弧阴极靶材的调整:在真空状态下，手动旋转调整螺母5,在调整螺母 5与绝缘套2之间加有金属垫13,避免调整螺母5与绝缘套2直接摩擦。随着调整螺母5的左右旋转，阴极体6和靶材18实现前后移动。调整螺母5即起到调整靶材18前后位置的作用，同时起到定位作用，在大气压的作用下，调整螺母5始终与垫13紧密接触。辅阳的调整:在真空状态下，辅阳17向后移动时，可用手握住水管19将其拖出辅阳在真空状态下，克服水管密封胶圈的摩擦力即可，拖到所需位置后，将调整手柄3旋转到相应的位置，调整手柄3上的阶梯台起到定位作用。辅阳17向前移动时，先手动旋转调整手柄3,使其移动到所需位置，再将连接板12推到相应位置，连接板12与水管19由螺纹连接，从而实现将辅阳17前后移动。在大气状态下更换靶材18时可将辅阳17移至靶座2处，将残余靶材18露出，便于更换靶材18。本装置辅阳17材料采用纯铁，辅阳17内部设有水冷结构，在水管19中通入冷却水，可避免长时间镀膜导致的辅阳17温度过高问题，同时可解决靶材18过厚不易冷却的问题。
[0013]最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明， 尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换， 凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种MCrALY专用超厚膜电弧靶，包括阴极体(6)和水管(19)，其特征在于:所述阴极 体(6)的上方设置有靶材(18)，所述阴极体(6)的两侧安装有调整螺母(5)，所述调整螺母 (5)的下方安装有螺母座(11)，所述阴极体(6)的两侧在调整螺母(5)的上方设置有阴极体 密封胶圈(7)，所述水管(19)与阴极体(6)的相接处设置有水管密封胶圈(10)，所述水管 (19)的两侧安装有绝缘套IV(16)，所述绝缘套IV( 16)的上方设置有连接座(15)，所述连接 座(15)的下方安装有绝缘套1(1)，所述绝缘套IV(16)套设在靶座(2)上，所述靶座(2)的下 方设置有调整手柄(3)，所述水管(19)的底部安装有快接水嘴(4)，所述水管(19)的上方设 置有辐阳(17)，所述水管(19)的右侧安装有绝缘套II (9)，所述调整螺母(5)与水管(19)的 连接处设置有端面密封胶圈(8)，所述螺母座(11)通过连接板(12)与水管(19)固定连接，所 述连接座(15 )的下方通过垫(13 )固定连接有绝缘套m (14 )。2.根据权利要求1所述的一种MCrALY专用超厚膜电弧靶，其特征在于:所述辐阳(17)为 纯铁，所述辐阳(17 )的内部设置有水冷结构。3.根据权利要求1所述的一种MCrALY专用超厚膜电弧靶，其特征在于:所述连接板(12) 与水管(19)螺纹连接。
【文档编号】C23C14/32GK105970164SQ201610562463
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2016年7月18日
【发明人】侯玉萍, 刘洋
【申请人】大连维钛克科技股份有限公司