一种掩膜版组件及其安装方法、蒸镀装置的制造方法
【专利摘要】本发明实施例提供一种掩膜版组件及其安装方法、蒸镀装置，涉及显示技术领域，能够降低掩膜版和背板贴合时掩膜版的偏移量，进而提高产品的合格率。该掩膜版组件包括支撑架以及固定于支撑架上的掩膜版，掩膜版包括有效掩膜区和包围有效掩膜区的无效掩膜区；掩膜版组件还包括固定于支撑架上的第一支撑条，第一支撑条设置于掩膜版背离支撑架一侧，且第一支撑条在支撑架所在平面的投影与掩模板在支撑架所在平面的投影存在第一交叠部分，第一交叠部分位于无效掩膜区在支撑架所在平面的投影区域内。
【专利说明】
一种掩膜版组件及其安装方法、蒸镀装置
技术领域
[0001]本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜版组件及其安装方法、蒸镀装置。
【背景技术】
[0002]有机发光二极管(Organic Light Emitting D1de，简称0LED)显示器因其具有自发光、轻薄、功耗低、高对比度、高色域、可实现柔性显示等优点，已被广泛地应用于包括电脑、手机等电子产品在内的各种电子设备中。
[0003]OLED显示器件包括阴极层、有机材料功能层以及阳极层等，其中，有机材料功能层一般利用掩膜版，采用蒸镀的方式将蒸镀材料蒸镀至蒸镀用背板的预设位置。
[0004]如图1a所示，在蒸镀的过程中，为了将蒸镀材料准确的蒸镀至蒸镀用背板100的预设位置，需要将蒸镀用背板100与下方的掩膜版200进行贴合，然而，当蒸镀用背板100与掩膜版200贴合时，由于蒸镀用背板100与掩膜版200相比，蒸镀用背板100自身的重力较大，从而使得蒸镀用背板100在沿靠近掩膜版200的方向F上具有的下垂量比掩膜版200在该方向上的下垂量大，这样一来，当蒸镀用背板100和掩膜版200在接触后会产生相对的滑动，进而会使得掩膜版200发生偏移，从而导致蒸镀至蒸镀用背板100上蒸镀材料的位置发生偏移。此外，如图1b所示，上述掩膜版200上的有效掩膜区201中包括多个间隔设置的遮挡条2011，当蒸镀用背板100和掩膜版200在接触后产生相对的滑动的过程中，背板100和遮挡条2011之间会产生摩擦，在该摩擦力的作用下，很容易使得遮挡条2011发生偏移和损坏，进而造成混色等不良现象。
[0005]综上所述，由于蒸镀用背板100的下垂量比掩膜版200的下垂量大，当蒸镀用背板100与掩膜版200贴合时，掩膜版200以及遮挡条2011会发生偏移，从而使得蒸镀材料不能有效的蒸镀至蒸镀用背板100上规定的位置，进而降低了产品的合格率。
【发明内容】
[0006]本发明的实施例提供一种掩膜版组件及其安装方法、蒸镀装置，用于降低掩膜版和蒸镀用背板贴合时掩膜版的偏移量，进而提高产品的合格率。
[0007]为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案:
[0008]本发明实施例一方面提供一种掩膜版组件，包括支撑架以及固定于所述支撑架上的掩膜版;所述掩膜版包括有效掩膜区和包围所述有效掩膜区的无效掩膜区。所述掩膜版组件还包括固定于所述支撑架上的第一支撑条，所述第一支撑条设置于所述掩膜版背离所述支撑架一侧，且所述第一支撑条在所述支撑架所在平面的投影与所述掩模板在所述支撑架所在平面的投影存在第一交叠部分，所述第一交叠部分位于所述无效掩膜区在所述支撑架所在平面的投影区域内。
[0009]进一步的，该掩膜版组件还包括固定于所述支撑架上的第二支撑条，所述第二支撑条设置于所述掩膜版靠近所述支撑架的一侧，且所述第二支撑条在所述支撑架所在平面的投影与所述掩模板在所述支撑架所在平面的投影存在第二交叠部分，所述第二交叠部分位于所述无效掩膜区在所述支撑架所在平面的投影区域内。
[0010]进一步的，所述第一支撑条与所述第二支撑条的延伸方向相同，且具有重叠区域。
[0011]进一步的，所述掩膜版在背离所述支撑架的一侧设置有凹槽，且所述第一支撑条的至少一部分位于所述凹槽内。
[0012]进一步的，所述第一支撑条背离所述支撑架的表面与所述掩膜版背离所述支撑架的表面具有高度差，所述高度差的绝对值小于或等于5μπι。
[0013]进一步的，所述第一支撑条背离所述支撑架的表面与所述掩膜版背离所述支撑架的表面平齐。
[0014]进一步的，所述凹槽的深度占所述掩膜版无效掩膜区的厚度的百分比为40%?60%。
[0015]进一步的，当所述掩膜版组件包括至少两个掩膜版时，在相邻两个所述掩膜版之间，且靠近所述支撑架的一侧设置有固定于所述支撑架上的遮蔽条。
[0016]进一步的，在所述掩膜版组件包括所述遮蔽条和第二支撑条的情况下，所述遮蔽条设置于所述第二支撑条靠近所述支撑架的一侧。
[0017]进一步的，所述支撑架为矩形框架;所述掩膜版的两端分别固定于所述支撑架的第一组对边上，所述掩膜版与所述支撑架的第二组对边中的至少一个边之间具有间隙区域;所述掩膜版组件还包括设置于所述间隙区域且固定于所述支撑架的第一组对边上的对位板;所述第一支撑条的两端分别固定于所述支撑架的第二组对边上。
[0018]进一步的，所述掩膜版为精细金属掩膜版。
[0019]本发明实施例的另一方面还提供一种掩膜版组件的安装方法，在所述掩膜版组件包括支撑架、掩膜版、第一支撑条;所述安装方法为:将所述掩膜版固定于所述支撑架的第一组对边上;在固定有所述掩膜版的支撑架上，将所述第一支撑条固定于所述支撑架的第二组对边上。
[0020]进一步的，在所述掩膜版组件还包括第二支撑条、至少两个所述掩膜版、遮蔽条的情况下，所述安装方法为:将所述遮蔽条固定于所述支撑架的第一组对边上;在固定有所述遮蔽条的支撑架上，将所述第二支撑条固定于所述支撑架的第二组对边上;在固定有所述第二支撑条的支撑架上，将所述掩膜版固定于所述支撑架的第一组对边上;其中，相邻的两个所述掩膜版的间隙与所述遮蔽条的位置对应，所述第二支撑条位于所述掩膜版的无效掩膜区；在固定有所述掩膜版的支撑架上，将所述第一支撑条固定于所述支撑架的第二组对边上，且所述第一支撑条位于所述掩膜版的凹槽内。
[0021]本发明的实施例的又一方面还提供一种蒸镀装置，包括蒸镀源以及上述的掩膜版组件;其中，所述掩膜版组件中的掩膜版靠近所述蒸镀源一侧。
[0022]本发明实施例提供一种掩膜版组件及其安装方法、蒸镀装置，该掩膜版组件包括支撑架以及固定于支撑架上的掩膜版，掩膜版包括有效掩膜区和包围有效掩膜区的无效掩膜区。掩膜版组件还包括固定于支撑架上的第一支撑条，第一支撑条设置于掩膜版背离支撑架一侧，且所述第一支撑条在支撑架所在平面的投影与掩模板在支撑架所在平面的投影存在第一交叠部分，第一交叠部分位于无效掩膜区在支撑架所在平面的投影区域内。
[0023]—方面，通过将第一支撑条设置于无效掩膜区能够避免在蒸镀过程中第一支撑条对有效掩膜区产生影响。
[0024]另一方面，蒸镀过程中，蒸镀用背板通常位于掩膜版的上方，以使得由蒸镀源蒸镀出的材料能够经过掩膜版后蒸镀至上述蒸镀用背板上，且蒸镀用背板在沿靠近掩膜版的方向上的下垂量比掩膜版在该方向上的下垂量大，在此情况下，通过设置于掩膜版靠近蒸镀用背板一侧的第一支撑条，可以对上述蒸镀用背板提供一定的支撑力，从而能够减小蒸镀用背板沿靠近掩膜版的方向上的下垂量，进而减小蒸镀用背板与掩膜版之间的挤压力，这样一来，使得蒸镀用背板与掩膜版之间因上述挤压力产生的摩擦力减小，从而能够降低掩膜版以及有效掩膜区中的遮挡条发生偏移和损坏的几率，进而提高了蒸镀材料蒸镀至蒸镀用背板上规定位置的准确性，提高了产品的合格率。
【附图说明】
[0025]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1a为背板和掩膜版在贴合时的结构示意图；
[0027]图1b为掩膜版的结构示意图；
[0028]图2a为本发明实施例提供的一种掩膜版组件的结构示意图；
[0029]图2b为图2a沿0-0’方向的剖视图；
[0030]图2c为本发明实施例提供的一种掩膜版的结构示意图；
[0031]图2d为本发明实施例提供的另一种掩膜版的结构示意图；
[0032]图2e为本发明实施例提供的另一种掩膜版组件的结构示意图；
[0033]图3a为本发明实施例提供的一种包括第二支撑条的掩膜版组件的结构示意图；
[0034]图3b为图3a沿P-P’方向的剖视图；
[0035]图4a为图3b中区域A的一种局部放大图；
[0036]图4b为图3b中区域A的另一种局部放大图；
[0037]图4c为图3b中区域A的又一种局部放大图；
[0038]图5a为本发明实施例提供的一种背板和掩膜版在贴合时的结构示意图；
[0039]图5b为本发明实施例提供的另一种背板和掩膜版在贴合时的结构示意图；
[0040]图6a为本发明实施例提供的另一种背板和掩膜版在贴合时的结构示意图；
[0041 ]图6b为本发明实施例提供的另一种背板和掩膜版在贴合时的结构示意图；
[0042]图7a为本发明实施例提供的一种包括遮蔽条的掩膜版组件的结构示意图；
[0043]图7b为图7a沿S-S’方向的剖视图；
[0044]图8a为本发明实施例提供的一种包括对位板的掩膜版组件的结构示意图；
[0045]图8b为图8a沿G-G’方向的剖视图；
[0046]图9为本发明实施例提供的一种掩膜版组件的安装方法流程图；
[0047]图10为本发明实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图。
[0048]附图标记:
[0049]10-掩膜版组件;20-蒸镀源;30-固定件；100-背板;200-掩膜版;201-有效掩膜区；2011-遮挡条;202-无效掩膜区；300-支撑架;301-第一支撑条;302-第二支撑条;303-凹槽；304-遮蔽条;305-对位板;3051-对位标记。
【具体实施方式】
[0050]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0051]本发明实施例提供一种掩膜版组件，如图2a所示，该掩膜版组件10包括支撑架300以及固定于支撑架300上的掩膜版200，其中图2a中是以包括三个掩膜版为例进行说明的。上述掩膜版200包括有效掩膜区201和包围有效掩膜区201的无效掩膜区202。
[0052]此外，如图2a沿00’方向的剖视图2b所示，掩膜版组件10还包括固定于支撑架300上的第一支撑条301，第一支撑条301设置于掩膜版200背离支撑架300—侧，且所述第一支撑条301在支撑架300所在平面的投影与掩模板200在支撑架300所在平面的投影存在第一交叠部分，该第一交叠部分位于无效掩膜区202在支撑架300所在平面的投影区域内。其中，将第一支撑条301设置于无效掩膜区202能够避免在蒸镀过程中第一支撑条301对有效掩膜区201产生影响。
[0053]需要说明的是，上述掩膜版200的有效掩膜区201是指蒸镀材料能够透过该区域，并蒸镀至位于掩膜版200上方的蒸镀用背板100上;无效掩膜区202用于遮挡蒸镀材料，以使得该蒸镀材料无法透过该区域蒸镀至蒸镀用背板100(以下简称为背板100)上。
[0054]另外，单个掩膜版200上可以设置多列有效掩膜区201，例如，如图1b所示设置有三列有效掩膜区201，或者也可以如图2a所示设置有一列的有效掩膜区201。本发明对有效掩膜区201的个数和排列方式不做限定，在实际的生产过程中可以根据生产需求进行选择。
[0055]在此基础上，上述掩膜版200也可以为如图2c所示小孔形态的掩膜版(SlotTypeMask);或者为如图2(1所示的长条形态的掩膜版(SI it Type Mask)，例如，通常在制作OLED显示器时，采用的长条形态的掩膜版可以如图2a所示为FMM(Fine Metal Mask，精细金属掩膜版)，该FMM在有效掩膜区201中的遮挡条2011的宽度仅为几十微米左右，其抗压强度较小，但是在上述第一支撑条301对该背板100提供支撑力的作用下，能够有效的减小背板100对有效掩膜区201中窄长的遮挡条2011的挤压，进而有效的减小了该FMM中遮挡条2011的偏移和损坏。
[0056]此处还需要说明的是，上述位于无效掩膜区202的第一支撑条301可以如图2a所示为直线形状，也可以如图2e所示为弯曲形状。然而，由于背板100的中间区域在沿靠近掩膜版200的方向F上产生的下垂量最大，因此掩膜版200对应背板100的中间区域受到的挤压力最大。因此，优选的，如图2a所示，将在掩膜版200的中间区域设置第一支撑条301，且该第一支撑条301为直线形状，能够在满足对背板100的中间区域提供的支撑力的同时，使得第一支撑条301的用料最少。以下实施例均是以图2a所示第一支撑条301为例，对本发明做进一步的解释说明。
[0057]本发明实施例提供的掩膜版组件，包括支撑架以及固定于支撑架上的掩膜版，掩膜版包括有效掩膜区和包围有效掩膜区的无效掩膜区，掩膜版组件还包括固定于支撑架上的第一支撑条，第一支撑条设置于掩膜版背离所述支撑架一侧，且位于无效掩膜区。
[0058]蒸镀过程中，蒸镀用背板通常位于掩膜版的上方，以使得由蒸镀源蒸镀出的材料能够经过掩膜版后蒸镀至上述蒸镀用背板上，且蒸镀用背板在沿靠近掩膜版的方向上的下垂量比掩膜版在该方向上的下垂量大，在此情况下，通过设置于掩膜版靠近蒸镀用背板一侧的第一支撑条，可以对上述蒸镀用背板提供一定的支撑力，从而能够减小蒸镀用背板沿靠近掩膜版的方向上的下垂量，进而减小蒸镀用背板与掩膜版之间的挤压力，这样一来，使得蒸镀用背板与掩膜版之间因上述挤压力产生的摩擦力减小，从而能够降低掩膜版以及有效掩膜区中的遮挡条发生偏移和损坏的几率，进而提高了蒸镀材料蒸镀至蒸镀用背板上规定位置的准确性，提高了产品的合格率。
[0059]为了进一步提高对背板100的支撑力，如图3a所示，上述掩膜版组件10还包括固定于支撑架300上的第二支撑条302，且第二支撑条302在支撑架300所在平面的投影与掩模板200在支撑架300所在平面的投影存在第二交叠部分，该第二交叠部分位于无效掩膜区202在支撑架300所在平面的投影区域内。其中，如图3a沿P-P’方向的剖视图3b所示，该第二支撑条302设置于掩膜版200靠近支撑架300的一侧。
[0060]这样一来，在该第二支撑条302的支撑作用下，能够进一步减小背板100在沿靠近掩膜版200方向F上的下垂量，降低掩膜版200受到背板100的挤压力，进而降低掩膜版200的偏移量，提高蒸镀材料蒸镀至背板100上规定位置的准确性。另外，本发明对第二支撑条302与第一支撑条301的相对位置不做限定，可以交叉设置，也可以重叠设置。
[0061 ]在此基础上，为了最大程度的增加第一支撑条301和第二支撑条302对背板100的支撑力，优选的，如图3a所示，第一支撑条301和第二支撑条302的延伸方向相同，且第一支撑条301与第二支撑条302具有重叠区域。这样一来，如图3b所示，通过上述重叠区域内的第一支撑条301和第二支撑条302能够同时对背板100起到支撑，更大程度上降低背板100在沿靠近掩膜版200方向F上的下垂量，进一步降低掩膜版200的偏移量。
[0062]以下对第一支撑条301与第二支撑条302具有重叠区域的设置方式做进一步的解释说明。
[0063]例如，可以如图4a所示(图3b中区域A的放大图)，第一支撑条301中轴线M-M’与第二支撑条302的中轴线N-N’不重合，第一支撑条301与第二支撑条302具有重叠区域。
[0064]又例如，可以如图4b所示，第一支撑条301与第二支撑条302的中轴线可以完全重合均为M-M’，第一支撑条301与第二支撑条302具有重叠区域。
[0065]由于当背板100挤压掩膜版200时，如果第一支撑条301与第二支撑条302的中轴线不重合时，在背板100的挤压作用力下容易使得第一支撑条301与第二支撑条302发生错位，进而会对掩膜版200的有效掩膜区201产生影响。因此，本发明优选的，如图4b所示，第一支撑条301与第二支撑条302的中轴线重合。
[0066]进一步的，如图4b所示，在第一支撑条301与第二支撑条302的中轴线重合的基础上，一方面，为了同时增加第一支撑条301与第二支撑条302提高对背板100的支撑力，降低背板100在靠近掩膜版200方向上的下垂量;另一方面，为了进一步提高第一支撑条301与第二支撑条302在受到挤压力时的相对稳定性，降低第一支撑条301与第二支撑条302发生错位的几率。优选的，可以如图4c所示，将第一支撑条301与第二支撑条302的中轴线设置为完全重合，且第一支撑条301与第二支撑条302的宽度相等，这样一来，能够在提高对背板100的支撑力的同时，增加第一支撑条301与第二支撑条302在受到挤压力时的相对稳定性。
[0067]在此基础上，在不影响掩膜版200中有效掩膜区201的基础上，可以尽可能的增大设置在无效掩膜区202内第一支撑条301与第二支撑条302的宽度，以实现通过第一支撑条301和第二支撑条302对背板100提供最大的支撑力，最大程度上降低背板100在沿靠近掩膜版200方向F上的下垂量。
[0068]此外，还需要说明的是，第一支撑条301和第二支撑条302—般选择刚度较大的金属材料，然而在蒸镀过程中，蒸镀腔内具有一定的蒸镀温度，由于不同材质的热膨胀系数不同，即不同材质在温度发生改变时出现的胀缩量不同。因此，本发明优选的，第一支撑条301和第二支撑条302的材质与掩膜版200的材质相同，例如不锈钢材料，能够给背板100提供足够的支撑力的同时，避免在蒸镀作业中，因第一支撑条301、第二支撑条302与掩膜版200的热膨胀系数不同引起的胀缩量不同，使得第一支撑条301、第二支撑条302与掩膜版200相对位置发生变化，导致蒸镀材料不能准确的蒸镀至背板100上规定位置的现象。
[0069]进一步的，由于上述第一支撑条301设置在掩膜版200背离支撑架300的一侧，这样一来，如图5a所示，当背板100在下垂的过程中与掩膜版200贴合时，背板100与掩膜版200之间形成的高度差ΛΗ较大，从而会使得在蒸镀的过程中，在掩膜版200的有效掩膜区201内，蒸镀材料以一定的倾角穿过该高度差ΛΗ蒸镀至背板100上无效掩膜区202的位置，导致在背板100上形成的蒸镀图案存在蒸镀阴影。因此，可以如图5b所示，在掩膜版200背离支撑架300的一侧设置有凹槽303，且第一支撑条301的至少一部分位于该凹槽303内。此处第一支撑条301的至少一部分位于该凹槽303内，可以是第一支撑条301全部位于凹槽303内，也可以是第一支撑条301的一部分位于凹槽303内。这样一来，能够在保证第一支撑条301对背板100的有效支撑力的基础上，使得背板100与掩膜版200之间的高度差ΛΗ减小，进而减小背板100上形成的蒸镀图案存在的蒸镀阴影。
[0070]此处需要说明的是，上述掩膜版200背离支撑架300的一侧的凹槽303可以在制作掩膜版200的过程中通过采用半透过掩膜工艺，以及曝光、刻蚀工艺形成。具体的，即在制作掩膜版200时，在用于构成掩膜版200的金属板上涂覆光刻胶，然后采用半透过掩膜版对上述金属板进行曝光，其中半透过掩膜版包括透光区域、半透光区域以及不透光区域。接下来通过刻蚀工艺，使得上述金属板上对应半透光区域处形成上述凹槽303。
[0071]以下对设置于凹槽303中的第一支撑条301的具体情况进行说明。
[0072]例如，如图6a所示，第一支撑条301背离支撑架300的表面与掩膜版200背离支撑架300的表面平齐。
[0073]需要说明的是，上述第一支撑条301背离支撑架300的表面与掩膜版200背离支撑架300的表面平齐，是指第一支撑条301背离支撑架300的表面与掩膜版200背离支撑架300的表面在同一平面内。当然，在具体的制作过程中，第一支撑条301背离支撑架300的表面与掩膜版200背离支撑架300在制作公差范围内引起的细微偏差而未完全处于同一平面内，可以视为第一支撑条301背离支撑架300的表面与掩膜版200背离支撑架300的表面平齐。
[0074]又例如，如图6b所示，第一支撑条301背离支撑架300的表面略低于掩膜版200背离支撑架300的表面，即第一支撑条301背离支撑架300的表面与掩膜版200背离支撑架300的表面之间存在高度差ΛΗ，由于当该高度差ΛΗ大于5μπι时，使得背板100在沿靠近掩膜版200方向F下垂时，掩膜版200会受到挤压向下产生的形变量有限而无法与第一支撑条301接触，从而使得第一支撑条301不能给背板100提供支撑力，因此本发明优选的，上述高度差ΛΗ小于或等于5μη?ο
[0075]在这种情况下，背板100在下垂的过程中，掩膜版200会受到挤压向下产生形变，在掩膜版200向下产生形变后，使得背板100与第一支撑条301处于同一平面，此时，在背板100继续下垂的过程中，处于同一平面内的第一支撑条301能够对背板100起到支撑作用。这样一来，通过第一支撑条301分担一部分背板100对掩膜版200的挤压力，能够降低掩膜版200
的偏移量。
[0076]再例如，如图5b所示，第一支撑条301背离支撑架300的表面略高于掩膜版200背离支撑架300的表面，使得背板100与掩膜版200之间存在高度差ΛΗ，由于当该高度差ΛΗ大于5μπι时，从而会使得在蒸镀的过程中，背板100与掩膜版200之间存在较大的间隙，进而导致在背板100上形成的蒸镀图案存在蒸镀阴影，因此本发明优选的，上述高度差ΛΗ小于或等于 5ym0
[0077]在这种情况下，背板100在沿靠近掩膜版200方向F下垂时，背板100首先与第一支撑条301，从而使得第一支撑条301能够对背板100起到支撑作用，同时对于背板100与掩膜版200之间存在的较小高度差ΛΗ，可以通过磁力吸附设备来吸附掩膜版200，以达到消除该高度差ΛΗ的目的。
[0078]综上所示，为了最大程度降低背板100与掩膜版200之间的高度差ΛΗ，避免在背板100上形成的蒸镀图案存在的蒸镀阴影，优选的，如图6a所示，第一支撑条301背离支撑架300的表面与掩膜版200背离支撑架300的表面平齐。
[0079]在此基础上，如图6a所示，凹槽303的深度Dl占掩膜版200无效掩膜区202的厚度D2的百分比为40%?60%。具体的，如果该凹槽303深度Dl与无效掩膜区202的厚度D2比值小于40%，会使得设置于该凹槽303中的第一支撑条301的厚度有限，从而不能有效的起到支撑作用；如果该凹槽303深度Dl与无效掩膜区202的厚度D2比值大于60%，由于该凹槽303的深度Dl过大，会使得掩膜版200在该凹槽303位置处的强度降低，从而导致掩膜版200在该凹槽303位置容易发生损坏或者断裂。
[0080]此外，当掩膜版组件10包括至少两个掩膜版200时，例如，如图3a所示的掩膜版组件10包括三个掩膜版200，在相邻两个掩膜版200之间存在一定的缝隙区域C，在蒸镀的过程中，该缝隙区域C对应背板100的切割线区域，从而使得蒸镀材料会通过该缝隙区域C蒸镀至背板100上的切割线区域，在蒸镀完成后，将背板100沿该切割线切割为不同的显示基板时，通过上述缝隙区域C蒸镀至背板100上的蒸镀材料则对应显示基板的四周的组装区域，由于该蒸镀材料的存在，会使得在后续组装过程中出现密封不良的现象。
[0081]为了解决上述技术问题，如图7a所示，在上述相邻两个掩膜版200之间，且靠近支撑架300的一侧设置固定于支撑架300上的遮蔽条304。这样一来，通过在相邻两个掩膜版200之间设置遮蔽条304，该遮蔽条304对蒸镀材料具有一定的遮挡作用，进而能够避免蒸镀材料通过上述缝隙区域C直接蒸镀至背板100上的切割线区域，从而避免了显示基板在后续组装过程中出现密封不良的现象。
[0082]在此基础上，如图7a沿S-S’方向的剖视图7b所示，在掩膜版组件1包括遮蔽条304和第二支撑条302的情况下，遮蔽条304设置于第二支撑条302靠近支撑架300的一侧。这样一来，当背板100在下垂的过程中，第二支撑条302比遮蔽条304更靠近背板100，第二支撑条302会先对背板100提供一定的支撑力，从而降低了背板100对遮蔽条304的挤压力，进而降低了遮蔽条304因挤压发生偏移的几率，使得遮蔽条304能够有效的起到遮蔽有机材料的作用。
[0083]此外，如图7a所示，当上述支撑架300为矩形框架时，掩膜版200的两端分别固定于该支撑架300的第一组对边X和X’上，掩膜版200与支撑架300的第二组对边Y和Y’中的至少一个边之间具有对位区域B ο为了使得掩膜版200的有效掩膜区201与背板100上的蒸镀有效区精确对位，如图8a所示，该掩膜版组件10还包括设置于上述对位区域B且固定于支撑架300的第一组对边X和X’上的对位板305;其中，第一支撑条301的两端分别固定于支撑架300的第二组对边Y和Y’上。
[0084]具体的，在背板100和对位板305上均设置有对位标记3051，如图8a所示，该对位标记3051可以为圆孔形状的标记，也可以为T型的标记，或者十字型的标记，本发明对此不做限定。将掩膜版200的有效掩膜区201与背板100上的蒸镀有效区进行对位，例如，可以在掩膜版组件10的安装的过程中，采用坐标定位的方式将位于相同坐标系中的掩膜版200和对位板305的位置进行精确定位，然后在蒸镀的过程中，将对位板305上的圆形对位标记与背板100上的十字对位标记位置相对应，和/或，将对位板305上的T型对位标记与背板100上的T型对位标记位置相对应，来精确确定背板100和对位板305的位置，从而能够实现掩膜版200的有效掩膜区201通过对位板305与背板100上的蒸镀有效区精确对位的目的。
[0085]本发明实施例还提供一种掩膜版组件的安装方法，在该掩膜版组件10包括支撑架300(其中，图9所示的支撑架300为矩形)、第一支撑条301、掩膜版200时，该掩膜版组件10的安装方法包括:
[0086]首先、将掩膜版200固定于支撑架300的第一组对边X和X’上。
[0087]然后、在固定有掩膜版200的支撑架300上，将第一支撑条301固定于支撑架300的第二组对边Y和Y’上。
[0088]在此基础上，当上述该掩膜版组件10还包括第二支撑条302、至少两个掩膜版200、遮蔽条304的情况下，如图9所示，该掩膜版组件10的安装方法包括:
[0089]以下结合图8a和图8b的掩膜版组件10对上述安装方法进行具体说明，其中，图8b为沿图8a中G-G’方向的剖视图。
[0090]SlOl、将遮蔽条304固定于支撑架300的第一组对边X和X’上。
[0091]具体的，该遮蔽条304的位置与后续预固定的相邻两个掩膜版200的间隙区域C相对应，这样一来，通过在相邻两个掩膜版200之间设置遮蔽条304，该遮蔽条304对蒸镀材料具有一定的遮挡作用，进而能够避免蒸镀材料通过该缝隙区域C直接蒸镀至背板100上，从而避免了显示基板在后续组装过程中出现密封不良的现象。
[0092]S102、在固定有遮蔽条304的支撑架300上，将第二支撑条302固定于支撑架300的第二组对边Y和Y’上。
[0093]具体的，在该第二支撑条302的支撑作用下，能够减小背板100在沿靠近掩膜版200方向F上的下垂量，降低掩膜版200受到背板100的挤压力，进而降低掩膜版200的偏移量，提高蒸镀材料蒸镀至背板100上规定位置的准确性。
[0094]此处需要说明的是，本发明通过先在支撑架300上固定遮蔽条304然后再固定第二支撑条302，这样一来，第二支撑条302比遮蔽条304更靠近背板100，第二支撑条302会先对背板100提供一定的支撑力，从而降低了背板100对遮蔽条304的挤压力，进而降低了遮蔽条304因挤压发生偏移的几率，使得遮蔽条304能够有效的起到遮蔽有机材料的作用。
[0095]S103、在固定有第二支撑条302的支撑架300上，将掩膜版200固定于支撑架300的第一组对边X和X’上；其中，相邻的两个掩膜版200的间隙与遮蔽条304的位置对应，第二支撑条302位于掩膜版200的无效掩膜区201。
[0096]此处需要说明的是，在支撑架300的第一组对边X和X’上固定掩膜版200的同时，在掩膜版200与支撑架300的第二组对边Y和Y’中的至少一个边之间的对位区域B处，还将对位板305固定于支撑架300的第一组对边X和X’上，用于将掩膜版200的有效掩膜区201通过该对位板305与背板100上的蒸镀有效区进行精确定位。
[0097]S104、在固定有掩膜版200的支撑架300上，将第一支撑条301固定于支撑架300的第二组对边Y和Y’上，且第一支撑条301位于掩膜版200的凹槽303内。具体的，通过将第一支撑条301设置于掩膜版200的凹槽303内，能够在保证第一支撑条301的有效支撑力的基础上，使得背板100与掩膜版200之间的高度差ΛΗ减小，进而降低背板100上形成的蒸镀图案的蒸镀阴影。
[0098]此处需要说明的是，如果在将在第二支撑条302固定在支撑架300上后，再将第一支撑条301固定在第二支撑条302上，可能由于第二支撑条302出现松动等异常现象时，导致第一支撑条301也出现松动现象，因此，本发明优选的，第一支撑条301和第二支撑条302分别直接固定在支撑架300上，以避免两者之间相互影响。
[0099]此外，上述遮蔽条304、第一支撑条301、第二支撑条302、掩膜版200、遮蔽条304可以通过焊接的方式固定于支撑架300上，例如图Sb所示的区域Q即为焊接点；还可以通过螺栓连接的方式固定于支撑架300上，本发明对此不作限定，只要能够保证遮蔽条304、第一支撑条301、第二支撑条302、掩膜版200、遮蔽条304能够准确的固定于支撑架300上即可。
[0100]本发明实施例还提供一种蒸镀装置，如图10所示，该蒸镀装置包括蒸镀源20以及掩膜版组件10;其中，该掩膜版组件10中的掩膜版200(图中未示出)靠近蒸镀源20—侧，通过掩膜版组件10中的支撑架300(图中未示出)将该掩膜版组件10固定于蒸镀源20上方的固定件30上。
[0101]该蒸镀装置包括上述掩膜版组件，具有与前述实施例提供的掩膜版组件相同的结构和有益效果。由于前述实施例已经对该掩膜版组件的结构和有益效果进行了详细的描述，此处不再赘述。
[0102]以上所述，仅为本发明的【具体实施方式】，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
【主权项】
1.一种掩膜版组件，其特征在于，包括支撑架以及固定于所述支撑架上的掩膜版;所述掩膜版包括有效掩膜区和包围所述有效掩膜区的无效掩膜区； 所述掩膜版组件还包括固定于所述支撑架上的第一支撑条，所述第一支撑条设置于所述掩膜版背离所述支撑架一侧，且所述第一支撑条在所述支撑架所在平面的投影与所述掩模板在所述支撑架所在平面的投影存在第一交叠部分，所述第一交叠部分位于所述无效掩膜区在所述支撑架所在平面的投影区域内。2.根据权利要求1所述的掩膜版组件，其特征在于，还包括固定于所述支撑架上的第二支撑条，所述第二支撑条设置于所述掩膜版靠近所述支撑架的一侧，且所述第二支撑条在所述支撑架所在平面的投影与所述掩模板在所述支撑架所在平面的投影存在第二交叠部分，所述第二交叠部分位于所述无效掩膜区在所述支撑架所在平面的投影区域内。3.根据权利要求2所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第一支撑条与所述第二支撑条的延伸方向相同，且具有重叠区域。4.根据权利要求1所述的掩膜版组件，其特征在于，所述掩膜版在背离所述支撑架的一侧设置有凹槽，且所述第一支撑条的至少一部分位于所述凹槽内。5.根据权利要求4所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第一支撑条背离所述支撑架的表面与所述掩膜版背离所述支撑架的表面具有高度差，所述高度差的绝对值小于或等于5μmD6.根据权利要求4所述的掩膜版组件，其特征在于，所述第一支撑条背离所述支撑架的表面与所述掩膜版背离所述支撑架的表面平齐。7.根据权利要求4所述的掩膜版组件，其特征在于，所述凹槽的深度占所述掩膜版无效掩膜区的厚度的百分比为40%?60%。8.根据权利要求1至7任一项所述的掩膜版组件，其特征在于，所述掩膜版组件包括至少两个掩膜版，在相邻两个所述掩膜版之间，且靠近所述支撑架的一侧设置有固定于所述支撑架上的遮蔽条。9.根据权利要求8所述的掩膜版组件，其特征在于，在所述掩膜版组件包括所述遮蔽条和第二支撑条的情况下，所述遮蔽条设置于所述第二支撑条靠近所述支撑架的一侧。10.根据权利要求1所述的掩膜版组件，其特征在于，所述支撑架为矩形框架； 所述掩膜版的两端分别固定于所述支撑架的第一组对边上，所述掩膜版与所述支撑架的第二组对边中的至少一个边之间具有间隙区域； 所述掩膜版组件还包括设置于所述间隙区域且固定于所述支撑架的第一组对边上的对位板； 所述第一支撑条的两端分别固定于所述支撑架的第二组对边上。11.根据权利要求1所述的掩膜版组件，其特征在于，所述掩膜版为精细金属掩膜版。12.一种掩膜版组件的安装方法，其特征在于，在所述掩膜版组件包括支撑架、掩膜版、第一支撑条;所述安装方法为: 将所述掩膜版固定于所述支撑架的第一组对边上； 在固定有所述掩膜版的支撑架上，将所述第一支撑条固定于所述支撑架的第二组对边上。13.根据权利要求12所述的掩膜版组件的安装方法，其特征在于，在所述掩膜版组件还包括第二支撑条、至少两个所述掩膜版、遮蔽条的情况下，所述安装方法为: 将所述遮蔽条固定于所述支撑架的第一组对边上； 在固定有所述遮蔽条的支撑架上，将所述第二支撑条固定于所述支撑架的第二组对边上； 在固定有所述第二支撑条的支撑架上，将所述掩膜版固定于所述支撑架的第一组对边上;其中，相邻的两个所述掩膜版的间隙与所述遮蔽条的位置对应，所述第二支撑条位于所述掩膜版的无效掩膜区； 在固定有所述掩膜版的支撑架上，将所述第一支撑条固定于所述支撑架的第二组对边上，且所述第一支撑条位于所述掩膜版的凹槽内。14.一种蒸镀装置，包括蒸镀源，其特征在于，还包括权利要求1至11任一项所述的掩膜版组件;其中，所述掩膜版组件中的掩膜版靠近所述蒸镀源一侧。
【文档编号】C23C14/04GK106086782SQ201610493408
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年6月28日
【发明人】林治明, 王震, 张健, 唐富强, 黄俊杰
【申请人】京东方科技集团股份有限公司, 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司