一种真空镀膜吸尘机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及真空镀膜除尘技术，具体涉及一种真空镀膜吸尘机。
【背景技术】
[0002]真空镀膜是在真空环境下利用辉光放电将氩气离子撞击靶材表面，靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜层。因该技术成本低、附着性好及镀膜厚度均匀等特点，越来越多的应用在厚膜晶片电阻器的制造工艺上。因而开发出高品质的真空镀膜技术，对企业未来的发展具有重要意义。常规的真空镀膜技术在基板进入真空溅镀机前使用气枪清洁附着在基板表面的异物(粉尘、毛肩等)，以保证产品品质，同时保护真空环境。
[0003]常规的真空镀膜技术在真空溅镀前使用气枪清洁基板，虽在一定程度上起到了清洁的作用，但难以保证清洁的干净度，易出现电阻器侧面未完全镀膜的现象，造成焊锡性不良。同时带有异物的晶片电阻进入真空腔体内，破坏了腔体的真空环境。而异物被气枪吹向空气中，破坏了工作环境。使用气枪清洁基板，需要清洁完一面再清洁另一面，生产效率低。
【实用新型内容】
[0004]针对上述现有技术中的不足，本实用新型主要目的是提供一种真空镀膜吸尘机，能有效解决现有技术中真空锻I旲如基板清洁不完全的冋题，不仅利于基板清洁提尚广品品质，而且利于工作环境保护，减少工人工作量的同时保护工人身体健康。
[0005]为实现上述目的，本实用新型公开的技术方案是:一种真空镀膜吸尘机，包括:自动运输装置、真空清洁装置、抽真空装置，所述自动运输装置包括料盘轨道、传输皮带和传输马达，所述传输马达驱动所述传输皮带转动，所述传输皮带带动所述料盘轨道移动；所述真空清洁装置包括供料盘通过的腔体及设于所述腔体两侧的感应器，所述腔体的上端及下端分别设有吸气孔或吸气缝；所述抽真空装置包括真空泵、清洁管道及过滤器，所述真空泵连接所述清洁管道，所述清洁管道连接所述吸气孔或吸气缝，所述真空泵与清洁管道之间设置过滤器。
[0006]优选的，所述抽真空装置设有两个，两个抽真空装置分别连接腔体上端的吸气孔或吸气缝及腔体下端的吸气孔或吸气缝。
[0007]优选的，所述感应器设有两个，其中一个设于所述腔体的进料端的上方，另一个设于所述腔体的出料端的下方。
[0008]优选的，所述腔体呈长方体结构。
[0009]优选的，所述腔体的上端及下端的吸气缝的缝隙间距为4_8mm，长度为600-700mmo
[0010]本实用新型中的真空镀膜吸尘机利用真空泵产生的负压，吸取附着在基板和料盘表面的异物，以达到清洁的效果。吸取的异物进入清洁管道，最终吸附在过滤器的滤芯上，工人对滤芯作定期清洁，保证过滤器的过滤效果。为降低人力劳动强度，本实用新型设计自动传输系统，可以将料盘、基板自动传输到真空镀膜吸尘机进行清洁。同时利用光电感应，真空泵只有当基板或料盘在真空镀膜吸尘机里面时才开始工作，可以减少能源的浪费。
[0011]本实用新型真空镀膜吸尘机有如下好处:1.真空镀膜吸尘机的清洁效果显著，自投入生产后，无相关品质异常发生，极大的提高了产品的品质状况；2.真空镀膜吸尘机自动传输装置的设计，降低了作业者的劳动强度；3.真空镀膜吸尘机加装滤芯，使吸入的异物吸附在滤芯上，保护了工作环境。
[0012]本实用新型真空镀膜吸尘机，能有效解决现有技术中真空镀膜前基板清洁不完全的问题，不仅利于基板清洁提高产品品质，而且利于工作环境保护，减少工人工作量的同时保护工人身体健康。
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型真空镀膜吸尘机一较佳实施例的结构示意图。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0015]请参考附图1，本实用新型实施例包括:
[0016]实施例1:一种真空镀膜吸尘机，包括:自动运输装置、真空清洁装置2、抽真空装置，自动运输装置I包括料盘轨道3、传输皮带I和传输马达，所述传输马达驱动传输皮带I转动，传输皮带I带动料盘轨道3移动；真空清洁装置2包括供待清洁的料盘通过的腔体及设于所述腔体两侧的感应器，所述腔体的上端及下端分别设有吸气孔；抽真空装置包括真空泵、清洁管道及过滤器，所述真空泵连接所述清洁管道，所述清洁管道连接所述吸气孔，所述真空泵与清洁管道之间设置过滤器。
[0017]实施例2:本实施例与实施例1的不同之处在于，本实施例中，抽真空装置设有两个，分别是抽真空装置4、抽真空装置5。抽真空装置4包括真空泵40、清洁管道41、过滤器42，真空泵40连接过滤器42，清洁管道41 一端连接过滤器42，另一端连接腔体上端的吸气孔22 ;真空泵50连接过滤器52，清洁管道51 —端连接过滤器52，另一端连接腔体上端的吸气孔23。
[0018]实施例3:本实施例与实施例2的不同之处在于，本实施例中，所述感应器设有两个，感应器20设于所述腔体的进料端的上方，感应器21设于所述腔体的出料端的下方。
[0019]本实施例中，真空清洁装置2的腔体呈长方体结构。
[0020]实施例4:一种真空镀膜吸尘机，包括:自动运输装置、真空清洁装置2、抽真空装置，自动运输装置I包括料盘轨道3、传输皮带I和传输马达，所述传输马达驱动传输皮带I转动，传输皮带I带动料盘轨道3移动；真空清洁装置2包括供待清洁的料盘通过的腔体及设于所述腔体两侧的感应器，所述腔体的上端及下端分别设有吸气缝；抽真空装置包括真空泵、清洁管道及过滤器，所述真空泵连接所述清洁管道，所述清洁管道连接所述吸气缝，所述真空泵与清洁管道之间设置过滤器。
[0021]腔体的上端及下端的吸气缝的缝隙间距为5mm，长度为600mm。
[0022]实施例5:本实施例与实施例4的不同之处在于，本实施例中腔体的上端及下端的吸气缝的缝隙间距为8mm，长度为700mmo
[0023]实施例6:本实施例与实施例4的不同之处在于，本实施例中腔体的上端及下端的吸气缝的缝隙间距为4mm，长度为650mmo
[0024]以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种真空镀膜吸尘机，其特征在于，包括:自动运输装置、真空清洁装置、抽真空装置，所述自动运输装置包括料盘轨道、传输皮带和传输马达，所述传输马达驱动所述传输皮带转动，所述传输皮带带动所述料盘轨道移动；所述真空清洁装置包括供待清洁的料盘通过的腔体及设于所述腔体两侧的感应器，所述腔体的上端及下端分别设有吸气孔或吸气缝；所述抽真空装置包括真空泵、清洁管道及过滤器，所述真空泵连接所述清洁管道，所述清洁管道连接所述吸气孔或吸气缝，所述真空泵与清洁管道之间设置过滤器。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜吸尘机，其特征在于，所述抽真空装置设有两个，两个抽真空装置分别连接腔体上端的吸气孔或吸气缝及腔体下端的吸气孔或吸气缝。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜吸尘机，其特征在于，所述感应器设有两个，其中一个设于所述腔体的进料端的上方，另一个设于所述腔体的出料端的下方。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜吸尘机，其特征在于，所述腔体呈长方体结构。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜吸尘机，其特征在于，所述腔体的上端及下端的吸气缝的缝隙间距为4-8mm，长度为600-700mm。
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空镀膜吸尘机，包括：自动运输装置、真空清洁装置、抽真空装置，自动运输装置包括料盘轨道、传输皮带和传输马达，传输马达驱动传输皮带转动，传输皮带带动料盘轨道移动；真空清洁装置包括供料盘通过的腔体及设于所述腔体两侧的感应器，所述腔体的上端及下端分别设有吸气孔或吸气缝；所述抽真空装置包括真空泵、清洁管道及过滤器，所述真空泵连接所述清洁管道，所述清洁管道连接所述吸气孔或吸气缝，所述真空泵与清洁管道之间设置过滤器。通过上述方式，本实用新型能有效解决现有技术中真空镀膜前基板清洁不完全的问题，不仅利于基板清洁提高产品品质，而且利于工作环境保护，减少工人工作量的同时保护工人身体健康。
【IPC分类】C23C14-00
【公开号】CN204356394
【申请号】CN201420786170
【发明人】温美香
【申请人】旺诠科技(昆山)有限公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2014年12月15日