一种真空镀膜设备内壁清理装置的制造方法

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一种真空镀膜设备内壁清理装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于吸尘设备领域,尤其涉及到一种真空镀膜设备内壁清理装置。
【背景技术】
[0002]真空镀膜设备的真空室长期使用会沉积一层金属镀层,这层镀层与真空室内壁结合紧密,影响真空设备的正常使用。定期清理真空镀膜设备内壁成为一项繁琐的工作,针对这层金属镀层,一般使用钢刷清理,或是吸尘器清理。常规设备往往达不到理想的清除效果O
[0003]中国实用新型专利CN203973326U公开了一种金属复合带的打磨装置,以及CN201147897Y电动钢刷机械等装置,能够清理金属表面杂质,但是结构复杂,需要使用电机等装置提供动力,对于结构精细的真空室,特别是狭小的死角地带,不能发挥其作用。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型为解决上述技术问题,提出一种真空镀膜设备内壁清理装置。能够解决上述技术问题。
[0005]本实用新型采取的技术方案是:
[0006]一种真空镀膜设备内壁清理装置,包括钢刷和管道,其特征在于:管道上端开口位置安装固定轴,转轮围绕固定轴转动,转轮粘接钢刷;转轮位于管道的进气口位置,钢刷平行排列于转轮,并且随开口位置气流作用能够转动;管道下端连接管道接口,接口可连接吸尘器。
[0007]为了使转轮在吸尘器的气流作用下转动,管道开口端有一定的倾斜角度,固定轴位置在中心线以下时,气流大部分通过转轮与管道间隙,从而使系统达到不用动力装置,带动钢刷运动的效果。
[0008]本实用新型有益效果:清理真空镀膜设备内壁方便快速,不需要电机等动力设备,不会造成二次污染,特别是对靶材周围的狭小空隙,清理效果显著。
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型结构示意图
【具体实施方式】
[0010]如图1所示,粘接有钢刷3的转轮2 —部分在吸气口内,一部分在吸气口外。转轮2通过固定轴I固定在在管道4的进气口位置,管道4下端连接管道接口 5,接口可连接吸尘器。吸尘器开动时,钢刷3排列成平行的风车状,气流推动转轮2转动,钢刷3对准需要清理部位,露在进气口外边的钢刷3刮擦金属镀层,刮下的金属碎肩吸入管道4内。实现了真空镀膜设备内壁快速清洗。
【主权项】
1.一种真空镀膜设备内壁清理装置,包括钢刷(3)和管道(4),其特征在于:管道(4)上端开口位置安装固定轴(1),转轮(2)围绕固定轴(I)转动,转轮(2)粘接钢刷(3)。
2.根据权利要求1所述一种真空镀膜设备内壁清理装置,其特征在于:转轮(2)位于管道(4)的进气口位置,钢刷(3)平行排列于转轮(2),并且随开口位置气流作用能够转动。
3.根据权利要求1所述一种真空镀膜设备内壁清理装置,其特征在于:管道(4)下端连接管道接口(5)。
【专利摘要】本实用新型属于吸尘设备领域,尤其涉及到一种真空镀膜设备内壁清理装置。一种真空镀膜设备内壁清理装置,包括管道和吸尘器,其特征在于:管道安装带钢刷的转轮,吸尘器吸气时,转轮带动钢刷转动。本实用新型有益效果:清理真空镀膜设备内壁方便快速,不需要电机等动力设备,不会造成二次污染,特别是对靶材周围的狭小空隙,清理效果显著。
【IPC分类】B24B27-033, B24B55-06
【公开号】CN204397580
【申请号】CN201520021983
【发明人】苏晨怡, 乔宪武, 徐晓晖, 邱顺剑, 章鹏飞
【申请人】中国计量学院
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2015年1月13日
再多了解一些
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