柔性卷绕镀膜中薄膜在线除水气装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及柔性卷绕镀膜领域，特别是涉及一种柔性卷绕镀膜设备中的薄膜在线除水气装置。
【背景技术】
[0002]目前柔性透明导电薄膜沉积技术已经在触摸屏行业广泛推广，柔性透明导电膜通过卷绕镀膜设备镀制，柔性透明导电薄膜基材都是PET (Polyethylene terephthalate，聚对苯二甲酸乙二醇酯)等柔性材料。但由于其不耐高温、不易于沉积具有优良电学性能的透明导电薄膜，且对氧气、水气的阻隔性差，从而使得沉积的导电薄膜电阻率偏高。因此PET基材在沉积之前要去除水气才能降低导电薄膜的电阻率。
[0003]传统去除水气的方法大概有两种:1、通过热辐射的方法在真空室内加红外加热管对PET基材进行远距离烘烤，该种方法能量转换效率低、除水气时间长，而且温度不均衡；2、在真空室外先对PET基材进行除水气一次，然后再放到真空室内通过热辐射的方式对PET基材进行二次去除水气，该种方法的效果比第一种方法的效果好，但是PET基材在多次操作时难免会产生划伤等缺陷，造成良率降低。
[0004]因此亟需提供一种新型的柔性卷绕镀膜中薄膜去除水气的装置来解决上述问题。【实用新型内容】
[0005]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种柔性卷绕镀膜中薄膜在线去除水气装置，能够在卷绕镀膜设备溅射镀膜前有效去除薄膜的水气。
[0006]为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是:提供一种柔性卷绕镀膜中薄膜在线除水气装置，柔性卷绕镀膜设备包括放卷室、工艺室、收卷室，放卷室包括放卷装置、传动辊，薄膜在线除水气装置包括低温水气泵、至多两个加热辊、温度监测控制系统，低温水气泵包括固定在放卷室下部内壁上的制冷盘管、与制冷盘管相连的压缩机，加热辊包括轴、安装在轴上的轴承、固定在轴外表面的两段铠装加热管、包裹在铠装加热管外层的辊筒，其分布在放卷装置与传动辊之间，温度监测控制系统包括安装在加热辊表面的探头、与探头连接的温度控制装置。
[0007]在本实用新型一个较佳实施例中，所述铠装加热管固定在轴外表面的若干半圆形加热管固定套上，且呈环形排布在轴外表面，此结构保证固定后的铠装加热管与辊筒表面的距离相等，确保辊筒表面温度均匀。
[0008]在本实用新型一个较佳实施例中，所述温度控制装置包括温度传感器，通过探头探测的温度传输至温度控制装置，将其与设定温度比较后对铠装加热管进行升温或降温。
[0009]本实用新型的有益效果是:本实用新型结构简单，通过设置在柔性卷绕镀膜设备中实现直接在线有效地去除原膜的水气，减少镀膜前对原膜在真空室外的预处理步骤，保证原膜不被划伤、污染，提高了镀膜产品良率，且产品的光学性能好，大大节省了生产成本。
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型一较佳实施例在柔性卷绕镀膜设备中的安装位置示意图；
[0011]图2是所述加热辊的横切面示意图；
[0012]图3是图2的A-A剖面图。
[0013]附图中各部件的标记如下:1、放卷室，11、放卷装置，2、传动辊，3、工艺室，31、镀膜鼓，32、磁控溅射阴极系统，4、收卷室，41、收卷装置，5、低温水气泵，51、制冷盘管，6、加热辊，61、轴，62、轴承，63、铠装加热管，64、辊筒，65、加热管固定套，7、温度监测控制系统，71、探头，8、原膜。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0015]请参阅图1，本实用新型实施例包括:
[0016]一种柔性卷绕镀膜中薄膜在线除水气装置，设置在柔性卷绕镀膜设备中，柔性卷绕镀膜设备包括放卷室1、工艺室3、收卷室4，放卷室I包括放卷装置11、传动辊2，工艺室3包括镀膜鼓31、环绕镀膜鼓31的磁控溅射阴极系统32、若干个传动辊2，收卷室4包括若干个传动辊2、收卷装置41。
[0017]薄膜在线除水气装置包括低温水气泵5、至多两个加热辊6、温度监测控制系统7。低温水气泵5包括制冷盘管51、压缩机(图中未示出)，制冷盘管51大面积固定在放卷室I下部内壁上，压缩机通过两个管道与制冷盘管51相连。结合图2和图3，加热辊6包括轴61、安装在轴61上的轴承62、固定在轴61外表面的两段铠装加热管63、包裹在铠装加热管63外层的辊筒64，在轴61的外表面环形间隔分布有若干个半圆形加热管固定套65，铠装加热管63即安装在加热管固定套65上，呈环形分布在轴61外表面，保证固定后的铠装加热管63与辊筒64表面的距离相等，两段铠装加热管63分两边布置在轴61外表面上，保证整个辊筒64表面温度均匀。辊筒64与铠装加热管63之间有一定的间隙，加热辊6转动时只是辊筒64通过轴承62转动，轴61不转动，这样保证了辊筒64表面温度的均匀性。加热辊6分布在放卷装置11与传动辊2之间，在本实施例中，加热辊6的数量为两个。温度监测控制系统7包括安装在加热辊6表面的探头71、与探头71连接的温度控制装置(图中未示出)。探头71安装在加热辊6的辊筒64表面，通过探头71探测的温度传输至温度控制装置，温度控制装置包括温度传感器，将接收的温度与温度控制装置的设定温度比较后对铠装加热管63进行升温或降温。区别于现有技术，所述加热辊6的辊筒64表面为黑色，这样对探头71探测的温度误差较小。
[0018]此柔性卷绕镀膜设备的镀膜流程步骤为:先对设备进行破真空处理，然后打开放卷室1、工艺室3、收卷室4的门，把成卷的原膜8 (尚未磁控溅射的薄膜基材)放到放卷装置11上；把原膜8经过加热辊6、传动辊2、镀膜鼓31、传动辊2、收卷装置41穿引后，对设备进行抽真空、开启低温水气泵5 ;当放卷室I内达到工艺真空标准时，开启转动加热棍6和传动辊2，原膜8经过两个加热辊6后将原膜8所含的水气放出，通过制冷盘管51表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统内的水气，原膜8经过传动辊2到达工艺室3，在镀膜鼓31处时磁控溅射阴极系统32对原膜8进行沉积透明导电薄膜，然后由传动辊2送到收卷装置41完成。由此可见，加热辊6既可以去除水气又起到传送原膜8的作用，原膜8直接与加热辊6的辊筒64表面接触，由加热辊6内部的两段铠装加热管63进行加热，使得原膜8受热均匀，迅速释放所含的水分；而加热辊6的辊筒64表面为黑色，具有良好的吸附作用，使其表面的探头71探测温度信号的精准度大大提高，因此也更好地保证温度监测控制系统7对加热辊6表面温度的控制。
[0019]本实用新型结构简单，通过设置在柔性卷绕镀膜设备中实现直接在线有效地去除原膜8的水气，减少镀膜前对原膜8在真空室外的预处理步骤，保证原膜8不被划伤、污染，提高了镀膜产品良率，且产品的光学性能好，大大节省了生产成本。
[0020]以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种柔性卷绕镀膜中薄膜在线除水气装置，柔性卷绕镀膜设备包括放卷室、工艺室、收卷室，放卷室包括放卷装置、传动辊，其特征在于，薄膜在线除水气装置包括低温水气泵、至多两个加热辊、温度监测控制系统，低温水气泵包括固定在放卷室下部内壁上的制冷盘管、与制冷盘管相连的压缩机，加热辊包括轴、安装在轴上的轴承、固定在轴外表面的两段铠装加热管、包裹在铠装加热管外层的辊筒，其分布在放卷装置与传动辊之间，温度监测控制系统包括安装在加热辊表面的探头、与探头连接的温度控制装置。
2.根据权利要求1所述的柔性卷绕镀膜中薄膜在线除水气装置，其特征在于，所述铠装加热管固定在轴外表面的若干半圆形加热管固定套上。
3.根据权利要求2所述的柔性卷绕镀膜中薄膜在线除水气装置，其特征在于，所述铠装加热管呈环形排布在轴外表面。
4.根据权利要求1所述的柔性卷绕镀膜中薄膜在线除水气装置，其特征在于，所述温度控制装置包括温度传感器。
【专利摘要】本实用新型公开了一种柔性卷绕镀膜中薄膜在线除水气装置，柔性卷绕镀膜设备包括放卷室、工艺室、收卷室，放卷室包括放卷装置、传动辊，薄膜在线除水气装置包括低温水气泵、至多两个加热辊、温度监测控制系统，低温水气泵包括固定在放卷室下部内壁上的制冷盘管、与制冷盘管相连的压缩机，加热辊包括轴、安装在轴上的轴承、固定在轴外表面的两段铠装加热管、包裹在铠装加热管外层的辊筒，其分布在放卷装置与传动辊之间，温度监测控制系统包括安装在加热辊表面的探头、与探头连接的温度控制装置。本实用新型通过设置在柔性卷绕镀膜设备中实现直接在线有效地去除原膜的水气，提高了镀膜产品良率，且产品的光学性能好，大大节省了生产成本。
【IPC分类】C23C14-02, C23C14-35
【公开号】CN204474749
【申请号】CN201520100680
【发明人】张少波, 刘月豹, 任丹, 王银泉, 孔德辉
【申请人】安徽方兴光电新材料科技有限公司
【公开日】2015年7月15日
【申请日】2015年2月12日