一种光学真空镀膜装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及材料表面处理技术领域，特指一种光学真空镀膜装置。
【背景技术】
[0002]真空镀膜装置能给金属、半导体、绝缘体、塑料等表面上沉积一层不同的材料，工业上运用范围极其广泛，而目前真空镀膜能获得有很好的附着力，在真空镀膜过程中很多因素都会影响到镀膜的效果，比如蒸发材料预熔时不清洁的蒸发物、整个机械的震动和放气口异物在放气时吸入蒸发室(5)内等都会造成镀膜的效果，而整个镀膜装置的维修和安装也极为不方便。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的在于针对现有技术的不足，提供一种光学真空镀膜装置，本实用新型维修方便，镀膜效果好，安装方便，能有效的防止异物进入。
[0004]本实用新型一种光学真空镀膜装置是通过以下技术方案来实现的:
[0005]一种光学真空镀膜装置，包括机械泵(1)、罗茨泵(2)、扩散泵(3)、高阀壳体(4)和蒸发室(5)，所述机械泵(I)放置在地面上，机械泵(I)直接与罗茨泵(2)连接，罗茨泵(2)设置在机架(13)上，罗茨泵(2)通过真空管道(17)分别与扩散泵(3)和高阀壳体(4)连接，高阀壳体(4)设置在扩散泵(3)的上端，真空管道(17)上设置有波纹管(18)，真空管道(17)与扩散泵(3)连接处设置有预真空阀(6)，真空管道(17)与高阀壳体(4)连接处设置有低真空阀(7)，高阀壳体(4)的顶部设置有高阀气缸(8)，高阀壳体(4)与蒸发室(5)连接，蒸发室(5)下端设置有四脚测量座(9)，蒸发室(5)的门体(11)上设置有两个观察窗口(10)，门体(11)的边缘设置有压紧装置(14)，蒸发室(5)顶部的正中心设置有工转引入(12)，蒸发室(5)的内顶部设置有发热装置，蒸发室(5)的后方设置有室体放气阀(19)，蒸发室(5)的侧面设置有主机箱(15)。
[0006]所述真空管道(17)为三通管道，波纹管(18)设置在真空管道(17)与预真空阀(6)连接的分路端，烘烤装置(16 )环绕分布在蒸发室(5 )内顶部，压紧装置(14 )为气缸推动。
[0007]本实用新型的有益效果:本实用新型将机械泵安放在地面上，这样机械泵的振动就不会传递给整机；四脚测量座作为备用的测量引线座，可用于对蒸发室内的测量原件接线，也可用于其它测量接线；波纹管可以避免罗茨泵的震动传给扩散泵，压紧装置采用气缸推动，使蒸发室的密封性更好，本实用新型对环境无污染，是绿色环保工艺，对操作者无伤害，膜层牢固、致密性好、抗腐蚀性强，膜厚均匀。
[0008]以下结合附图所示实施例的【具体实施方式】，对本实用新型的上述内容再作进一步的详细说明。
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型一种光学真空镀膜装置的侧视图，
[0010]图2是本实用新型一种光学真空镀膜装置的主视图，
[0011]图3是本实用新型一种光学真空镀膜装置的俯视图。
[0012]图中标记:I为机械泵，2为罗茨泵，3为扩散泵，4为高阀壳体，5为蒸发室，6为预真空阀，7为低真空阀，8为高阀气缸，9为四脚测量座，10为观察窗口，11为门体，12为工转引入，13为机架，14为压紧装置，15为主机箱，16为烘烤装置，17为真空管道，18为波纹管，19为室体放气阀。
【具体实施方式】
[0013]如图1至图3所示，本实用新型的一种光学真空镀膜装置，包括机械泵(1)、罗茨泵
(2)、扩散泵(3)、高阀壳体(4)和蒸发室(5)，所述机械泵(I)放置在地面上，机械泵(I)直接与罗茨泵(2)连接，罗茨泵(2)设置在机架(13)上，罗茨泵(2)通过真空管道(17)分别与扩散泵(3)和高阀壳体(4)连接，高阀壳体(4)设置在扩散泵(3)的上端，真空管道(17)上设置有波纹管(18)，真空管道(17)与扩散泵(3)连接处设置有预真空阀(6)，真空管道(17)与高阀壳体(4)连接处设置有低真空阀(7)，高阀壳体(4)的顶部设置有高阀气缸(8)，高阀壳体(4)与蒸发室(5)连接，蒸发室(5)下端设置有四脚测量座(9)，蒸发室(5)的门体(11)上设置有两个观察窗口(10)，门体(11)的边缘设置有压紧装置(14)，蒸发室(5)顶部的正中心设置有工转引入(12)，蒸发室(5)的内顶部设置有发热装置，蒸发室(5)的后方设置有室体放气阀(19 )，蒸发室(5 )的侧面设置有主机箱(15)。
[0014]首先抽取低真空，开启机械泵(I) I?2分钟，待泵油面平静后开预真空阀(6)对扩散泵(3)进行抽低真空3?5分钟待机械泵(I)油面平静后开扩散泵(3)，当扩散泵(3)处于正常工作状态，真空度应不低于I X KT3Pa时打开门体(11)进行真空卫生处理，检查蒸发室(5)内各配套件是否安装到位，装入蒸镀工件及蒸发材料，关通过门体(11)上的压紧装置(14)对蒸发室(5)的门体(11)进行压紧关闭。这时关预真空阀(6)、开低真空阀(7)对蒸发室(5)抽低真空达到3Pa时，关低真空阀(7)、开预真空阀(6)再开高阀壳体(4)内的高真空阀，对蒸发室(5)内进行抽高真空，达到工作真空度时间15分钟以内，首先清洁工件表面，再工件进行烘烤除气，检查真空度，关闭烘烤待达到工作真空度5 X 10_3Pa后开始进行工件镀膜，通过工转引入(12)的均匀转动，使工件均匀蒸镀，蒸镀完成后，待蒸发室
(5)内各配套件充分冷却，打开室体放气阀(19)开，待大气平衡后再打开门体(11)，取出工件，最后开始停机操作，先关室体放气阀(19)，再关闭门体(11)进行保真空处理，关预真空阀(6)、开低真空阀(7)对蒸发室(5)抽低真空，抽真空至3Pa，保真空完毕。然后关低真空阀(7)、开预真空阀(6)、关扩散泵(3)开始退热，约I小时后关预真空阀(6)、关机械泵(I)。最后关闭主机箱(15)，打扫设备周围清洁卫生及设备自身清洁卫生。
【主权项】
1.一种光学真空镀膜装置，包括机械泵(I)、罗茨泵(2)、扩散泵(3)、高阀壳体(4)和蒸发室(5)，其特征在于:所述机械泵(I)放置在地面上，机械泵(I)直接与罗茨泵(2)连接，罗茨泵(2)设置在机架(13)上，罗茨泵(2)通过真空管道(17)分别与扩散泵(3)和高阀壳体(4)连接，高阀壳体(4)设置在扩散泵(3)的上端，真空管道(17)上设置有波纹管(18)，真空管道(17)与扩散泵(3)连接处设置有预真空阀(6)，真空管道(17)与高阀壳体(4)连接处设置有低真空阀(7)，高阀壳体(4)的顶部设置有高阀气缸(8)，高阀壳体(4)与蒸发室(5)连接，蒸发室(5)下端设置有四脚测量座(9)，蒸发室(5)的门体(11)上设置有两个观察窗口(10)，门体(11)的边缘设置有压紧装置(14)，蒸发室(5)顶部的正中心设置有工转引入(12)，蒸发室(5)的内顶部设置有发热装置，蒸发室(5)的后方设置有室体放气阀(19)，蒸发室(5)的侧面设置有主机箱(15)。
2.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜装置，其特征在于:所述真空管道(17)为三通管道，波纹管(18)设置在真空管道(17)与预真空阀(6)连接的分路端，烘烤装置(16)环绕分布在蒸发室(5)内顶部，压紧装置(14)为气缸推动。
【专利摘要】本实用新型涉及材料表面处理技术领域，特指一种光学真空镀膜装置；本实用新型包括机械泵1、罗茨泵2、扩散泵3、高阀壳体4和蒸发室5，机械泵1与罗茨泵2连接，罗茨泵2通过真空管道17与扩散泵3和高阀壳体4连接，真空管道17上设置波纹管18，真空管道17与扩散泵3连接处设置有预真空阀6，真空管道17与高阀壳体4连接处设置有低真空阀7，高阀壳体4与蒸发室5连接，蒸发室5下端设置有四脚测量座9，蒸发室5的门体11上设置有两个观察窗口10，门体11上设置有压紧装置14，蒸发室5内顶部设置有发热装置，蒸发室5顶部的正中心设置有工转引入12，本实用新型维修方便，镀膜效果好，安装方便，能有效的防止异物进入。
【IPC分类】C23C14-24
【公开号】CN204550694
【申请号】CN201520160200
【发明人】卢成, 王伟, 曹德
【申请人】成都国泰真空设备有限公司
【公开日】2015年8月12日
【申请日】2015年3月21日