一种用于真空镀膜设备的真空检测装置的制造方法

文档序号:8974195
一种用于真空镀膜设备的真空检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及太阳能生产设备领域,具体涉及一种用于真空镀膜设备的真空检测装置。
【背景技术】
[0002]真空磁控溅射镀膜设备是把磁控原理与普通溅射技术相结合利用磁场的特殊分布控制电场中的电子运动轨迹,将离子引向欲被溅射的物质制成的靶电极(阴极),并将靶材原子溅射出来使其沿着一定的方向运动到衬底并最终在衬底上沉积成膜,使得镀膜厚度及均匀性可控,且制备的薄膜致密性好、粘结力强及纯净度高,真空磁控溅射镀膜设备已成为制备太阳能薄膜电池的重要设备。在生产过程中,需要将真空磁控溅射镀膜设备内腔抽真空至ΙΟΕ-lPa,并需要外部真空计对其进行测量校准,而现有的真空计与设备内腔是直通式连接,腔体内的微尘、中性靶材原子会混入真空计中,长久以后会造成真空计损坏而影响到设备正常工作。例如申请号:201420184905.X所述的一种改进的真空镀膜设备,其在检测管中设置滤尘通道,其缺点在于该滤尘通道在过滤粉尘时容易被堵塞,影响真空计的检测精度。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型目的是为了克服技术的不足,提供了种用于真空镀膜设备的真空检测装置,在检测真空镀膜设备真空度时防止粉尘流入影响检测甚至损坏。
[0004]为了实现上述目的,本实用新型采用以下技术方案:一种用于真空镀膜设备的真空检测装置,包括真空计和粉尘过滤器,所述粉尘过滤器包括过滤器本体,所述过滤器本体上设有进气端和出气端,所述进气端和出气端连接有连接管,位于进气端的连接管与真空镀膜设备连接,位于出气端的连接管与所述真空计连接,所述进气端和出气端均设有连接端头,所述连接端头与连接管密封连接。
[0005]本实用新型通过在真空计前端增设一个粉尘过滤器,能很好地过滤真空镀膜设备中的粉尘,防止粉尘流入到真空计内影响检测效果或对真空计造成损坏,同时在出气端和进气端设置连接端头,使连接管与粉尘过滤器密封连接,连接效果好,不会因空气泄漏而影响检测效果。
[0006]作为优选,所述进气端和出气端内均设有过滤网。
[0007]作为优选,所述过滤器本体内设有过滤腔,所述过滤腔分别与进气端和出气端连通。
[0008]作为优选,所述过滤腔内设有若干个导流板,所述导流板与过滤腔形成一条导流道,所述导流道的入口与进气端连通,所述导流道的出口与出气端连通。
[0009]作为优选,所述导流道内设有过滤组件和干燥组件。
[0010]作为优选,所述过滤器本体上设有位于过滤腔下部并与过滤腔连通的集尘区,所述集尘区的入口设有向集尘区倾斜设置的阻挡部,过滤后的粉尘在重力作用下聚集到集尘区内,入口的阻挡板既能使粉尘滑入集尘区,又能防止集尘区内的粉尘重新流入到导流道内。
[0011]作为优选,所述连接端头设有螺纹部、密封部和限位部,所述螺纹部设有内螺纹,所述连接管设有与螺纹部配合的外螺纹,所述连接端头与连接管为螺纹连接;所述密封部内设有与连接管外侧紧密贴合的密封圈,所述限位部设有与连接管端部抵触的弹性圈。此结构可以将连接管与粉尘过滤器连接牢固,密封效果好,不会因空气泄漏而影响真空检测装置的检测效果。
[0012]作为优选,所述密封部设置在螺纹部和限位部中间,所述密封部的内径大小依次减小,所述密封部靠近限位部一侧的内径小于靠近螺纹部一侧的内径。当连接管与连接端头通过螺纹连接时,螺纹旋进量越多,密封圈与连接管和密封部贴合的越紧密,密封性越好。
[0013]本实用新型具有如下有益效果:本实用新型结构简单,使用方便,能够有效地过滤粉尘阻止粉尘进入到真空计内,不影响真空计使用的同时延长真空计的使用寿命,维护保养方便,成本相对较低,拆装改造简单;同时真空计与粉尘过滤器连接效果好,密封不漏气,不影响检测精度。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型实施例的结构示意图;
[0015]图2为本实用新型实施例中粉尘过滤器的结构示意图;
[0016]图3为本实用新型实施例中连接端头和连接管连接的结构示意图;
[0017]图中,1-真空镀膜设备;2_粉尘过滤器;21_进气端;211_过滤网;22_出气端;23-过滤器本体;231_过滤腔;232_导流板;233_导流道;234_干燥组件;235_过滤组件;236-集尘区;2361_阻挡部;3_真空计;4_连接管;5_连接端头;51_螺纹部;52_密封部;53-限位部;6_密封圈;7_弹性圈。
【具体实施方式】
[0018]下面将结合附图,通过具体实施例对本实用新型作进一步说明。
[0019]实施例:如图1至图3所示,一种用于真空镀膜设备的真空检测装置,包括真空计3和粉尘过滤器2,粉尘过滤器2包括过滤器本体3,过滤器本体23上设有进气端21和出气端22,过滤器本体23内设有过滤腔231,过滤腔231分别与进气端21和出气端22连通,进气端21和出气端22内均设有过滤网211,进行初步过滤大粒径粉尘。进气端21和出气端22均设有连接端头5,连接端头5密封连接有连接管4,位于进气端21的连接管4与真空镀膜设备I连接,位于出气端22的连接管4与真空计3连接。连接端头5设有螺纹部51、密封部52和限位部53,密封部52设置在螺纹部51和限位部53中间,螺纹部51设有内螺纹,连接管4设有与螺纹部51配合的外螺纹,连接端头5与连接管4为螺纹连接。密封部52的内径大小依次减小,密封部52靠近限位部53 —侧的内径小于靠近螺纹部51 —侧的内径。密封部52内设有与连接管4外侧紧密贴合的密封圈6,限位部53设有与连接管4端部抵触的弹性圈7。当连接管4与连接端头5通过螺纹连接时,螺纹旋进量越多,密封圈6与连接管4和密封部52贴合越紧密,密封性越好。
[0020]过滤腔231内设有2个导流板232,导流板232与过滤腔231形成一条导流道233,导流道233的入口与进气端21连通,导流道233的出口与出气端22连通,导流道233内设有过滤组件235和干燥组件234,过滤组件235为杂织的纤维层,对粒子进行多道屏障,纤维间宽阔的空间允许气流顺利通过;干燥组件234采用干燥剂进行干燥处理。
[0021]过滤器本体23上设有集尘区236,集尘区236位于过滤腔231下部并与过滤腔231连通,集尘区236的入口设有向集尘区236倾斜设置的阻挡部2361,过滤后的粉尘在重力作用下聚集到集尘区236内,入口的阻挡板2361既能使粉尘滑入集尘区236,又能防止集尘区236内的粉尘重新流入到导流道233内。
【主权项】
1.一种用于真空镀膜设备的真空检测装置,包括真空计(3)和粉尘过滤器(2),其特征在于:所述粉尘过滤器(2 )包括过滤器本体(23 ),所述过滤器本体上设有进气端(21)和出气端(22),所述进气端(21)和出气端(22)连接有连接管(4),位于进气端(21)的连接管(4)与真空镀膜设备连接,位于出气端(22)的连接管(4)与所述真空计(3)连接,所述进气端(21)和出气端(22)均设有连接端头(5),所述连接端头(5)与连接管(4)密封连接。2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜设备的真空检测装置,其特征在于:所述进气端(21)和出气端(22 )内均设有过滤网(211)。3.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜设备的真空检测装置,其特征在于:所述过滤器本体(23)内设有过滤腔(231),所述过滤腔(231)分别与进气端(21)和出气端(22)连通。4.根据权利要求3所述的一种用于真空镀膜设备的真空检测装置,其特征在于:所述过滤腔(231)内设有若干个导流板(232),所述导流板(232)与过滤腔(231)形成一条导流道(233),所述导流道(233)的入口与进气端(21)连通,所述导流道(233)的出口与出气端(22)连通。5.根据权利要求4所述的一种用于真空镀膜设备的真空检测装置,其特征在于:所述导流道(233 )内设有过滤组件(235 )和干燥组件(234)。6.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜设备的真空检测装置,其特征在于:所述过滤器本体(23)上设有位于过滤腔(231)下部并与过滤腔(231)连通的集尘区(236),所述集尘区(236)的入口设有向集尘区(236)倾斜设置的阻挡部(2361)。7.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜设备的真空检测装置,其特征在于:所述连接端头(5)设有螺纹部(51)、密封部(52)和限位部(53),所述螺纹部(51)设有内螺纹,所述连接管(4)设有与螺纹部(51)配合的外螺纹,所述连接端头(5)与连接管(4)为螺纹连接;所述密封部(52)内设有与连接管(4)外侧紧密贴合的密封圈(6),所述限位部(53)设有与连接管(4)端部抵触的弹性圈(7)。8.根据权利要求6所述的一种用于真空镀膜设备的真空检测装置,其特征在于:所述密封部(52)设置在螺纹部(51)和限位部(53)中间,所述密封部(52)的内径大小依次减小,所述密封部(52)靠近限位部(53)—侧的内径小于靠近螺纹部(51)—侧的内径。
【专利摘要】本实用新型涉及太阳能生产设备领域,具体涉及一种用于真空镀膜设备的真空检测装置,包括真空计和粉尘过滤器,所述粉尘过滤器包括过滤器本体,所述过滤器本体上设有进气端和出气端,所述进气端和出气端连接有连接管,位于进气端的连接管与真空镀膜设备连接,位于出气端的连接管与所述真空计连接,所述进气端和出气端均设有连接端头,所述连接端头与连接管密封连接。本实用新型通过在真空计前端增设一个粉尘过滤器,能很好地过滤真空镀膜设备中的粉尘,防止粉尘流入到真空计内影响检测效果或对真空计造成损坏,同时在出气端和进气端设置连接端头,使连接管与粉尘过滤器密封连接,连接效果好,不会因空气泄漏而影响检测效果。
【IPC分类】C23C14/56, C23C14/35
【公开号】CN204625782
【申请号】CN201520170676
【发明人】杨征, 李静益
【申请人】浙江长兴汉能光伏有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年3月25日
再多了解一些
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1