免转动中的碰撞。可逆调速电机31固定在电机支承板32上，电机轴上用螺钉33固定小齿轮34，小齿轮34与大齿轮28配装后带动轴20匀速旋转。电机支承板32通过4根螺杆35固定在大法兰上，方便快捷地进行整体换靶。
[0037]靶体包括圆管状靶材36，靶管上端与密封座4通过螺纹连接，靶管下端37和靶材36通过螺纹连接，并用螺钉38紧固的端盖39压住O型圈40密封；靶材36被设计成两端装配位对称结构，方便两端调换使用，提高靶材利用率。
[0038]防水罩包括不锈钢管套41，管套上端的密封压垫42，磁轭上端43，磁轭下端44，配以O型圈45和46。不锈钢管套41下端部焊接有环状板，用磁轭下端44压O型圈46实现下部密封；管套上端的密封压垫42与磁轭上端间使用O型圈45实现上部密封；防水罩的上下部都采用螺纹紧固，可拆卸。这种防水罩结构除O型圈外，都选用不锈钢材质，有如下好处:可长时间的防止水对磁体的腐蚀；避免磁体与靶管内壁的直接接触，减小转动阻力，降低故障率；结构简单，拆装简便，便于检修及更换磁路；加上通冷却水以降低温度对磁体性能的影响，能够长期保证所建磁场的磁场强度稳定在镀膜工艺所要求的范围之内。
[0039]磁轴包括磁轭47，磁体48，磁轭上端43，磁轭下端44。磁轭47为一导磁中空圆管，管外壁上加工有装磁体的槽。磁体48被装在与磁轭长轴向平等的6路槽中，相邻两路磁体的极性恰好相反；磁路被排成长条状环形；为了避免磁路两端磁场过强而造成的靶管两端刻蚀过快的缺陷，在磁轭两端安装相对于中部长条形区域磁场强度略低的磁体，极性与相连接的两边槽磁体相同，使整个磁路的材料表面刻蚀速率均匀，提高靶材利用率。为了获得不同的镀膜工艺效果，实际使用中一般有3种磁场强度排布设计:第一种是以构造非平衡磁场为目的，选用3级磁场强度的磁体，其中最强的磁体被安装在3路间隔的长条状槽中，中等强度的磁体被安装另外3路间隔的长条状槽中，相对最弱的磁体被安装在两端。第二种是常用平衡磁控溅射磁路，长条状槽中安装强磁体，两端安装相对较弱磁体。第三种是以构造磁控电弧混合工艺效果为目的，磁路的整体安装结构与第二种近似，唯一不同的是整体的磁场强度降低到磁控溅射与离子镀技术所需求的磁场强度的临界区域，当配以恰当的电源，能起到综合调节薄膜或涂层组织结构、表面形貌和沉积效率的作用。磁轭上端43为一中空细管，上端设计为冷水进口和与轴20套接的旋转槽口，下端设计有防水罩端板并与磁轭47螺纹连接；磁轭下端44上部用螺纹连接在磁轭47上，并通过O型密封圈46密封防水罩下部，下端放在推力球轴承49上，推力球轴承49又安装在靶管下端37内，既可减小靶管旋转时的阻力，又可调心限位。
[0040]本实用新型所述磁场旋转磁控柱弧靶，除管靶根据镀膜工艺要求定制，绝缘部件选用聚四氟乙烯，高温部件选用精密陶瓷或石英玻璃，密封处选用氟橡胶O型圈或带骨架轴封，轴承选用金属轴承标件外，大部分零部件均选用不锈钢制造，以达到防锈美观，无磁的效果。
[0041]本实用新型与现有结构相比，靶材利用率提高；极大地降低故障率，延长单次使用寿命；结构简单，方便装配及检修；融入一体化设计理念，利于快捷更换靶。
[0042]虽然结合附图对本实用新型的【具体实施方式】进行了详细地描述，但不应理解为对本专利的保护范围的限定。在权利要求书所描述的范围内，本领域技术人员不经创造性劳动即可作出的各种修改和变形仍属本专利的保护范围。
【主权项】
1.一种磁场旋转磁控柱弧靶，其特征在于:包括靶座，分水套，传动机构，靶管，防水罩和磁轴； 所述靶座包括大法兰，大法兰下部连接有屏蔽罩，大法兰上设有密封环，密封环上为密封座，密封座上为绝缘压环； 所述分水套通过螺钉与密封座连接，分水套内部被分水环分隔成上进水室和下出水室；所述分水环固定在支架上，支架上开设有均分的孔；所述支架固定在密封轴座上，密封轴座与分水套连接，密封轴座内装有带动磁芯部旋转的轴，电极连接片固定在密封轴座上; 所述传动机构的小齿轮与大齿轮啮合，大齿轮通过绝缘环与磁芯旋转轴绝缘，绝缘环下的支承环隔开绝缘环和轴承压环；传动机构的可逆调速电机固定在电机支承板上，电机支承板固定在大法兰上； 靶体包括圆管状、结构对称的靶材，靶管上端与密封座连接，靶管下端和靶材螺纹连接并密封靶管内的水； 所述防水罩通过不锈钢管套、管套上端的密封压垫、磁轭上端和磁轭下端实现磁轴外水的密封； 所述磁轴包括磁轭和磁体。2.如权利要求1所述的磁场旋转磁控柱弧靶，其特征在于:大法兰通过螺钉与真空镀膜机实现可拆卸连接；电机支承板通过螺杆固定在大法兰上；大法兰上有密封环，低温工艺时一般选聚四氟乙烯材料，高温工艺时选精密陶瓷或石英玻璃件；密封座上设有O型圈；绝缘压环通过螺钉将密封座、密封环、O型圈压紧在大法兰上。3.如权利要求1所述的磁场旋转磁控柱弧靶，其特征在于:分水套内被分水环分为上进水室和下出水室，分别通过水嘴与外部进出水管相接。密封轴座通过螺钉与分水套连接，通过O型圈实现密封。4.如权利要求1所述的磁场旋转磁控柱弧靶，其特征在于:带动磁芯部旋转的轴安装在密封轴座内。5.如权利要求1所述的磁场旋转磁控柱弧靶，其特征在于:传动用大齿轮内套有与磁芯旋转轴绝缘的绝缘环。绝缘环和轴承压环间有支承环。6.如权利要求1所述的磁场旋转磁控柱弧靶，其特征在于:管靶被设计成两端装配位对称结构。7.如权利要求1所述的磁场旋转磁控柱弧靶，其特征在于:磁轴外套有可拆卸的不锈钢防水罩；防水罩的不锈钢管套下端部焊接有环状板，与磁轭下端配合压紧O型圈实现防水罩的下部密封；采用密封压垫与磁轭上端间压紧一 O型圈实现防水罩的上部密封。8.如权利要求1所述的磁场旋转磁控柱弧靶，其特征在于:在磁轭两端安装相对于中部长条形区域磁场强度略低的磁体；在磁轭中安装3级磁场强度的磁体，其中最强的磁体被安装在3路间隔的长条状槽中，中等强度的磁体被安装另外3路间隔的长条状槽中，相对最弱的磁体被安装在两端。9.如权利要求1所述的磁场旋转磁控柱弧靶，其特征在于:磁轭下端安放在推力球轴承上，推力球轴承又安装在靶管下端内。
【专利摘要】本实用新型公开了一种磁场旋转磁控柱弧靶，包括靶座，分水套，传动机构，靶体，防水罩和磁轴。靶座包括大法兰，以及大法兰下部连接的屏蔽罩，大法兰上部的密封环、密封座和绝缘压环；分水套含带支架分水环、密封轴座，以及密封轴座的电极连接片和密封轴座内的带动磁芯部旋转轴；磁轴包括磁轭和装配在其槽内的磁体；防水罩由不锈钢圆管和两端可拆卸密封垫将磁轭的上下端密封；靶体由结构对称的靶材和用于密封水的端盖组成；电机带动大小齿轮传动组，进而带动磁轴匀速旋转。使用上述结构的磁场旋转磁控柱弧靶，有益于靶材利用率提高；极大地降低故障率，延长单次使用寿命；结构简单，方便装配及检修；融入一体化设计理念，利于快捷更换靶。
【IPC分类】C23C14/35
【公开号】CN204644453
【申请号】CN201520244431
【发明人】鄢强, 宋慧瑾
【申请人】成都金倍科技有限公司
【公开日】2015年9月16日
【申请日】2015年4月22日