一种用于太阳能电池电极真空蒸镀的掩膜板的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种镀膜用的掩膜板，具体涉及一种用于太阳能电池电极真空蒸镀的掩膜板。
【背景技术】
[0002]真空蒸镀是指在高真空环境下，将待成膜的物质加热升华后在低温基片上凝结析出并形成一层薄膜的过程。
[0003]太阳能电池电极的掩膜板由多个分隔开的格子组成。每个格子内可放置一块玻璃基片。格子内的蒸镀区域为若干个并排的长条。每个长条对应一个电极。其中最边缘的电极的极性与其它几个相反。其它部分则被掩膜板底座遮挡。常规的太阳能电池电极的掩膜板的格子尺寸是固定的，并且与某特定大小基片的尺寸相匹配。但是玻璃基片的制作和切割工艺存在多种不确定因素，尤其是有些时候需要由人工完成最后的切割步骤。因此实际切割出来的基片可能会略微偏离标准尺寸。如果掩膜板的格子尺寸是固定的，则偏大的基片就可能无法放入格子中。即使基片的尺寸符合标准尺寸，人工掰断的过程中也有可能产生凸出的尖角，从而导致基片无法放入格子中。如果因此导致经过多部工艺处理过的基片无法继续使用，便会造成基片和材料的浪费。另一方面，设计格子尺寸时使之适当地偏大并不是一种可取的方案。在偏大的格子里，原本尺寸适合甚至偏小的基片就会随着掩膜板的旋转而不断滑动，从而导致蒸镀的电极形状无法控制。
【发明内容】
[0004]为了克服上述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于太阳能电池电极真空蒸镀的掩膜板，既可以容纳稍微偏大的玻璃基片，也不会导致偏小的基片在掩膜板旋转时滑动。
[0005]为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是:
[0006]—种用于太阳能电池电极真空蒸镀的掩膜板，包括底座2，底座2和分隔板6是分离的，底座2和分隔板6连接组合后形成两个以上的正方形或者长方形的格子1，每个格子I内除蒸镀长条4外都被底座2遮挡，格子I的大小通过控制分隔板6的位置和数目来调控。
[0007]所述的格子I之间留有两个以上的组装分隔板6的安装位置。
[0008]所述的底座2外栏上每两个格子I之间设计两个以上的放置分隔板6的第一凹槽3。
[0009]所述的分隔板6分为横向分隔板6a和纵向分隔板6b,其中，横向分隔板6a具有朝上的第二凹槽5a，纵向分隔板6b具有朝下的第三凹槽5b，第二凹槽5a、第三凹槽5b的深度等于分隔板6深度的一半，两类分隔板6都可安放到底座2上，并且通过第一凹槽3固定。
[0010]本实用新型的有益效果为:由于格子I大小可以调控，所以既可以容纳稍微偏大的玻璃基片，也不会导致偏小的基片在掩膜板旋转时滑动。
【附图说明】
[0011]图1为横向和纵向各有三排格子I的底座2示意图。
[0012]图2为图1的底座2外栏有多个第一凹槽3的示意图。
[0013]图3为分隔板6示意图，其中图3(a)具有朝上的第三凹槽5a，图(b)具有朝下的第三凹槽5b。
[0014]图4为实施例格子I最小时分隔板6的放置方式。
[0015]图5为实施例存放最多分隔板6的不意图。
【具体实施方式】
[0016]以下结合附图和实施例对本实用新型进行详细说明。
[0017]如图1所示，一种用于太阳能电池电极真空蒸镀的掩膜板，包括底座2，底座2和分隔板6是可分离可拆卸的，底座2和分隔板6连接组合后形成横向和纵向各有三排格子1，每个格子I内除蒸镀长条4外都被底座2遮挡，因此格子I之间的分隔板6的位置和数目并不会影响到电极的形状，格子I的大小通过控制分隔板6的位置和数目来调控，既有效地容纳尺寸偏大或者存在凸出尖角的玻璃基片，也合理地固定尺寸偏小的基片。
[0018]所述的底座2外栏上每两个格子I之间设计六个放置分隔板6的第一凹槽3，如图2所示，其中三个位于1/3边长处，另外三个位于2/3边长处。这些第一凹槽3作为固定横向分隔板6a和纵向分隔板6b的卡槽。
[0019]如图3所不，每个横向分隔板6a、纵向分隔板6b上有六个第二凹槽5a、第三凹槽5b，其中三个位于1/3边长处，另外三个位于2/3边长处，第二凹槽5a、第三凹槽5b的深度等于分隔板6深度的一半。横向分隔板6a具有朝上的第二凹槽5a，纵向分隔板6b具有朝下的第三凹槽5b。
[0020]本实用新型的工作原理为:
[0021]在掩膜板底座2上组装分隔板6时，应先放置具有朝上第二凹槽5a的横向分隔板6a，然后将具有朝下第三凹槽5b的纵向分隔板6b卡在先前放置的横向分隔板6a的第二凹槽5a内。
[0022]如图4所示，组装底座2和分隔板6，形成的正方形格子是尺寸最小的格子I。每两个格子I之间隔着两道横向分隔板6a或纵向分隔板6b。底座2外栏上每三个相邻的第一凹槽3当中，两边两个用于固定分隔板6，而中间一个则闲置，当需要增大格子I的尺寸时，既可以将某个分隔板6移至原本闲置的第一凹槽3中，也可以直接移除某个分隔板6。
[0023]如图5所不，该掩膜板最多可以存放十二条横向分隔板6a和纵向分隔板6b。但是在实际使用过程中，需要的分隔板6数量最多为八条，最少仅为四条。因此该掩膜板可以附加备用的分隔板6，既不占用空间，又可以替换将来使用过程中损坏的分隔板6。
[0024]以上所述仅为本实用新型的一个实施范例而已，并不用于限制本实用新型。对于本领域的专业技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种用于太阳能电池电极真空蒸镀的掩膜板，包括底座(2)，其特征在于:底座(2)和分隔板(6)是分离的，底座(2)和分隔板(6)连接组合后形成两个以上的正方形或者长方形的格子(I)，每个格子⑴内除蒸镀长条⑷外都被底座⑵遮挡，格子⑴的大小通过控制分隔板出)的位置和数目来调控。2.根据权利要去I所述的一种用于太阳能电池电极真空蒸镀的掩膜板，其特征在于:所述的格子(I)之间留有两个以上的组装分隔板￠)的安装位置。3.根据权利要去I所述的一种用于太阳能电池电极真空蒸镀的掩膜板，其特征在于:所述的底座(2)外栏上每两个格子(I)之间设计两个以上的放置分隔板￠)的第一凹槽4.根据权利要去I所述的一种用于太阳能电池电极真空蒸镀的掩膜板，其特征在于:所述的分隔板(6)分为横向分隔板(6a)和纵向分隔板(6b)，其中横向分隔板(6a)具有朝上的第二凹槽(5a)，纵向分隔板(6b)具有朝下的第三凹槽(5b)，第二凹槽(5a)、第三凹槽(5b)的深度等于分隔板(6)深度的一半，两类分隔板(6)都被安放到底座(2)上，并且通过第一凹槽(3)固定。
【专利摘要】一种用于太阳能电池电极真空蒸镀的掩膜板，包括底座，底座和分隔板是分离的，底座和分隔板连接组合后形成两个以上的正方形或者长方形的格子，每个格子内除蒸镀长条外都被底座遮挡，格子的大小通过控制分隔板的位置和数目来调控，由于格子大小可以调控，所以既可以容纳稍微偏大的玻璃基片，也不会导致偏小的基片在掩膜板旋转时滑动。
【IPC分类】C23C14/04
【公开号】CN204714880
【申请号】CN201520320371
【发明人】杨洋, 秦校军, 赵志国, 王一丹, 邬俊波
【申请人】中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司, 中国华能集团公司
【公开日】2015年10月21日
【申请日】2015年5月18日