三点支撑三点换位工件架的制作方法

文档序号:9114592阅读:1818来源:国知局
三点支撑三点换位工件架的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种工件架,具体的说是一种三点支撑三点换位工件架。
【背景技术】
[0002]应用于磁控溅射镀膜机上的工件架,主要是支撑、固定被镀膜样品,使磁控靶对其外表面进行镀膜;依据被镀样品形状、尺寸、工位要求及镀膜要求,工件架结构有很大区别;依据样品形状及大小确定工件架支撑、固定结构及尺寸,依据工位要求(一次安装几只样品)及镀膜要求(全表面镀膜或指定表面镀膜)确定工件架的结构;为保证样品膜的均匀性,工件架除支撑、固定样品功能外,需要带有自转功能,磁控靶固定不动正对样品表面,工件架自转,实现样品表面均匀镀膜。
[0003]现有针对球形样品及半球形样品全表面镀膜,由于工件架需支撑固定样品,样品被支撑、固定面镀膜时不能镀到,需要分多次(两次以上)镀膜来实现全表面镀膜,多次镀膜会对膜的均匀性造成影响,支撑、固定面比其余位置膜层单薄,同时多次装卡易对样品外表面膜层造成伤害,被镀样品的合格率较低。
[0004]单个样品多次镀膜,使镀膜时间加长,工作效率低。如膜层为对人体有害膜层,多次镀膜会致使操作人员频繁接触被镀样品,即使操作人员已做好防护措施,多次镀膜也增大了操作人员被伤害的危险性。
【实用新型内容】
[0005]针对现有技术中磁控溅射镀膜机被镀样品的合格率较低、工作效率低等不足,本实用新型要解决的技术问题是提供一种可提高工作效率、增大样品镀膜的成功率的三点支撑三点换位工件架。
[0006]为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:
[0007]本实用新型三点支撑三点换位工件架,包括自转电机、自转传动机构、三点换位电机以及换位机构,其中自转电机的输出端经自转传动机构与工件架传动连接,三点换位电机驱动换位机构转动换位。
[0008]换位机构包括三点换位升降滚珠丝杆、升降盘、导向机构、支撑柱、固定盘以及换位支杆,其中换位升降滚珠丝杆的底端通过底脚固定于安装底盘上,顶端与升降盘抵接,导向机构竖直设置,穿置于升降盘中,升降盘上布置多个用于安装支撑点固定盘的支撑柱,安装支撑点固定盘上设置三个换位支杆。
[0009]本实用新型还设有升降换位导轴,其穿置于升降盘的边部。
[0010]升降换位导轴上端设有一支撑轮,与一自转从动齿轮机构外缘转动接触。
[0011]本实用新型还设有负偏压机构,其为一环形,安装于自转从动齿轮机构上,与三个固定支撑点和三个换位支撑点电连接。
[0012]本实用新型还具有挡板,其设于自转从动齿轮机构的上方。
[0013]自转传动机构包括自转电机、自转主动齿轮机构以及自转从动齿轮机构,其中自转电机的输出端与自转主动齿轮机构传动连接,自转主动齿轮机构与自转从动齿轮机构啮合。本实用新型具有以下有益效果及优点:
[0014]1.本实用新型针对半球形或球形样品单工位、全表面镀膜,三点支撑三点换位工件架可实现一次成膜,不需要多次镀膜。
[0015]2.应用本实用新型可一次成膜,不仅提高了工作效率,同时避免了多次镀膜对膜表面的损伤,提高了样品镀膜合格率。
[0016]3.本实用新型采用三点支撑三点换位工件架镀膜,减少了操作人员与被镀样品直接接触次数,间接保护了操作人员,避免造成人身损害。
【附图说明】
[0017]图1为本实用新型三点固定支撑状态示意图;
[0018]图2为本实用新型三点换位支撑状态示意图。
[0019]其中,I为自转电机,2为自转主动齿轮机构,3为三点换位支撑点导向机构,4为三个固定支撑点,5为半球样品,6为三个换位支撑点,7为自转从动齿轮机构,8为负偏压机构,9为三点换位升降滚珠丝杆,10为三点换位电机,11为安装底盘,12为升降盘,13为升降换位导轴,14为换位支杆,15为固定支杆,16为支撑柱,17为支撑点固定盘,18为挡板,
【具体实施方式】
[0020]下面结合说明书附图对本发明作进一步阐述。
[0021]如图1所示,本实用新型三点支撑三点换位工件架包括自转电机1、自转传动机构、三点换位电机10以及换位机构,其中自转电机I的输出端经自转传动机构与工件架传动连接,三点换位电机10驱动换位机构转动换位。
[0022]换位机构包括三点换位升降滚珠丝杆9、升降盘12、导向机构3、支撑柱16、固定盘17以及换位支杆14,其中换位升降滚珠丝杆9的底端通过底脚固定于安装底盘11上,顶端支撑升降盘12,导向机构3竖直设置,穿置于升降盘12中,升降盘12上布置多个用于安装支撑点固定盘17的支撑柱16,安装支撑点固定盘17上设置三个换位支杆14。
[0023]自转传动机构包括自转电机1、自转主动齿轮机构2以及自转从动齿轮机构7,其中自转电机I的输出端与自转主动齿轮机构2传动连接,自转主动齿轮机构2与自转从动齿轮机构7啮合。
[0024]为了使升降动作稳定,本实用新型还设有升降换位导轴13,其穿置于升降盘12的边部。升降换位导轴13上端设有一支撑轮,与一自转从动齿轮机构7外缘转动接触。
[0025]还设有负偏压机构8,其为一环形,安装于自转从动齿轮机构7上,与三个固定支撑点和三个换位支撑点电连接。
[0026]为了防止齿轮机构被镀膜,本实用新型还设置了挡板18,其设于自转从动齿轮机构7的上方。
[0027]所有部件安装于11安装底盘上;样品自转依靠I自转电机驱动2自转主动齿轮机构转动带动7自转从动齿轮机构转动实现5样品自转;支点换位依靠10三点换位电机驱动9为三点换位升降滚珠丝杆通过13升降换位导轴带动12升降盘上下运动,实现三个固定支撑点与三个换位支撑点切换。
[0028]负片压机构为样品镀膜时给样品加一定负电压,目的增加镀膜牢固度,其与六个支点连接。
[0029]以直径Φ70πιπι半球形样品(球面向上),单工位、全表面镀膜为例,需要三只磁控靶分别排布于样品正下方、正上方及侧方,同时样品于工件架上自转,三点支撑三点换位形式实现样品外表面一次镀膜成型。
[0030]三点支撑三点换位工件架样品自转由一个电机驱动,齿轮传动,实现样品自转。
[0031]三点支撑三点换位工件架为保证一次全表面镀膜,采用均布六个支撑点,其中三个支撑点不动,支撑、固定半球形样品,依靠两只电机驱动,两套滚珠丝杠传动,实现另外三个支撑点上下升降,实现与不动的三个支撑点,换位支撑。
[0032]采用三个支撑点支撑、固定样品,可减少样品被遮挡面积,同时保证样品稳定性;样品先装卡于三个不动的支撑点上,进行镀膜,只有三个支撑点未被镀膜,依据镀膜工艺要求镀膜一定时间后,在不停止镀膜的情况下,启动另外三个换位支撑点,与三个不动支撑点换位支撑,依据镀膜工艺要求镀膜一定时间,此时样品外表面全部被镀膜。
【主权项】
1.一种三点支撑三点换位工件架,其特征在于:包括自转电机、自转传动机构、三点换位电机以及换位机构,其中自转电机的输出端经自转传动机构与工件架传动连接,三点换位电机驱动换位机构转动换位。2.按权利要求1所述的三点支撑三点换位工件架,其特征在于:换位机构包括三点换位升降滚珠丝杆、升降盘、导向机构、支撑柱、固定盘以及换位支杆,其中换位升降滚珠丝杆的底端通过底脚固定于安装底盘上,顶端与升降盘抵接,导向机构竖直设置,穿置于升降盘中,升降盘上布置多个用于安装支撑点固定盘的支撑柱,安装支撑点固定盘上设置三个换位支杆。3.按权利要求1所述的三点支撑三点换位工件架,其特征在于:还设有升降换位导轴,其穿置于升降盘的边部。4.按权利要求3所述的三点支撑三点换位工件架,其特征在于:升降换位导轴上端设有一支撑轮,与一自转从动齿轮机构外缘转动接触。5.按权利要求1所述的三点支撑三点换位工件架,其特征在于:还设有负偏压机构,其为一环形,安装于自转从动齿轮机构上,与三个固定支撑点和三个换位支撑点电连接。6.按权利要求1所述的三点支撑三点换位工件架,其特征在于:还具有挡板,其设于自转从动齿轮机构的上方。7.按权利要求1所述的三点支撑三点换位工件架,其特征在于:自转传动机构包括自转电机、自转主动齿轮机构以及自转从动齿轮机构,其中自转电机的输出端与自转主动齿轮机构传动连接,自转主动齿轮机构与自转从动齿轮机构啮合。
【专利摘要】本实用新型涉及一种三点支撑三点换位工件架,包括自转电机、自转传动机构、三点换位电机以及换位机构,其中自转电机的输出端经自转传动机构与工件架传动连接,三点换位电机驱动换位机构转动换位;换位机构包括三点换位升降滚珠丝杆、升降盘、导向机构、支撑柱、固定盘以及换位支杆,其中换位升降滚珠丝杆的底端通过底脚固定于安装底盘上,顶端与升降盘抵接,导向机构竖直设置,穿置于升降盘中,升降盘上布置多个用于安装支撑点固定盘的支撑柱,安装支撑点固定盘上设置三个换位支杆。本实用新型针可实现一次成膜,不需要多次镀膜,提高工作效率的同时避免了多次镀膜对膜表面的损伤,提高了样品镀膜合格率,间接保护了操作人员,避免造成人身损害。
【IPC分类】C23C14/50, C23C14/35
【公开号】CN204779793
【申请号】CN201520493199
【发明人】慈连鳌
【申请人】沈阳腾鳌真空技术有限公司
【公开日】2015年11月18日
【申请日】2015年7月9日
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