金属掩模连接结构的制作方法

文档序号:9155959阅读:292来源:国知局
金属掩模连接结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种金属掩模连接结构,更具体地,涉及一种用于制造OLED的蒸镀过程的金属掩模连接结构。
【背景技术】
[0002]透过金属掩模(FMM Mask)是在制备OLED过程中专用蒸镀有机发光材料的掩模。这种掩模使用低膨胀材料形成,比常规的掩模更薄,例如厚度为0.03mmt至0.05mmt。目前的FMM掩模可以通过焊接方式将多个层组合一起形成,例如将掩模两端或外周通过激光焊接点与框架焊在一起,但是焊点高低不易保证。掩模表面不平整或突起将会导致接触面不平,带来蒸镀的不均匀。

【发明内容】

[0003]鉴于此,本发明的目的在于解决现有技术中的问题的至少部分,提供一种金属掩模连接结构。
[0004]本发明的第一方面,提供一种金属掩模连接结构,包括多个连接点,所述多个连接点在平面内分布在多个虚拟三角形区域内。
[0005]本发明的第一方面,提供一种金属掩模,包括前述的金属掩模连接结构。
【附图说明】
[0006]图1示出金属掩模的一层的平面图;
[0007]图2示出现有的金属掩模的一层的焊接点的分布;
[0008]图3示出本发明的一个实施例的金属掩模的一层的连接点的分布。
【具体实施方式】
[0009]现在对本发明的实施例提供详细参考,其范例在附图中说明,图中相同的数字全部代表相同的元件。为解释本发明下述实施例将参考附图被描述。
[0010]根据本发明的一个实施例,一种金属掩模,用于制造OLED过程的蒸镀过程。金属掩模可以包括多层,例如包括金属框架以及例如盖片、固定片、分区片以及对准片等多个功能层或片材。盖片、固定片、分区片以及对准片这些片材可以依次叠层并通过连接结构连接至金属框架,从而形成一个金属掩模。
[0011]盖片和固定片可以焊接在金属框架的预先的凹槽内。分区片以及对准片在定位之后,它们的边缘部分分别被焊接在金属框架上。
[0012]为了保证金属掩模的各个层对准和固定,金属掩模还包括金属掩模连接结构,所述连接结构用于将多个层连接至金属掩模的框架。
[0013]根据本发明的一个实施例,一种金属掩模连接结构,用于将金属掩模连接至金属框架。此处,应当注意的是,金属掩模可以指的是金属掩模的一个单独的层或多个单独的层,或多个层形成的整体;金属掩模连接结构用于将金属掩模的一个单独的层或多个单独的层连接至金属框架,或将多个层形成的整体连接至金属框架。
[0014]图1不出金属掩模的一层,例如分区片,在掩模的工作区域内包括多个小区域,这些小区域可以每一个对应一个胞元或管芯。图1中用字母A-K标识了方位,例如A-D行,B-K列。为了固定金属掩模的多个层以保证对准,在这些小区域之间设置连接点。图1中的连接点在相邻的四个小区域中间。本公开的附图中小区域用颜色较深的区域表示,这些小区域之间存在如图所示的空白区。连接点设置小区域之间的线状空白区。
[0015]图2是多个连接点,这些连接点基本上覆盖了整个金属掩模,一种焊接方法是在如图2所示的所有焊接点处焊接金属掩模的多个层。这样焊接可以将掩模的多个层固定在框架上,但是在实际生产中将导致成本高,并且当一层损坏或不对准时不易更换。
[0016]根据本发明的一个实施例,金属掩模连接结构包括多个连接点,所述多个连接点在平面内分布在多个虚拟三角形区域内。例如,如图3所示,连接点在平面内分布成在至少两个三角形区域内(位于D、C、B行内及边缘的线状空白区域内),这些连接点分布的区域将界定出至少两个三角形区域,图3的左边区域(例如K、J、H、G、F列之间的线状空白区域)内由连接点覆盖的区域是一个直角三角形,右边区域(A/E、B、C、D、E列列之间的线状空白区域)内由连接点覆盖的区域是一个直角三角形,这两个直角三角形顶点邻近,两个直角三角形的一条长直角边在一条直线上,两个直角三角形的一条短直角边,即K列和J列之间的线状空白区域的连接点和B列右侧的线状空白区域的连接点相互远离。在两个直角三角形的斜边之间没有连接点。这样的布置是有利的,两个直角三角形的布置形式可以带来连接的稳定性,并且在保持稳定性的同时减少了连接点,有利更换不想要的掩模的层;并且,实际测量表面这样的布置形式有利于掩模的流动性,消除混色。
[0017]在本发明的实施例中,连接点可以是焊接点。在其他实施例中,连接点可以是粘结点。
[0018]根据本发明的一个实施例,多个连接点在平面内至少构成三个不同的虚拟三角形区域。例如,如图3所示,连接点分布成至少三个三角形,图3的左边区域(K、J、H、G、F列之间的线状空白区域)内由连接点覆盖的区域是一个直角三角形,右边区域(A/E、B、C、D、E列之间的线状空白区域)内由连接点覆盖的区域是一个直角三角形,这两个直角三角形顶点邻近,两个直角三角形的一条长直角边在一条直线上,两个直角三角形的一条短直角边相互远离。在两个直角三角形的斜边之间没有连接点。图3的底部(A行下边缘)还有一个连接点,该连接点位于底部中间(E列和F列之间的线状空白区域),这个连接点与相邻的两个连接点以确定一个等腰三角形顶点的形式分布。这样,在图3的连接点分布图中,连接点分布在三个三角形区域内。应该知道,图3仅给出一种连接点的布置形式,连接点可以以其他形式布置,这些布置形式可以包括其他形式的三角形区域。图3中的连接点的布置形式相对于中间的连接点是对称的。在保证固定的情况下,连接点的布置形式也可以是不对称的多个三角形的形式。
[0019]在例如图3中的实施例中,至少三个虚拟三角形区域中的一个虚拟三角形区域的顶点与其他两个虚拟三角形区域的顶点在虚拟三角形区域的底边的不同侧。这样的布置是有利的,三个直角三角形的布置形式可以带来更好的连接的稳定性,并且在保持稳定性的同时减少了连接点,有利更换不想要的掩模的层;并且,实际测量表面这样的布置形式进一步地改善掩模的流动性,消除混色。根据本发明的实施例,连接点可以是焊接点,也可以是粘结点。
[0020]在例如图3中的实施例中,至少三个虚拟三角形区域中的所述其他两个虚拟三角形区域中的连接点在掩模的靠近边缘的部分的分布密度大于在掩模中间部分的分布密度。SP,在图3中,在K列和J列之间的连接点(四个)比G列和F列之间的连接点(一个)多,在B列和A/E列之间的连接点(四个)比E列和D列之间的连接点(一个)多。
[0021]在本发明的另一实施例中,连接点可以构成多个三角形。例如,图3中的J列和H列之间的三个连接点中的中间的连接点可以不存在,对应右边区域,即C列和B列之间的中间连接点可以不存在。本说明书没有给出所有可能的形式,然而,本领域技术人员基于本公开可以想到其他修改的形式。
[0022]尽管已经参考本发明的典型实施例,具体示出和描述了本发明,但本领域普通技术人员应当理解,在不脱离所附权利要求所限定的本发明的精神和范围的情况下,可以对这些实施例进行形式和细节上的多种改变。
【主权项】
1.一种金属掩模连接结构,用于将金属掩模连接至物体,其特征在于, 所述金属掩模连接结构包括多个连接点,所述多个连接点在平面内分布在多个虚拟三角形区域内。2.如权利要求1所述的金属掩模连接结构,其特征在于, 多个连接点是焊接点。3.如权利要求1或2所述的金属掩模连接结构,其特征在于, 所述多个连接点在平面内至少构成三个不同的虚拟三角形区域。4.如权利要求3所述的金属掩模连接结构,其特征在于, 至少三个虚拟三角形区域中的一个虚拟三角形区域的顶点与其他两个虚拟三角形区域的顶点在虚拟三角形区域的底边的不同侧。5.如权利要求4所述的金属掩模连接结构,其特征在于, 至少三个虚拟三角形区域中的所述其他两个虚拟三角形区域中的连接点在物体边缘部分的分布密度大于在物体中间部分的分布密度。6.—种金属掩模,包括如前述权利要求中任一项所述的金属掩模连接结构。
【专利摘要】本实用新型提供一种金属掩模连接结构和金属掩模。金属掩模连接结构包括多个连接点,所述多个连接点在平面内分布在多个虚拟三角形区域内。本实用新型的金属掩模连接结构可以实现金属掩模的连接稳定性,同时减少焊接点,改善流动性,消除混色。
【IPC分类】C23C14/04, H01L51/56
【公开号】CN204825027
【申请号】CN201520452546
【发明人】杨凡, 申章焕, 郭坤
【申请人】鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司, 京东方科技集团股份有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年6月29日
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