一种真空镀膜机的蒸发炉的制作方法

文档序号:9176836阅读:333来源:国知局
一种真空镀膜机的蒸发炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及纳米镀膜设备技术领域,尤其涉及一种真空镀膜机的蒸发炉。
【背景技术】
[0002]纳米镀膜能在金、银、妈、钴、钯等不同金属表面形成2-10nm厚度左右的镀层,从而使金属表面具有良好的耐磨性、防水、导电性能、耐腐蚀、耐高温、防氧化及改变表面张力等特性,从而提升材料性能,可以全面的改善产品品质。
[0003]在镀膜工艺中,需要将镀膜材料放入蒸发炉里面蒸发变成气体,然后再进入裂解炉内反应,工作时,蒸发炉内的加热板一直保持在高温状态,时间长的话,加热板会因承受不了长时间的高温而出现损坏、使用寿命降低,导致蒸发炉不能正常工作,降低效率,加热板频繁的更换也增加了生产成本。

【发明内容】

[0004]本实用新型的目的在于针对现有技术的不足提供一种真空镀膜机的蒸发炉,本实用新型在内加热板增设用于降温的冷凝管,当内加热板完成一次加热后,冷凝管能够将内加热板的温度迅速降至常温,延长使用内加热板的使用寿命,防止内加热板长时间承受高温而损坏。
[0005]本实用新型是通过以下技术方案来实现的,一种真空镀膜机的蒸发炉,包括炉体和密封门,所述炉体内设置有蒸发室,所述蒸发室内设置有内加热板,所述内加热板包括板体,所述板体内设置有加热丝和冷凝管。
[0006]作为优选,所述炉体的外表面设置有外层加热板。
[0007]作为优选,加热丝包括由内到外依次设置的金属加热层、耐热绝缘层和导热绝缘层。
[0008]作为优选,所述加热丝的直径为5mm~8mm。
[0009]作为优选,所述冷凝管的管体环绕设置于内加热板的板体内。
[0010]作为优选,所述密封门的一端与炉体的一端铰接,所述密封门的另一端与炉体的另一端之间通过锁扣连接。
[0011]本实用新型有益效果:一种真空镀膜机的蒸发炉,包括炉体和密封门,所述炉体内设置有蒸发室,所述蒸发室内设置有内加热板,所述内加热板包括板体,所述板体内设置有加热丝和冷凝管,当内加热板完成一次加热后,冷凝管能够将内加热板的温度迅速降至常温,延长使用内加热板的使用寿命,防止内加热板长时间承受高温而损坏。
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型的剖面结构示意图。
[0013]图2为本实用新型内加热板的剖面结构示意图。
[0014]图3为本实用新型加热丝的截面结构示意图。
[0015]附图标记为:
[0016]I 一炉体2—密封门
[0017]3—蒸发室4一内加热板
[0018]41 一板体42—加热丝
[0019]421—金属加热层422—耐热绝缘层
[0020]423—导热绝缘层43—冷凝管
[0021]5—外层加热板。
【具体实施方式】
[0022]下面结合附图1至图3,以及【具体实施方式】对本实用新型做进一步地说明。
[0023]如图1至图3所示,一种真空镀膜机的蒸发炉,包括炉体I和密封门2,所述炉体I内设置有蒸发室3,所述蒸发室内设置有内加热板4,所述内加热板4包括板体41,所述板体41内设置有加热丝42和冷凝管43。
[0024]本实施例当内加热板4完成一次加热后,冷凝管43能够将内加热板4的温度迅速降至常温,延长使用内加热板4的使用寿命,防止内加热板4长时间承受高温而损坏。
[0025]本实施例中,所述炉体I的外表面设置有外层加热板5,使蒸发炉内的温度迅速达到镀膜材料的熔点温度。
[0026]本实施例中,加热丝42包括由内到外依次设置的金属加热层421、耐热绝缘层422和导热绝缘层423,耐热绝缘层422由数条石英丝缠绕形成螺旋结构;导热绝缘层423由数条条形状的聚酰亚胺薄膜缠绕形成螺旋结构,加热丝42的直径为6mm,在常温下,加热丝42的绝缘性能可承受6000V、50Hz交流电压的情况下,5分钟不会损坏;也可在300°C加热状态下,承受4000V、50Hz交流电压,5分钟不会损坏;保证了加热丝42的安全性和可靠性。
[0027]本实施例中,所述冷凝管43的管体环绕设置于内加热板4的板体41内,增加了热交换的流程,有效的保证了冷媒介质和冷凝水能充分的换热,使冷凝管43能达到更好的换热效果。
[0028]本实施例中,所述密封门2的一端与炉体I的一端铰接,所述密封门2的另一端与炉体I的另一端之间通过锁扣连接,保证密封门2的密封性。
[0029]以上内容仅为本实用新型的较佳实施例,对于本领域的普通技术人员,依据本实用新型的思想,在【具体实施方式】及应用范围上均会有改变之处,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
【主权项】
1.一种真空镀膜机的蒸发炉,包括炉体(I)和密封门(2),所述炉体(I)内设置有蒸发室(3),所述蒸发室内设置有内加热板(4),其特征在于:所述内加热板(4)包括板体(41),所述板体(41)内设置有加热丝(42 )和冷凝管(43 )。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的蒸发炉,其特征在于:所述炉体(I)的外表面设置有外层加热板(5)。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的蒸发炉,其特征在于:加热丝(42)包括由内到外依次设置的金属加热层(421)、耐热绝缘层(422)和导热绝缘层(423)。4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的蒸发炉,其特征在于:所述加热丝(42)的直径为5_~8_。5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的蒸发炉,其特征在于:所述冷凝管(43)的管体环绕设置于内加热板(4)的板体(41)内。6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的蒸发炉,其特征在于:所述密封门(2)的一端与炉体(I)的一端铰接,所述密封门(2)的另一端与炉体(I)的另一端之间通过锁扣连接。
【专利摘要】本实用新型涉及纳米镀膜设备技术领域,尤其涉及一种真空镀膜机的蒸发炉,包括炉体和密封门,所述炉体内设置有蒸发室,所述蒸发室内设置有内加热板,所述内加热板包括板体,所述板体内设置有加热丝和冷凝管,本实用新型在内加热板增设用于降温的冷凝管,当内加热板完成一次加热后,冷凝管能够将内加热板的温度迅速降至常温,延长使用内加热板的使用寿命,防止内加热板长时间承受高温而损坏。
【IPC分类】C23C14/24
【公开号】CN204849003
【申请号】CN201520413620
【发明人】肖桥兵
【申请人】广东易能纳米科技有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年6月16日
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