一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线，具体涉及一种连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线的真空腔室内底壁上安装的冷却装置。
【背景技术】
[0002]连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线，工作时真空腔室内阴极等离子放电会产生大量的热幅射，为了保证温度不过高，真空腔室内都要安装冷却装置。
[0003]现有技术中，真空腔室的内底壁上安装的冷却装置是一种由铜管连接构成冷却装置。该现有冷却装置存在以下不足:
[0004]1、铜管冷却装置加工成本高；
[0005]2、铜管冷却装置质量较大；
[0006]3、铜管冷却装置的表面平整度不易保证。
【发明内容】
[0007]本实用新型目的是提供一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置，以解决现有技术存在的加工成本、质量以及表面平整度的问题。
[0008]为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置，包括两根平行布置的冷却单元，每个冷却单元包括一拉制工艺制作的铝型材主体，该铝型材主体内设有相互平行的沿铝型材主体的长度方向的第一冷却水通道和第二冷却水通道，铝型材主体的上表面作为受热面；在所述铝型材主体的一端封设有一第一端板，该第一端板内设通道将所述第一冷却水通道和第二冷却水通道连通。
[0009]上述方案中，所述铝型材主体的受热面向宽度方向的两侧延伸，使铝型材主体的截面为上大下小，且所述第一冷却水通道和第二冷却水通道靠受热面设置。
[0010]上述方案中，所述底部冷却装置还包括若干底板，该底板连接在两根冷却单元的底部间。
[0011]上述方案中，所述冷却单元还包括一第二端板，该第二端板相对于第一端板设于所述铝型材主体的另一端，所述第二端板上各对应第一冷却水通道和第二冷却水通道设有与之相通的管接头。
[0012]上述方案中，所述铝型材主体的受热面上均匀开设有若干个腰型孔，且腰型孔位于所述第一冷却水通道和第二冷却水通道之间的位置。
[0013]由于上述技术方案运用，本实用新型的设计原理以及效果:
[0014]1、由于本实用新型主要由两铝型材冷却单元组成，质轻，为检修、安装、搬运等提供了方便，进而提高了生产效率；
[0015]2、由于本实用新型主要由两铝型材冷却单元组成，铝型材主体是一次成型，可以有效保证表面的平整性，从而保证该装置与其他零部件的贴合安装，起到最大程度的冷却效果；
[0016]3、由于本实用新型主要由两铝型材冷却单元组成，铝型材较现有铜管冷却装置，更利于成本的降低。
【附图说明】
[0017]图1为本实用新型实施例结构主视示意图；
[0018]图2为图1的俯视不意图；
[0019]图3为本实用新型实施例铝型材主体的断面示意图。
[0020]以上附图中:1、冷却单元；11、铝型材主体；111、第一冷却水通道；112、第二冷却水通道；113、腰型孔；12、第一端板；13、第二端板；131、管接头；2、底板；3、受热面；4、空腔。
【具体实施方式】
[0021]下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:
[0022]实施例:参见图1-3所示:
[0023]—种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置，参见图1-3所示，包括两根冷却单元I以及若干个底板2，两根冷却单元I在水平面上平行布置，底板2连接在两根冷却单元I的底部间，具体底板2是通过螺钉与冷却单元I底面连接的。底板2的数量依冷却单元I的长度而定，底板2在冷却单元I的长度方向上均匀设置。底板2起到连接两根冷却单元I以及支撑的作用。
[0024]参见图1-3所示，每个冷却单元I包括一拉制工艺制作的铝型材主体11、第一端板12以及第二端板13。
[0025]铝型材主体11的截面如图3所示，铝型材主体11内设有相互平行的沿铝型材主体11的长度方向的第一冷却水通道111和第二冷却水通道112，铝型材主体11的上表面作为受热面3，且该受热面3向宽度方向的两侧延伸，使铝型材主体11的截面为上大下小，且所述第一冷却水通道111和第二冷却水通道112靠受热面3设置。为减轻重量，铝型材主体11的内部还设有多处空腔4。
[0026]参见图1-3所示，第一端板12封设在铝型材主体11的一端，该第一端板12内设通道将所述第一冷却水通道111和第二冷却水通道112连通；第二端板13相对第一端板12设于所述铝型材主体11的另一端，所述第二端板13上各对应第一冷却水通道111和第二冷却水通道112设有与之相通的管接头131。
[0027]参见图2示，所述铝型材主体11的受热面3上均匀开设有若干个腰型孔113，该腰型孔113位于所述第一冷却水通道111和第二冷却水通道112之间的位置。
[0028]使用时，本实施例安装于连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线的真空腔室的内底面上，其铝型材主体11的受热面3 (即上表面)上可再紧贴覆盖安装盖板，该盖板以紧固件通过腰型孔113与铝型材主体11连接。腰型孔113内可设置内螺纹，更便于连接。
[0029]本实施例制作成本低、质轻，为检修、安装、搬运等提供了方便，进而提高了生产效率；并且，因铝型材主体11是一次成型，可以有效保证表面的平整性，从而保证该装置受热面3与其他零部件(如盖板)完全贴合，最大程度地起到冷却效果。
[0030]上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置，其特征在于:包括两根平行布置的冷却单元(I )，每个冷却单元(I)包括一拉制工艺制作的铝型材主体(11)，该铝型材主体(11)内设有相互平行的沿铝型材主体(11)的长度方向的第一冷却水通道(111)和第二冷却水通道(112)，铝型材主体(11)的上表面作为受热面(3);在所述铝型材主体(11)的一端封设有一第一端板(12)，该第一端板(12)内设通道将所述第一冷却水通道(111)和第二冷却水通道(112)连通。2.根据权利要求1所述一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置，其特征在于:所述铝型材主体(11)的受热面(3)向宽度方向的两侧延伸，使铝型材主体(11)的截面为上大下小，且所述第一冷却水通道(111)和第二冷却水通道(112)靠受热面(3 )设置。3.根据权利要求1所述一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置，其特征在于:所述底部冷却装置还包括若干底板(2)，该底板(2)连接在两根冷却单元(I)的底部间。4.根据权利要求1所述一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置，其特征在于:所述冷却单元(I)还包括一第二端板(13)，该第二端板(13)相对于第一端板(12)设于所述铝型材主体(11)的另一端，所述第二端板(13)上各对应第一冷却水通道(111)和第二冷却水通道(112)设有与之相通的管接头(131)。5.根据权利要求1所述一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置，其特征在于:所述铝型材主体(11)的受热面(3)上均匀开设有若干个腰型孔(113)，该腰型孔(113)位于所述第一冷却水通道(111)和第二冷却水通道(112)之间的位置。
【专利摘要】一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置，其特征在于：包括两根冷却单元（1），每个冷却单元（1）包括一拉制工艺制作的铝型材主体（11），该铝型材主体（11）内设有第一冷却水通道（111）和第二冷却水通道（112），铝型材主体（11）的上表面作为受热面（3）；在铝型材主体（11）的一端封设有一第一端板（12），该第一端板（12）内设通道将所述第一冷却水通道（111）和第二冷却水通道（112）连通。本实用新型制作成本低、质轻，为检修、安装、搬运等提供了方便，进而提高了生产效率；并且，因铝型材主体是一次成型，可以有效保证表面的平整性，从而保证该装置受热面与其他零部件完全贴合，最大程度地起到冷却效果。
【IPC分类】C23C14/35
【公开号】CN204874723
【申请号】CN201520509069
【发明人】郭庆, 李险峰, 臧晓良, 黄琨, 凌晨
【申请人】中建材光电装备（太仓）有限公司
【公开日】2015年12月16日
【申请日】2015年7月15日