一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板及加热装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制备领域，尤其涉及一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板及加热装置。
【背景技术】
[0002]异质结太阳能电池是一种利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池，相对传统单/多晶硅电池，有更高的发电效率，更好的稳定性和更低的成本。其PN结制备工序是采用板式PECVD制成，在PECVD制程中用到一种工装夹具-载板。如图1A所示，常规载板，是在一整块金属板或非金属板200 (如CFC板)上开槽和或孔201，制成大载板200A，在槽和或孔201中放置硅片。如图1B所示，在PECVD中载板200A放置在加热板300上工作，由于载板200A较大，容易变形，使得载板200A和加热板300之间产生间隙，导致放置载板200A上的硅片温差较大，且使得等离子体变得不均匀，容易产生辉光放电，严重影响PN结的制备质量。因此，设计一种结构稳定的载板，对于提高异质结太阳能电池PN结的制备质量，提高光电转换效率及生产良率，降低生产成本有着重大意义和应用前景。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于克服现有技术中的缺陷，提供一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板及加热装置，其可以有效较少加热时硅片受到载板的变形的影响，提高光电转换效率及生产良率。
[0004]为实现上述目的，本实用新型采用以下设计方案:
[0005]—种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板，其包括框架、底板，所述框架设有至少一个开孔，所述开孔的内边设有台阶形边槽，所述底板设有至少一个开孔，底板上的开孔用于放置硅片，所述底板放置在框架的开孔内，卡设在开孔内边的台阶形边槽上。
[0006]优选的，所述载板可由AXB的多个载板拼接而成，其中A彡1，B彡I。
[0007]—种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的加热装置，其包括载板、加热板，所述载板放置在加热板上，所述载板包括框架、底板，所述框架设有至少一个开孔，所述开孔的内边设有台阶形边槽，所述底板设有至少一个开孔，底板上的开孔用于放置硅片，所述底板放置在框架的开孔内，并卡设在开孔内边的台阶形边槽上。
[0008]优选的，所述载板可由AXB的多个载板拼接而成，其中A彡1，B彡I。
[0009]本实用新型采用以上设计方案，通过框架托起底板，放置到加热板上，当放下框架时底板先被放置到加热板上，经过一定距离后，框架才被放置到加热板上，此时框架和底板之间有一定间隙，由于底板尺寸较小，相对变形也小，框架由于尺寸大，变形也大，但是两者之间有一定间隙，框架的变形不会影响到载板，所以放置到底板上的硅片受到载板的变形的影响减少很多，更好的稳定了等离子体，提高HIT太阳能电池PN结的制备质量，提高光电转换效率及生产良率。
【附图说明】
[0010]图1A为传统载板不意图；
[0011 ]图1B为传统载板放置到PECVD加热板上的示意图；
[0012]图2A为本实用新型载板的框架示意图；
[0013]图2B为本实用新型载板的底板不意图；
[0014]图2C为本实用新型载板的组装平面示意图；
[0015]图2D为本实用新型载板的组装侧面示意图。
[0016]图2E为本实用新型加热装置的剖视图。
【具体实施方式】
[0017]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0018]本实用新型公开了一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板及加热装置，如图2A、2B、2C所示，所述载板700A包括框架500A和底板600A，所述框架500A为在一金属板或非金属板500 (如:CFC板)上开一个或多个内边具有台阶形边槽502的孔501，形成框架500A ;所述底板600A为在一块较小的金属板或非金属版600上开槽和或孔601形成底板600A，所述底板600A用来放置硅片；如图2C所示，所述载板700A为把底板600A放置到框架500A的内边具有台阶形边槽502的孔501内组合形成载板700A ;如图2D所示，由于框架500A上的孔501具有台阶形边槽502，底板600A放到孔501里面时，底板600A会向下凸起；如图2E所示，框架500A托起底板600A，放置到PECVD加热板300上面，当放下框架500A时底板600A先被放置到加热板上，经过一定距离后，框架500A才被放置到加热板300上，此时框架500A和底板600A之间有一定间隙700，由于底板600A尺寸较小，相对变形也小，框架500A由于尺寸大，变形也大，但是两者之间有一定间隙，框架500A的变形不会影响到载板600A，所以放置到载板700A上的硅片受到载板700A的变形的影响减少很多，更好的稳定了等离子体，提高HIT太阳能电池PN结的制备质量，提高光电转换效率及生产良率。
[0019]本实施例只是示意性的表示出了可以放置4X4个底板及6X6片硅片，实际情况根据需要制成可以放置N X N个底板的框架，以及放置及N X N片硅片的底板，也可以制成NXN载板拼接而成。
[0020]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板，其特征在于:包括框架、底板，所述框架设有至少一个开孔，所述开孔的内边设有台阶形边槽，所述底板设有至少一个开孔，底板上的开孔用于放置硅片，所述底板放置在框架的开孔内，并卡设在开孔内边的台阶形边槽上。2.根据权利要求1所述的制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板，其特征在于:所述载板可由AXB的多个载板拼接而成，其中A彡1，B彡I。3.一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的加热装置，其特征在于:包括载板、加热板，所述载板放置在加热板上，所述载板包括框架、底板，所述框架设有至少一个开孔，所述开孔的内边设有台阶形边槽，所述底板设有至少一个开孔，底板上的开孔用于放置硅片，所述底板放置在框架的开孔内，并卡设在开孔内边的台阶形边槽上。4.根据权利要求3所述的制作太阳能电池片时用于硅片沉积的加热装置，其特征在于:所述载板可由AXB的多个载板拼接而成，其中A彡1，B彡10
【专利摘要】本实用新型公开了一种制作太阳能电池片时用于硅片沉积的载板和加热装置，其中所述载板包括框架、底板，所述框架设有至少一个开孔，所述开孔的内边设有台阶形边槽，所述底板设有至少一个开孔，底板上的开孔用于放置硅片，所述底板放置在框架的开孔内，并卡设在开孔内边的台阶形边槽上。所述加热装置包括载板、加热板，所述载板放置在加热板上。本实用新型通过框架托起底板，放置到加热板上，当放下框架时底板先被放置到加热板上，经过一定距离后，框架才被放置到加热板上，两者之间有一定间隙，框架的变形不会影响到底板，硅片受到载板的变形的影响减少很多，更好稳定了等离子体，提高HIT太阳能电池PN结的制备质量，提高光电转换效率及生产良率。
【IPC分类】C23C16/458, C23C16/46
【公开号】CN204874731
【申请号】CN201520490975
【发明人】杨与胜, 王树林, 倪鹏玉, 庄辉虎
【申请人】钧石(中国)能源有限公司
【公开日】2015年12月16日
【申请日】2015年7月9日