一种真空镀膜设备观察窗遮板的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种真空镀膜设备观察窗遮板。
【背景技术】
[0002]真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。其中，在进行真空离子蒸发时，真空镀膜设备的观察窗多会伴随着高温，导致观察窗变模糊，影响外部人员观察，同时由于真空镀膜设备的工作特性，几乎很长时间内，不会停机，观察窗透镜的使用寿命会由于高温影响，急剧缩短，如发生碎裂，会严重影响设备内部的真空度，进而影响镀膜效果，而且通常情况下，会在观察窗外设置遮板，以防止离子外泄，对工作人员健康产生不良影响，然而此种遮板设置位置，会导致观察窗透镜直接面临离子照射，导致透镜老化、模糊，影响观察效果，甚至碎裂。
【实用新型内容】
[0003]针对上述问题，本实用新型提出了一种真空镀膜设备观察窗遮板。
[0004]为解决以上技术问题，本实用新型提供的技术方案是:
[0005]一种真空镀膜设备观察窗遮板，其特征在于，包括连接杆、遮板和把手，所述连接杆呈圆柱形，包括固定部、转动部和阻尼部，所述转动部设有贯穿转动部的插孔，所述插孔直径为R1，所述把手呈圆柱形，直径为R2，把手的一端设有插块，所述插块呈圆柱形，直径为R3，所述R2>R1>R3，插块上沿其所呈的圆柱形的轴向设有第一螺孔，插块与插孔对应配合，插入插孔内，把手通过螺栓和第一螺孔与转动部固接，把手外套合有硅橡胶隔热套管；
[0006]所述固定部上设有固定面，所述固定面上设有贯穿固定部的第二螺孔，所述第二螺孔至少为3个，并等间距设置，所述遮板呈方形，其上端设有固定孔，所述固定孔与第二螺孔对应配合，遮板通过固定孔和第二螺孔用螺栓固定在固定部上；
[0007]所述阻尼部上设有阻尼套，所述阻尼套套合在连接杆上，其内壁与连接杆固接；
[0008]进一步的，所述连接杆的长度为D1，固定部的长度为D2，转动部的长度为D3，阻尼部的长度为 D4，所述 D2+D3+D4=D1，D2:D3:D4=6.2:1.7:1。
[0009]本实用新型的有益效果为:
[0010]本实用新型提出的一种真空镀膜设备观察窗遮板，其结构简单，设计合理，设置于观察窗靠内一侧，有效遮挡观察窗透镜，减少离子对观察窗透镜的直接照射，防止观察窗透镜老化、模糊，保证观察效果，延长观察窗透镜的使用寿命，本实用新型通过阻尼套与观察窗间接连接，减少热源传递，并通过硅橡胶隔热套管阻隔热量，方便工作人员拉动把手进行观察，同时阻尼套使遮板具备了自动回位功能，杜绝了因工作人员误操作，而导致的离子外泄。
[0011]具有耐高温、密封好、使用寿命长的特点，冷水进口和冷水出口通过管接头与冷却水管理连接，对观察窗整体进行不间断的降温，窗框与透镜固定框连接稳固，密封良好，遮板设置于观察窗靠内一侧，可有效阻隔真空镀膜设备内的离子外漏，在需要观察时，拉动把手，即可实现遮板转动，松下把手，遮板在重力作用下，自动归位，把手外套合有隔热胶皮套，可阻隔热量。
【附图说明】
[0012]图1本实用新型示意图。
[0013]图2 A区域剖视图。
[0014]图3固定部剖视图。
[0015]图4把手截面图。
[0016]图5安装示意图。
【具体实施方式】
[0017]如图所示的一种真空镀膜设备观察窗遮板，其特征在于，包括连接杆1、遮板2和把手3，所述连接杆1呈圆柱形，包括固定部4、转动部5和阻尼部6，所述转动部5设有贯穿转动部的插孔7，所述插孔7直径为R1，所述把手3呈圆柱形，直径为R2，把手3的一端设有插块8，所述插块8呈圆柱形，直径为R3，所述R2>R1>R3，插块8上沿其所呈的圆柱形的轴向设有第一螺孔9，插块8与插孔7对应配合，插入插孔7内，把手3通过螺栓和第一螺孔9与转动部5固接，把手3外套合有硅橡胶隔热套管10 ;
[0018]所述固定部4上设有固定面11，所述固定面11上设有贯穿固定部4的第二螺孔12，所述第二螺孔12至少为3个，并等间距设置，所述遮板2呈方形，其上端设有固定孔13，所述固定孔13与第二螺孔12对应配合，遮板2通过固定孔13和第二螺孔12用螺栓固定在固定部4上；
[0019]所述阻尼部6上设有阻尼套14，所述阻尼套14套合在连接杆1上，其内壁与连接杆1固接；
[0020]其中，所述连接杆1的长度为D1，固定部4的长度为D2，转动部5的长度为D3，阻尼部 6 的长度为 D4，所述 D2+D3+D4=D1，D2:D3:D4=6.2:1.7:1。
[0021]如图5所示的安装示意图，遮板2设置于观察窗0靠内一侧，有效遮挡观察窗透镜15，减少离子对观察窗透镜15的直接照射，防止观察窗透镜15老化、模糊，保证观察效果，延长观察窗透镜15的使用寿命，本实用新型通过阻尼套14与观察窗0间接连接，减少热源传递，并通过硅橡胶隔热套管10阻隔热量，方便工作人员拉动把手3进行观察，同时阻尼套14使遮板具备了自动回位功能，杜绝了因工作人员误操作，而导致的离子外泄。
[0022]以上所述，仅为本实用新型较佳的【具体实施方式】，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。
【主权项】
1.一种真空镀膜设备观察窗遮板，其特征在于，包括连接杆、遮板和把手，所述连接杆呈圆柱形，包括固定部、转动部和阻尼部，所述转动部设有贯穿转动部的插孔，所述插孔直径为R1，所述把手呈圆柱形，直径为R2，把手的一端设有插块，所述插块呈圆柱形，直径为R3，所述R2>R1>R3，插块上沿其所呈的圆柱形的轴向设有第一螺孔，插块与插孔对应配合，插入插孔内，把手通过螺栓和第一螺孔与转动部固接，把手外套合有硅橡胶隔热套管。2.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备观察窗遮板，其特征在于，所述固定部上设有固定面，所述固定面上设有贯穿固定部的第二螺孔，所述第二螺孔至少为3个，并等间距设置，所述遮板呈方形，其上端设有固定孔，所述固定孔与第二螺孔对应配合，遮板通过固定孔和第二螺孔用螺栓固定在固定部上。3.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备观察窗遮板，其特征在于，所述阻尼部上设有阻尼套，所述阻尼套套合在连接杆上，其内壁与连接杆固接。4.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备观察窗遮板，其特征在于，所述连接杆的长度为D1，固定部的长度为D2，转动部的长度为D3，阻尼部的长度为D4，所述D2+D3+D4=D1，D2:D3:D4=6.2:1.7:1。
【专利摘要】本实用新型提出的一种真空镀膜设备观察窗遮板，包括连接杆、遮板和把手，连接杆包括固定部、转动部和阻尼部，转动部上设有插孔，把手上设有插块，固定部上设有固定面，固定面上设有第二螺孔，阻尼部上设有阻尼套，把手外套合有硅橡胶隔热套管，其特点在于，本实用新型可有效遮挡观察窗透镜，减少离子对观察窗透镜的直接照射，防止观察窗透镜老化、模糊，保证观察效果，延长观察窗透镜的使用寿命，本实用新型通过阻尼套与观察窗间接连接，减少热源传递，并通过硅橡胶隔热套管阻隔热量，方便工作人员拉动把手进行观察，同时阻尼套使遮板具备了自动回位功能，杜绝了因工作人员误操作，而导致的离子外泄。
【IPC分类】C23C14/52
【公开号】CN204959027
【申请号】CN201520719546
【发明人】李亚军
【申请人】镇江超威纳米科技有限公司
【公开日】2016年1月13日
【申请日】2015年9月17日