纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环的制作方法

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纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及材料表面处理技术领域,具体涉及一种纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环。
【背景技术】
[0002]纯离子镀膜装置广泛应用在零件的外表面镀膜生产中,生产后的待镀膜零件上利用纯离子镀膜装置在零件的表面镀设一层或者数层涂层,以改变被镀零部件的表面性能。纯离子镀膜装置主要由真空抽气系统、阴极靶材、阳极、过滤器、镀膜腔室、基片和一些辅助零部件构成,其中,所述的过滤器整体呈现直角弯管状结构。从阴极靶材表面激发出来的等离子体向过滤器方入口向移动,过滤器的另一端出口与镀膜腔室连通,所述待镀膜的基片设置在镀膜腔室内,过滤后的离子束通过过滤器并沉降在基片上,从而完成镀膜过程,其中,过滤器一方面构成等离子体的通道,另一方面起到吸收或储存杂质颗粒,阻止较大的颗粒穿过过滤器,从而减少颗粒灰尘对镀膜腔室的污染,起到保持镀膜腔室的清洁的作用。
[0003]在阳极与过滤器进料口之间还设置有绝缘板挡环,绝缘板挡环起到增强阳极和过滤器的绝缘性能的作用,然而在镀膜过程中,绝缘板挡环一方面吸收射向表面的颗粒灰尘,另一方面已经被吸附在表面的颗粒灰尘被后来溅射到表面的等离子体轰击而脱离表面,大量溅射的颗粒在垂直轰击表面方向上遵守余弦分布。由于现有技术中的绝缘板挡环为圆柱管结构,表面吸附的灰尘受到等离子体的轰击后,颗粒飞逸出过滤器而污染镀膜腔室的概率比较大。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于:提供一种纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环,在确保等离子体能够通过的同时,能够降低灰尘颗粒由过滤器而进入污染镀膜腔室的概率。
[0005]为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环,包括阴极靶材,所述阴极靶材产生的等离子体向过滤器的入口移动,阴极靶材周围设置有阳极,过滤器的出口与镀膜腔室连通,所述镀膜腔室内放置基片,所述过滤器的入口位置处设置有绝缘板挡环,所述绝缘板挡环呈圆锥管状,绝缘板挡环的一端大管径端与过滤器的入口固定,绝缘板挡环的另一端小管径端指向过滤器内。
[0006]与现有技术相比,本实用新型具备的技术效果为:所述阴极靶材产生的等离子体形成的离子束向过滤器入口方向行进,在过滤器的入口位置处设置的绝缘板挡环,绝缘板挡板设置成圆锥管状结构,其圆锥状管内壁可对大部分灰尘的有效阻挡,既把绝缘板和灰尘隔离开来,提高了绝缘板的维护周期,又减少了灰尘颗粒由过滤器进入镀膜腔室的概率,从而确保镀膜质量。
【附图说明】
[0007]图1是纯离子镀膜装置的结构示意图;
[0008]图2是绝缘板挡环的结构示意图。
【具体实施方式】
[0009]结合图1和图2,对本实用新型作进一步地说明:
[0010]一种纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环,包括阴极靶材10,所述阴极靶材10产生的等离子体向过滤器20的入口移动,阴极靶材10周围设置有阳极30,过滤器20的出口与镀膜腔室40连通,所述镀膜腔室40内放置基片50,所述过滤器20的入口位置处设置有绝缘板挡环60,所述绝缘板挡环60呈圆锥管状,绝缘板挡环60的一端大管径端与过滤器20的进料口固定,绝缘板挡环60的另一端小管径端指向过滤器20内。
[0011]所述阴极靶材10产生的等离子体形成的离子束a向过滤器20入口方向行进,在过滤器20的入口位置处设置的绝缘板挡环60,绝缘板挡环60设置成圆锥管状结构,其圆锥状管内壁可对大多数灰尘的有效阻挡,既把绝缘板和灰尘隔离开来,提高了绝缘板的维护周期,又减少了灰尘颗粒由过滤器20进入镀膜腔室40的概率,从而确保镀膜质量。
[0012]作为本实用新型的优选方案,所述绝缘板挡环60圆锥管状母线与其轴芯线之间的夹角范围为10°?20°,结合图2所示,b的角度即为绝缘板挡环60圆锥管状母线与其轴芯线之间的夹角,上述的角度范围能确保等离子体产生的离子束a顺利的通过绝缘板挡环60。溅射出的大量灰尘颗粒,在垂直于绝缘板的绝缘板挡环60内表面的方向上,也就是绝缘板挡环60的内锥面上,遵守余玄分布,圆锥设计使得颗粒飞逸出过滤器20而污染镀膜腔室40的概率相对小得多,保证了镀膜环境的清洁。
[0013]进一步地,所述绝缘板挡环60的大管径端设置有翻边61,所述翻边61与过滤器20的入口固连,绝缘板挡环60的圆锥管身伸入绝缘板挡环60的入口内部。
[0014]所述过滤器20整体呈直角弯管状结构,过滤器20整体呈现的直角弯管状结构,进入过滤器20内的灰尘绝大多数被阻挡在过滤器的弯管处的管壁上,这样就极大的减少了灰尘颗粒的数量,确保了镀膜的质量,过滤器20的一端管口构成入口,过滤器20的另一端的管口构成出口,过滤器20的出口与镀膜腔室40密封连接。
[0015]所述阳极30呈管状结构,所述阴极靶材10设置在阳极30的管腔内,阳极30的管端与过滤器20的入口构成密封连接。
【主权项】
1.一种纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环,包括阴极靶材(10),所述阴极靶材(10)产生的等离子体向过滤器(20)的入口移动,阴极靶材(10)周围设置有阳极(30),过滤器(20)的出口与镀膜腔室(40)连通,所述镀膜腔室(40)内放置基片(50),其特征在于:所述过滤器(20 )的入口位置处设置有绝缘板挡环(60 ),所述绝缘板挡环(60 )呈圆锥管状,绝缘板挡环(60)的一端大管径端与过滤器(20)的入口固定,绝缘板挡环(60)的另一端小管径端指向过滤器(20)内。2.根据权利要求1所述的纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环,其特征在于:所述绝缘板挡环(60)圆锥管状母线与其轴芯线之间的夹角范围为10°?20°。3.根据权利要求1或2所述的纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环,其特征在于:所述绝缘板挡环(60)的大管径端设置有翻边(61),所述翻边(61)与过滤器(20)的入口固连,绝缘板挡环(60)的圆锥管身伸入绝缘板挡环(60)的入口内部。4.根据权利要求3所述的纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环,其特征在于:所述过滤器(20 )整体呈直角弯管状结构,过滤器(20 )的一端管口构成入口,过滤器(20 )的另一端的管口构成出口,过滤器(20 )的出口与镀膜腔室(40 )密封连接。5.根据权利要求4所述的纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环,其特征在于:所述阳极(30)呈管状结构,所述阴极靶材(10)设置在阳极(30)的管腔内,阳极(30)的管端与过滤器(20)的入口构成密封连接。
【专利摘要】本实用新型涉及一种纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环,其中阴极靶材产生的等离子体向过滤器的入口移动,阴极靶材周围设置有阳极,过滤器的出口与镀膜腔室连通,镀膜腔室内放置基片,过滤器的入口位置处设置有绝缘板挡环,绝缘板挡环呈圆锥管状,绝缘板挡环的一端大管径端与过滤器的入口固定,绝缘板挡环的另一端小管径端指向过滤器内,所述阴极靶材产生的等离子体在阳极的作用下向过滤器入口方向行进,在过滤器的入口位置处设置的绝缘板挡板,绝缘板挡板设置成圆锥管状结构,其圆锥状管内壁可对大部分灰尘的有效阻挡,既把绝缘板和灰尘隔离开来,提高了绝缘板的维护周期,又减少灰尘进入过滤器的量,进而减少灰尘颗粒由过滤器进入镀膜腔室的概率,从而确保镀膜质量。
【IPC分类】C23C14/46
【公开号】CN205024317
【申请号】CN201520813164
【发明人】张心凤, 郑杰, 尹辉
【申请人】安徽纯源镀膜科技有限公司
【公开日】2016年2月10日
【申请日】2015年10月21日
再多了解一些
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