一种新型环状靶材机构的制作方法

文档序号:10136439阅读:473来源:国知局
一种新型环状靶材机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种靶材,具体涉及一种新型环状靶材机构,属于磁控溅射技术领域。
【背景技术】
[0002]随着电弧放电真空镀膜技术的应用越来越广泛,人们开始对靶材的利用率及设备生产效率的追求也不断提高,特别是对贵重材料,靶材的利用率直接影响生产成本,而设备的定期维修周期的长短对设备的生产效率的提高起了关键性的作用;现有的靶材包括圆盘型靶材和圆柱型靶材,其中圆盘型靶材结构简单,冷却效果好,磁场线圈容易安置,设备工作性能稳定,但由于靶材厚度较小,需要频繁停机换靶,不适宜长时间连续的工业生产;而圆柱型靶材虽然使设备的连续生产工作时间有了大幅度的提高,但由于靶材厚度增加,导致靶材工作面的冷却明显变差,长时间连续运行,对于金属靶材,设备会出现粘靶现象,导致设备故障,同时,由于冷却不好,靶面温度太高,也会使靶材表面出现再结晶现象,影响产品质量。
【实用新型内容】
[0003](一)要解决的技术问题
[0004]为解决上述问题,本实用新型提出了一种新型环状靶材机构,利用率高,更换周期合理,节省维修费用,且提高生产机器的使用寿命。
[0005](二)技术方案
[0006]本实用新型的新型环状靶材机构,包括靶材,及安装于靶材外侧的氮化硼保护装置,及套接在靶材中心位置处的转轴;及设置于转轴底部的冷却水供应装置,及靠近所述冷却水供应装置,且套接在转轴外侧的传动带轮;所述转轴与冷却水供应装置的连接处设置有冷却水管;所述靶材呈环状结构。
[0007]进一步地,所述保护装置与靶材螺纹安装。
[0008]进一步地,所述革巴材由碳材料制成。
[0009]进一步地,所述传动带轮位于冷却水供应装置上方。
[0010]进一步地,所述转轴与革El材螺纹固定。
[0011](三)有益效果
[0012]与现有技术相比,本实用新型的新型环状靶材机构,氮化硼保护装置是绝缘体固件,控制靶材位置不会发生位移;同时控制靶头击打靶材产生的电弧的活动空间,防止电弧窜至外围导致熄火和损害其他部件,引起机器故障;靶材的设计兼容了圆柱靶材和圆盘型靶材的优点,使用时间长,靶材利用率高,直接更换式结构既便捷又节省了维护成本,提高机器使用寿命。
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型的整体结构示意图;
[0014]图2是本实用新型的沿中心线轴向剖面结构示意图。
[0015]附图中的零部件标注为:1-靶材,2-氮化硼保护装置,3-转轴,4-冷却水供应装置,5-传动带轮,6-冷却水管。
【具体实施方式】
[0016]如图1和图2所示的新型环状靶材机构,包括靶材I,及安装于靶材I外侧的氮化硼保护装置2,及套接在靶材I中心位置处的转轴3 ;及设置于转轴3底部的冷却水供应装置4,及靠近所述冷却水供应装置4,且套接在转轴3外侧的传动带轮5 ;所述转轴3与冷却水供应装置4的连接处设置有冷却水管6 ;所述靶材I呈环状结构。
[0017]所述保护装置2与靶材I螺纹安装。
[0018]所述靶材I由碳材料制成。
[0019]所述传动带轮5位于冷却水供应装置4上方。
[0020]所述转轴3与靶材I螺纹固定。
[0021]上面所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述,并非对本实用新型的构思和范围进行限定。在不脱离本实用新型设计构思的前提下,本领域普通人员对本实用新型的技术方案做出的各种变型和改进,均应落入到本实用新型的保护范围,本实用新型请求保护的技术内容,已经全部记载在权利要求书中。
【主权项】
1.一种新型环状靶材机构,其特征在于:包括靶材,及安装于靶材外侧的氮化硼保护装置,及套接在靶材中心位置处的转轴;及设置于转轴底部的冷却水供应装置,及靠近所述冷却水供应装置,且套接在转轴外侧的传动带轮;所述转轴与冷却水供应装置的连接处设置有冷却水管;所述靶材呈环状结构。2.根据权利要求1所述的新型环状靶材机构,其特征在于:所述保护装置与靶材螺纹安装。3.根据权利要求1所述的新型环状靶材机构,其特征在于:所述靶材由碳材料制成。4.根据权利要求1所述的新型环状靶材机构,其特征在于:所述传动带轮位于冷却水供应装置上方。5.根据权利要求1所述的新型环状靶材机构,其特征在于:所述转轴与靶材螺纹固定。
【专利摘要】本实用新型公开了一种新型环状靶材机构,包括靶材,及安装于靶材外侧的氮化硼保护装置,及套接在靶材中心位置处的转轴;及设置于转轴底部的冷却水供应装置,及靠近所述冷却水供应装置,且套接在转轴外侧的传动带轮;所述转轴与冷却水供应装置的连接处设置有冷却水管;所述靶材呈环状结构。本实用新型的新型环状靶材机构,氮化硼保护装置是绝缘体固件,控制靶材位置不会发生位移;同时控制靶头击打靶材产生的电弧的活动空间,防止电弧窜至外围导致熄火和损害其他部件,引起机器故障;靶材的设计兼容了圆柱靶材和圆盘型靶材的优点,使用时间长,靶材利用率高,直接更换式结构既便捷又节省了维护成本,提高机器使用寿命。
【IPC分类】C23C14/35
【公开号】CN205046193
【申请号】CN201520793008
【发明人】黄裕祥
【申请人】广东耐信镀膜科技有限公司
【公开日】2016年2月24日
【申请日】2015年10月15日
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