纯离子镀膜设备过滤器的挡灰装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及材料表面处理技术领域，具体涉及一种纯离子镀膜设备过滤器的挡灰装置。
【背景技术】
[0002]纯离子镀膜设备广泛应用在零件的外表面镀膜生产中，生产后的待镀膜零件上利用纯离子镀膜设备在零件的表面镀设一层或者数层涂层，以改变被镀零部件的表面性能。纯离子镀膜设备主要由真空抽气系统、阴极靶材、阳极、过滤器、镀膜腔室、基片和一些辅助零部件构成，其中，所述的过滤器整体呈现直角弯管状结构。从阴极靶材表面激发出来的等离子体向过滤器入口方向移动，过滤器的另一端出口与镀膜腔室连通，所述待镀膜的基片设置在镀膜腔室内，过滤后的离子束通过过滤器并沉降在基片上，从而完成镀膜过程，其中，过滤器一方面构成等离子体的通道，另一方面起到吸收或储存杂质颗粒，阻止较大的颗粒穿过过滤器，从而减少颗粒灰尘对镀膜腔室的污染，起到保持镀膜腔室的清洁的作用。
[0003]各种材料的表面都黏附着气体分子、杂质、颗粒等，在受到加热或轰击时，这些杂质颗粒会吸收能量由过滤器进料口进入并从过滤器出料口逃逸，从而污染镀膜环境和被镀膜基片的表面。即使基片被放进腔室前被清洗干净，在受到颗粒、杂质的污染后，也有可能变脏，导致纳米膜层的颗粒较多或较大，在纯离子镀膜源被预热或者开始工作的前10-15分钟，大量黏附在过滤器的内表面的颗粒、杂质，因为温度升高或者受到轰击获得足够的能量而逃逸出吸附表面，污染了镀膜腔室环境和被镀基片表面，致使膜层颗粒较大，膜层黏附性能也受到影响。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于:提供一种纯离子镀膜设备过滤器的挡灰装置，在确保等离子体能够通过的同时，能够降低灰尘颗粒污染镀膜腔室的概率。
[0005]为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种纯离子镀膜设备过滤器的挡灰装置，包括阴极靶材，所述阴极靶材产生的离子束指向过滤器的入口，位于过滤器入口位置处设置有阳极，过滤器的出口与镀膜腔室连通，所述镀膜腔室内放置基片，所述过滤器的入口位置处设置有绝缘板挡环，所述绝缘板挡环呈圆锥管状，绝缘板挡环的一端大管径端与过滤器的入口固定，绝缘板挡环的另一端小管径端指向过滤器内；所述过滤器的出口位置处摆动式设置有翻板，摆动式翻板呈现用于封堵过滤器的出口及与过滤器之间形成供等离子体通过的通道的两种位置状态。
[0006]与现有技术相比，本实用新型具备的技术效果为:所述阴极靶材产生的等离子体形成的离子束向过滤器入口方向行进，在过滤器的入口位置处设置的绝缘板挡环，绝缘板挡环设置成圆锥管状结构，其圆锥状管内壁可对大部分灰尘的有效阻挡，减少灰尘进入过滤器的概率；上述翻板既能有效遮挡杂质颗粒，又不会对抽气性能产生较大影响，在纯离子镀膜源预热或工作前，翻板处在关闭位置，确保温升过程中产生的杂质颗粒不会逃逸出过滤器而污染腔室和基片，当温度状态和真空度趋于稳定，镀膜环境比较清洁，翻板自动开启，开始纳米薄膜沉积，自动保护翻板把基片和预热或者镀膜初期产生的杂质颗粒隔离开来，有效地减少了纳米膜层的颗粒。
【附图说明】
[0007]图1是纯离子镀膜设备的结构示意图；
[0008]图2是绝缘板挡环的结构示意图。
【具体实施方式】
[0009]结合图1和图2，对本实用新型作进一步地说明:
[0010]一种纯离子镀膜设备过滤器的挡灰装置，包括阴极靶材10，所述阴极靶材10产生的等离子体向过滤器20的入口移动，阴极靶材10周围设置有阳极30，过滤器20的出口与镀膜腔室40连通，所述镀膜腔室40内放置基片50，所述过滤器20的入口位置处设置有绝缘板挡环60，所述绝缘板挡环60呈圆锥管状，绝缘板挡环60的一端大管径端与过滤器20的入口固定，绝缘板挡环60的另一端小管径端指向过滤器20内；所述过滤器20的出口位置处设置有摆动式翻板70，摆动式翻板70呈现用于封堵过滤器20的出口及与过滤器20之间形成供等离子体通过的通道的两种位置状态。
[0011]所述阴极靶材10产生的等离子体形成的离子束a向过滤器20的入口方向行进，在过滤器20的入口位置处设置的绝缘板挡环60，绝缘板挡环60设置成圆锥管状结构，其圆锥状管内壁可对大部分灰尘的有效阻挡，减少灰尘进入过滤器20的概率；上述翻板70既能有效遮挡杂质颗粒，又不会对抽气性能产生较大影响，在纯离子镀膜源预热或工作前，翻板70处在关闭位置，确保温升过程中产生的杂质颗粒不会逃逸出过滤器20而污染腔室40和基片50，当温度状态和真空度趋于稳定，镀膜环境比较清洁，翻板70自动开启，开始纳米薄膜沉积。自动保护翻板70把基片50和预热或者镀膜初期产生的杂质颗粒隔离开来，有效地减少了纳米膜层的颗粒。
[0012]作为本实用新型的优选方案，所述绝缘板挡环60圆锥管状母线与其轴芯线之间的夹角范围为10°?20°，结合图2所示，C的角度即为绝缘板挡环60圆锥管状母线与其轴芯线之间的夹角，上述的角度范围能确保等离子体产生的离子束a顺利的通过绝缘板挡环60，溅射出的大量灰尘颗粒，在垂直于绝缘板的绝缘板挡环60内表面的方向上，也就是绝缘板挡环60的内锥面上，遵守余玄分布，圆锥设计使得颗粒飞逸出过滤器20而污染镀膜腔室40的概率相对小得多，保证了镀膜环境的清洁。
[0013]进一步地，所述绝缘板挡环60的大管径端设置有翻边61，所述翻边61与过滤器20的入口固连，绝缘板挡环60的圆锥管身伸入绝缘板挡环60的入口内部。
[0014]优选地，所述过滤器20的出口位置处还设置有灰尘挡板80，所述灰尘挡板80上开设有供等离子体形成的离子束a通过的通孔81，所述翻板70设置在灰尘挡板80的前方，灰尘挡板80与翻板70之间间隔布置。结合图1所示，受热或者轰击产生的灰尘、杂质颗粒首先受到灰尘挡板80的阻挡作用，该灰尘挡板80阻挡了大部分的灰尘颗粒，即使有小部分的灰尘颗粒由通孔81位置处逃逸出，翻板70可起到进一步的阻挡作用，从而避免灰尘颗粒对镀膜腔室40的清洁度的影响。
[0015]进一步优选地，所述翻板70与灰尘挡板80之间距离范围是5?10mm。
[0016]所述翻板70的面积大于通孔81面积，翻板70的边缘和通孔81的边缘连线与水平中心线之间的夹角b范围在40°?50°之间。
[0017]所述过滤器20整体呈直角弯管状结构，进入过滤器20内的灰尘绝大多数被阻挡在过滤器20的弯管处的管壁上，这样就极大的减少了灰尘颗粒的数量，确保了镀膜的质量，过滤器20的一端管口构成入口，过滤器20的另一端的管口构成出口，过滤器20的出口与镀膜腔室40密封连接。
[0018]所述阳极30呈管状结构，所述阴极靶材10设置在阳极30的管腔内，阳极30的管端与过滤器20的入口构成密封连接。
【主权项】
1.一种纯离子镀膜设备过滤器的挡灰装置，包括阴极靶材(10)，所述阴极靶材(10)产生的等离子体向过滤器(20)的入口移动，阴极靶材(10)周围设置有阳极(30)，过滤器(20)的出口与镀膜腔室(40)连通，所述镀膜腔室(40)内放置基片(50)，其特征在于:所述过滤器(20)的入口位置处设置有绝缘板挡环(60)，所述绝缘板挡环￠0)呈圆锥管状，绝缘板挡环￠0)的一端大管径端与过滤器(20)的入口固定，绝缘板挡环￠0)的另一端小管径端指向过滤器(20)内；所述过滤器(20)的出口位置处设置有摆动式翻板(70)，摆动式翻板(70)呈现用于封堵过滤器(20)的出口及与过滤器(20)之间形成供等离子体通过的通道的两种位置状态。2.根据权利要求1所述的纯离子镀膜设备过滤器的挡灰装置，其特征在于:所述绝缘板挡环(60)圆锥管状母线与其轴芯线之间的夹角范围为10°?20°。3.根据权利要求2所述的纯离子镀膜设备过滤器的挡灰装置，其特征在于:所述绝缘板挡环￠0)的大管径端设置有翻边(61)，所述翻边￠1)与过滤器(20)的入口固连，绝缘板挡环(60)的圆锥管身伸入绝缘板挡环(60)的入口内部。4.根据权利要求1所述的纯离子镀膜设备过滤器的挡灰装置，其特征在于:所述过滤器(20)的出口位置处还设置有灰尘挡板(80)，所述灰尘挡板(80)上开设有供等离子体通过的通孔(81)，所述翻板(70)设置在灰尘挡板(80)的前方，灰尘挡板(80)与翻板(70)之间间隔布置。5.根据权利要求4所述的纯离子镀膜设备过滤器的挡灰装置，其特征在于:所述翻板(70)与灰尘挡板(80)之间距离范围是5?lOmmo6.根据权利要求5所述的纯离子镀膜设备过滤器的挡灰装置，其特征在于:所述翻板(70)的面积大于通孔(81)面积，翻板(70)的边缘和通孔(81)的边缘连线与水平中心线之间的夹角范围在40°?50°之间。7.根据权利要求1至6任意一项所述的纯离子镀膜设备过滤器的挡灰装置，其特征在于:所述过滤器(20)整体呈直角弯管状结构，过滤器(20)的一端管口构成入口，过滤器(20)的另一端的管口构成出口，过滤器(20)的出口与镀膜腔室(40)密封连接。8.根据权利要求1至6任意一项所述的纯离子镀膜设备过滤器的挡灰装置，其特征在于:所述阳极(30)呈管状结构，所述阴极靶材(10)设置在阳极(30)的管腔内，阳极(30)的管端与过滤器(20)的入口构成密封连接。
【专利摘要】本实用新型涉及一种纯离子镀膜设备过滤器的挡灰装置，包括阴极靶材产生的等离子体向过滤器的入口移动，阴极靶材周围设置有阳极，过滤器的出口与镀膜腔室连通，镀膜腔室内放置基片，过滤器的入口设置有绝缘板挡环，绝缘板挡环呈圆锥管状，绝缘板挡环的一端大管径端与过滤器的入口固定，绝缘板挡环的另一端小管径端指向过滤器内；过滤器的出口位置处设置有摆动式翻板，摆动式翻板呈现用于封堵过滤器的出口及与过滤器之间形成供等离子体通过的通道的两种位置状态，绝缘板挡环可阻挡大部分灰尘，减少灰尘进入过滤器的概率，该翻板既能有效遮挡杂质颗粒，又不会对抽气性能产生较大影响。
【IPC分类】C23C14/22
【公开号】CN205062166
【申请号】CN201520813458
【发明人】张心凤, 郑杰, 尹辉
【申请人】安徽纯源镀膜科技有限公司
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年10月21日