一种新型负载腔体快速抽气结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种新型负载腔体快速抽气结构，属于半导体薄膜设备的应用技术领域。
【背景技术】
[0002]半导体薄膜制备设备中，负载模块需要用真空栗频繁抽气至预定压力，现有的传片模块与真空栗单独连通，真空栗只针对传片模块使用，导致传片模块所配备的真空栗利用率较低，为合理利用设备资源，需要一种新型快速抽气结构，可减少抽气时间，提高设备产能。
【发明内容】
[0003]本实用新型以解决上述问题为目的，提供了一种新型负载腔体快速抽气结构，该抽气结构可将控制传片模块的真空栗与控制上负载模块及下负载模块的真空栗联合利用，可减少抽气时间，提高设备产能。
[0004]为实现上述目的，本实用新型采用下述技术方案:
[0005]—种新型负载腔体快速抽气结构，该抽气结构包括传片模块，上负载模块，下负载模块，角阀A，真空栗A，角阀B，角阀C，真空栗B，角阀D ;所述传片模块分别与上负载模块、下负载模块通过螺栓相连接，上负载模块置于下负载模块上方；传片模块与所述角阀D的一端通过管路相连接，角阀D的另一端与角阀C的一端及真空栗B通过管路相连接，上负载模块与角阀A的一端通过管路相连接，下负载模块3与角阀B的一端通过管路相连接，同时，角阀A的另一端与角阀B的另一端通过管路连通后再与所述角阀C的另一端及真空栗A通过管路相连接。
[0006]本实用新型的有益效果及特点在于:
[0007]1、本实用新型的抽气结构简单实用，增加抽气速率，提高产能；
[0008]2、本实用新型有效利用现有的设备，不需要额外增加购置设备，成本较低。
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型的负载腔体快速抽气结构示意图。
【具体实施方式】
[0010]下面结合实施例进一步对本实用新型进行详细说明，但实用新型保护内容不局限于所述实施例:
[0011]如图1所示，一种新型负载腔体快速抽气结构，该抽气结构包括传片模块1，上负载模块2，下负载模块3，角阀A4，真空栗A5，角阀B6，角阀C7，真空栗B8，角阀D9 ;所述传片模块1分别与上负载模块2、下负载模块3通过螺栓相连接，上负载模块2置于下负载模块3上方；传片模块1与所述角阀D9的一端通过管路相连接，角阀D9的另一端与角阀C7的一端及真空栗B8通过管路相连接，上负载模块2与角阀A4的一端通过管路相连接，下负载模块3与角阀B6的一端通过管路相连接，同时，角阀A4的另一端与角阀B6的另一端通过管路连通后再与所述角阀C7的另一端及真空栗A5通过管路相连接。
[0012]当上负载模块2需要抽真空时，关闭角阀D9和角阀B6，打开角阀C7和角阀A4，开启真空栗B8和真空栗A5，与常用结构相比，则该结构可实现对上负载模块2的快速抽气；同理，当下负载模块3需要抽真空时，关闭角阀D9和角阀A4，打开角阀C7和角阀B6，开启真空栗B8和真空栗A5实现对下负载模块3的快速抽气。
[0013]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种新型负载腔体快速抽气结构，其特征在于，该抽气结构包括传片模块，上负载模块，下负载模块，角阀A，真空栗A，角阀B，角阀C，真空栗B，角阀D ;所述传片模块分别与上负载模块、下负载模块通过螺栓相连接，上负载模块置于下负载模块上方；传片模块与所述角阀D的一端通过管路相连接，角阀D的另一端与角阀C的一端及真空栗B通过管路相连接，上负载模块与角阀A的一端通过管路相连接，下负载模块3与角阀B的一端通过管路相连接，同时，角阀A的另一端与角阀B的另一端通过管路连通后再与所述角阀C的另一端及真空栗A通过管路相连接。
【专利摘要】一种新型负载腔体快速抽气结构，主要解决现有半导体薄膜制备设备中传片模块所配备的真空泵利用率较低及设备产能低等问题，本实用新型提供一种新型负载腔体快速抽气结构，该抽气结构包括传片模块，上负载模块，下负载模块，角阀A，真空泵A，角阀B，角阀C，真空泵B，角阀D。本实用新型的抽气结构简单实用，不需要额外增加购置设备，成本较低，并且可增加抽气速率，提高产能。
【IPC分类】C23C14/56
【公开号】CN205077135
【申请号】CN201520829090
【发明人】杜广宇, 廉杰, 方仕彩
【申请人】沈阳拓荆科技有限公司
【公开日】2016年3月9日
【申请日】2015年10月23日