一种真空镀膜机用高强度镀膜室的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于滤光片镀膜制造技术领域，具体地说，尤其涉及一种真空镀膜机用高强度镀膜室。
【背景技术】
[0002]镀膜室壳体是磁控溅射镀膜设备的核心部件，由于各种真空磁控溅射镀膜工艺都必须在真空室条件下进行，因此，镀膜室壳体同时又是磁控溅射镀膜设备的最关键的部件。其性能应满足基本的工艺要求，并确保基片架在室内能够稳定的运行，要求室内温度均匀，具有良好的屏蔽效果，均匀的气流，才能实现连续镀膜。所以壳体结构的设计需遵循变形最小，结构对称且简单，密封性良好，开启方便，易于靶材的安装等特点。一般真空磁控溅射镀膜室主要进行半球样品的磁控溅射镀膜，磁控靶在上、在侧和在下形成共溅射。镀膜室的结构应便于加工制造和内部构件的组装，工作时应便于操作，特别是在热状态工作条件下，应具有良好的刚度稳定性，同时防止过大的应力变形。
[0003]传统真空镀膜机的镀膜室结构如说明书附图图1所示，长期使用过程中发现，传统这种结构的镀膜室在热状态工作下镀膜室主体的长边侧板和短边侧板的最大位移均超过了许用值范围。传统镀膜室的刚度不满足设计要求。当然通过增加侧板厚度或者缩小侧板长宽尺寸是可以提高侧板的刚度能力的，但是侧板长度和宽度是根据整套设备的尺寸进行设计，不可以缩小，因而排除；而增加侧板厚度，将增加镀膜室的制造成本和加工难度，因而也不考虑。
【发明内容】
[0004]本实用新型公开一种真空镀膜机用高强度镀膜室，用于解决传统镀膜机的镀膜室在热工作状态下会发生形变、刚度不满足设计要求的问题。
[0005]本实用新型是通过以下技术方案实现的:
[0006]—种真空镀膜机用高强度镀膜室，包括长方体金属焊接结构以及设置在所述长方体金属焊接结构内的磁控靶，所述长方体金属焊接结构包括长边侧板、短侧板、上盖以及底板，所述长边侧板、短侧板均各自分布三排法兰孔群，所述相邻每排法兰孔群之间固定设有横向加强件，所述横向加强件为不锈钢实心条并采用电焊接的连接方式与长方体金属焊接结构固定连接。
[0007]所述长边侧板上还固定设有竖向加强件，所述竖向加强件与横向加强件的形状、材质均一致。
[0008]所述法兰孔群的法兰孔均按超高真空系统设计，采用银丝和无氧铜垫圈密封。
[0009]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:
[0010]本实用新型刚度能力强，即使在热工作状态下也不会变形，改进结构简单，改进成本低，加工难度低，实用性很强，可广泛应用于滤光片镀膜制造企业。
【附图说明】
[0011]图1是传统真空镀膜机的镀膜室结构示意图；
[0012]图2是本实用新型结构示意图。
[0013]图中:1.长方体金属焊接结构；2.长边侧板；3.短侧板；4.上盖；5.法兰孔群；
6.横向加强件；7.竖向加强件。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图对本实用新型进一步说明:
[0015]—种真空镀膜机用高强度镀膜室，包括长方体金属焊接结构1以及设置在所述长方体金属焊接结构1内的磁控靶，所述长方体金属焊接结构1包括长边侧板2、短侧板3、上盖4以及底板，所述长边侧板2、短侧板3均各自分布三排法兰孔群5，所述相邻每排法兰孔群5之间固定设有横向加强件6，所述横向加强件6为不锈钢实心条并采用电焊接的连接方式与长方体金属焊接结构1固定连接。
[0016]所述长边侧板2上还固定设有竖向加强件7，所述竖向加强件7与横向加强件6的形状、材质均一致。
[0017]所述法兰孔群5的法兰孔均按超高真空系统设计，采用银丝和无氧铜垫圈密封。
[0018]—种真空镀膜机用高强度镀膜室，包括长方体金属焊接结构1以及设置在所述长方体金属焊接结构1内的磁控靶，所述长方体金属焊接结构1包括长边侧板2、短侧板3、上盖4以及底板，所述长边侧板2、短侧板3均各自分布三排法兰孔群5，所述相邻每排法兰孔群5之间固定设有横向加强件6，所述横向加强件6为不锈钢实心条并采用电焊接的连接方式与长方体金属焊接结构1固定连接。所述长边侧板2上还固定设有竖向加强件7，所述竖向加强件7与横向加强件6的形状、材质均一致。本实用新型刚度能力强，即使在热工作状态下也不会变形，改进结构简单，改进成本低，加工难度低，实用性强，可广泛应用于滤光片镀膜制造技术领域。
[0019]综上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型实施的范围，凡依本实用新型权利要求范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变化与修饰，均应包括于本实用新型的权利要求范围内。
【主权项】
1.一种真空镀膜机用高强度镀膜室，包括长方体金属焊接结构(1)以及设置在所述长方体金属焊接结构(1)内的磁控靶，所述长方体金属焊接结构(1)包括长边侧板(2)、短侧板(3)、上盖(4)以及底板，所述长边侧板(2)、短侧板(3)均各自分布三排法兰孔群(5)，其特征在于:所述相邻每排法兰孔群(5)之间固定设有横向加强件￠)，所述横向加强件(6)为不锈钢实心条并采用电焊接的连接方式与长方体金属焊接结构(1)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用高强度镀膜室，其特征在于:所述长边侧板(2)上还固定设有竖向加强件(7)，所述竖向加强件(7)与横向加强件￠)的形状、材质均一致。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用高强度镀膜室，其特征在于:所述法兰孔群(5)的法兰孔均按超高真空系统设计，采用银丝和无氧铜垫圈密封。
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空镀膜机用高强度镀膜室，属于滤光片镀膜制造技术领域，解决了传统镀膜机的镀膜室在热工作状态下会发生形变、刚度不满足设计要求的问题。主要包括长方体金属焊接结构、磁控靶，长方体金属焊接结构包括长边侧板、短侧板、上盖以及底板，长边侧板、短侧板均各自分布三排法兰孔群，相邻每排法兰孔群之间固定设有横向加强件，横向加强件为不锈钢实心条并采用电焊接的连接方式与长方体金属焊接结构固定连接。本实用新型刚度能力强，即使在热工作状态下也不会变形，改进结构简单，改进成本低，加工难度低，实用性强，可广泛应用于滤光片镀膜制造技术领域。
【IPC分类】C23C14/35
【公开号】CN205133728
【申请号】CN201520884300
【发明人】杨志民, 王军
【申请人】江苏星浪光学仪器有限公司
【公开日】2016年4月6日
【申请日】2015年11月6日