一种真空镀膜设备观察窗的制作方法

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一种真空镀膜设备观察窗的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种真空镀膜设备观察窗。
【背景技术】
[0002]真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。其中,在进行真空离子蒸发时,真空镀膜设备的观察窗多会伴随着高温,导致观察窗变模糊,影响外部人员观察,同时由于真空镀膜设备的工作特性,几乎很长时间内,不会停机,观察窗透镜的使用寿命会由于高温影响,急剧缩短,如发生碎裂,会严重影响设备内部的真空度,进而影响镀膜效果。
【实用新型内容】
[0003]针对上述问题,本实用新型提出了一种真空镀膜设备观察窗。
[0004]为解决以上技术问题,本实用新型提供的技术方案是:
[0005]一种真空镀膜设备观察窗,其特征在于,包括窗框、由强化玻璃制成的透镜和透镜固定框,所述透镜设置于窗框和透镜固定框之间,窗框和透镜固定框通过螺栓固接;
[0006]所述窗框为中空结构,并呈圆环形,窗框内设有循环冷却结构和遮板结构,所述循环冷却结构包括循环通道、冷水进口和冷水出口,所述循环通道位于窗框内,呈圆环形,并与窗框同心设置,所述冷水进口和冷水出口分别对称设置于窗框的上部和下部,并贯通循环通道,冷水进口和冷水出口处设有与窗框端面垂直的2个管接头,所述遮板结构设置于窗框上部偏右侧,包括转动杆、遮板和把手,所述转动杆水平自窗框上部偏右侧贯穿窗框,包括固定部和转动部,所述固定部位于窗框内,所述转动部位于窗框外,所述把手与转动部垂直固接,所述遮板通过螺栓与固定部固接;
[0007]所述窗框一侧的端面上设有截面呈方形、整体呈圆环形的凹槽,所述凹槽内设有呈圆环形的密封胶圈,所述透镜固定框呈圆环形,通过螺栓与窗框固接,透镜与密封胶圈紧密贴合,透镜固定框中部开有观察口,上部和下部对称设有呈圆弧形的管接头缺口,供管接头安装用,所述观察口呈圆形;
[0008]进一步的,所述转动杆与窗框之间设有密封圈;
[0009]进一步的,所述窗框的外径为D1,所述透镜固定框的外径为D2,所述D1:D2=l:0.7 ;
[0010]进一步的,所述透镜呈圆形,其直径为D3,所述透镜固定框的内径为D4,所述D3:D4=l:0.8 ;
[0011 ] 进一步的,所述把手外套合有硅橡胶隔热套管。
[0012]本实用新型的有益效果为:
[0013]本实用新型提出的一种真空镀膜设备观察窗,其结构简单,设计合理,具有耐高温、密封好、使用寿命长的特点,冷水进口和冷水出口通过管接头与冷却水管理连接,对观察窗整体进行不间断的降温,窗框与透镜固定框连接稳固,密封良好,遮板设置于观察窗靠内一侧,可有效阻隔真空镀膜设备内的离子外漏,在需要观察时,拉动把手,即可实现遮板转动,松下把手,遮板在重力作用下,自动归位,把手外套合有硅橡胶隔热套管,可阻隔热量。
【附图说明】
[0014]图1本实用新型示意图。
[0015]图2A-A向剖视图。
[0016]图3B-B向剖视图。
[0017]图4C-C向剖视图。
【具体实施方式】
[0018]一种真空镀膜设备观察窗,其特征在于,包括窗框1、由强化玻璃制成的透镜2和透镜固定框3,所述透镜2设置于窗框1和透镜固定框3之间,窗框1和透镜固定框3通过螺栓固接;
[0019]所述窗框1为中空结构,并呈圆环形,窗框1内设有循环冷却结构4和遮板结构5,所述循环冷却结构4包括循环通道6、冷水进口 7和冷水出口 8,所述循环通道6位于窗框1内,呈圆环形,并与窗框1同心设置,所述冷水进口 7和冷水出口 8分别对称设置于窗框1的上部和下部,并贯通循环通道6,冷水进口 7和冷水出口 8处设有与窗框端面垂直的2个管接头9,所述遮板结构5设置于窗框1上部偏右侧,包括转动杆10、遮板11和把手12,所述转动杆10水平自窗框1上部偏右侧贯穿窗框1,包括固定部13和转动部14,所述固定部13位于窗框1内,所述转动部14位于窗框1外,所述把手12与转动部14垂直固接,所述遮板11通过螺栓与固定部13固接;
[0020]所述窗框1 一侧的端面上设有截面呈方形、整体呈圆环形的凹槽15,所述凹槽15内设有呈圆环形的密封胶圈16,所述透镜固定框3呈圆环形,通过螺栓与窗框1固接,透镜2与密封胶圈16紧密贴合,透镜固定框3中部开有观察口 17,上部和下部对称设有呈圆弧形的管接头缺口 18,供管接头9安装用,所述观察口 17呈圆形;
[0021]其中,所述转动杆10与窗框1之间设有密封圈19,所述窗框1的外径为D1,所述透镜固定框3的外径为D2,所述D1:D2=1:0.7,所述透镜2呈圆形,其直径为D3,所述透镜固定框3的内径为D4,所述D3:D4=1:0.8,所述把手12外套合有硅橡胶隔热套管20。
[0022]本实用新型提出的一种真空镀膜设备观察窗,其结构简单,设计合理,具有耐高温、密封好、使用寿命长的特点,冷水进口和冷水出口通过管接头与冷却水管理连接,对观察窗整体进行不间断的降温,窗框与透镜固定框连接稳固,密封良好,遮板设置于观察窗靠内一侧,可有效阻隔真空镀膜设备内的离子外漏,在需要观察时,拉动把手,即可实现遮板转动,松下把手,遮板在重力作用下,自动归位,把手外套合有硅橡胶隔热套管,可阻隔热量。
[0023]以上所述,仅为本实用新型较佳的【具体实施方式】,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围内。因此,本实用新型的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。
【主权项】
1.一种真空镀膜设备观察窗,其特征在于,包括窗框、由强化玻璃制成的透镜和透镜固定框,所述透镜设置于窗框和透镜固定框之间,窗框和透镜固定框通过螺栓固接。2.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备观察窗,其特征在于,所述窗框为中空结构,并呈圆环形,窗框内设有循环冷却结构和遮板结构,所述循环冷却结构包括循环通道、冷水进口和冷水出口,所述循环通道位于窗框内,呈圆环形,并与窗框同心设置,所述冷水进口和冷水出口分别对称设置于窗框的上部和下部,并贯通循环通道,冷水进口和冷水出口处设有与窗框端面垂直的2个管接头,所述遮板结构设置于窗框上部偏右侧,包括转动杆、遮板和把手,所述转动杆水平自窗框上部偏右侧贯穿窗框,包括固定部和转动部,所述固定部位于窗框内,所述转动部位于窗框外,所述把手与转动部垂直固接,所述遮板通过螺栓与固定部固接。3.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备观察窗,其特征在于,所述窗框一侧的端面上设有截面呈方形、整体呈圆环形的凹槽,所述凹槽内设有呈圆环形的密封胶圈,所述透镜固定框呈圆环形,通过螺栓与窗框固接,透镜与密封胶圈紧密贴合,透镜固定框中部开有观察口,上部和下部对称设有呈圆弧形的管接头缺口,供管接头安装用,所述观察口呈圆形。4.如权利要求2所述的一种真空镀膜设备观察窗,其特征在于,所述转动杆与窗框之间设有密封圈。5.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备观察窗,其特征在于,所述窗框的外径为D1,所述透镜固定框的外径为D2,所述D1:D2=1:0.7。6.如权利要求1所述的一种真空镀膜设备观察窗,其特征在于,所述透镜呈圆形,其直径为D3,所述透镜固定框的内径为D4,所述D3:D4=1:0.8。7.如权利要求2所述的一种真空镀膜设备观察窗,其特征在于,所述把手外套合有硅橡胶隔热套管。
【专利摘要】本实用新型提出的一种真空镀膜设备观察窗,包括窗框、由强化玻璃制成的透镜和透镜固定框,透镜设置于窗框和透镜固定框之间,窗框和透镜固定框通过螺栓固接,窗框内设有循环冷却结构和遮板结构,循环冷却结构包括循环通道、冷水进口和冷水出口,遮板结构包括转动杆、遮板和把手,冷水进口和冷水出口通过管接头与冷却水管理连接,对观察窗整体进行不间断的降温,窗框与透镜固定框连接稳固,密封良好,遮板设置于观察窗靠内一侧,可有效阻隔真空镀膜设备内的离子外漏,在需要观察时,拉动把手,即可实现遮板转动,松下把手,遮板在重力作用下,自动归位,把手外套合有硅橡胶隔热套管,可阻隔热量,具有耐高温、密封好、使用寿命长的特点。
【IPC分类】C23C14/52
【公开号】CN205152325
【申请号】CN201520718566
【发明人】李亚军
【申请人】镇江超威纳米科技有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年9月17日
再多了解一些
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