一种真空蒸镀装置用测温机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种测温机构，尤其是涉及一种真空蒸镀装置用测温机构。
【背景技术】
[0002]真空蒸镀法是在高真空下为金属加热，使其熔融、蒸发，冷却后在样品表面形成金属薄膜的方法。真空蒸镀是在真空蒸镀装置中进行的，加热金属的方法有利用电阻产生的热能，也有利用电子束的。真空蒸镀是在真空环境作业下，压强远小于一个大气压，由于其特殊性和复杂性，真空蒸镀装置的真空室内工件温度不能用常用测温器具测量。
[0003]现有技术中，真空室内工件温度的测量基本通过非接触式间接测温方式，例如，通过用红外测温仪来测量工件表面温度，或者是通过测量真空室内温度来间接推算工件的温度。这两种测温方式均不能准确地测量随水平旋转轴旋转的工件温度，其得到的温度往往存在较大的偏差，即非接触式测温很难得到准确的温度数据。在真空室中，由于条件限制，测温点只能通过测量工件附近工件架上的温度，间接得到工件表面温度。因此，提供一种能够有效的、准确的测量工件温度的测温机构就显得尤为重要。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于克服上述现有技术中的不足，提供一种真空蒸镀装置用测温机构，其结构简单、设计合理且使用操作方便，通过接触测量工件架的温度来得到工件温度，测量准确，解决了旋转工件的温度测量问题，稳定性高，实用价值高。
[0005]为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种真空蒸镀装置用测温机构，其特征在于:包括热电偶、电滑环、温度仪表、第一插接件和第二插接件，所述热电偶设置在真空蒸镀装置的水平旋转轴的一侧，所述电滑环设置在水平旋转轴的另一侧，所述水平旋转轴为空心轴，所述第一插接件和第二插接件分别安装在水平旋转轴的两端且用于连接热电偶与电滑环，所述第一插接件与第二插接件之间通过连接线连接，所述连接线位于水平旋转轴内，所述电滑环的外环导线与温度仪表连接且通过温度仪表显示所测温度，所述第一插接件上安装有保护罩，所述热电偶的测温头位于保护罩外。
[0006]上述的一种真空蒸镀装置用测温机构，其特征在于:所述第一插接件的一个连接头与热电偶连接，所述第一插接件的另一个连接头与连接线的一端连接，所述连接线的另一端与第二插接件的一个连接头连接，所述第二插接件的另一个连接头与电滑环的内环导线连接。
[0007]上述的一种真空蒸镀装置用测温机构，其特征在于：所述第一插接件与水平旋转轴法兰连接，所述第二插接件与水平旋转轴法兰连接。
[0008]上述的一种真空蒸镀装置用测温机构，其特征在于:所述保护罩与第一插接件法兰连接。
[0009]上述的一种真空蒸镀装置用测温机构，其特征在于:所述热电偶的数量为多个。
[0010]上述的一种真空蒸镀装置用测温机构，其特征在于:所述连接线为热电偶补偿导线。
[0011 ]本实用新型与现有技术相比具有以下优点：
[0012]1、本实用新型结构简单、设计合理且使用操作方便。
[0013]2、本实用新型在真空室中，热电偶的测温头与工件架紧密接触，通过接触测量工件架的温度来得到工件温度，通过热传导直接测量工件架表面的温度，测量准确，解决了旋转工件的温度测量问题，稳定性高，实用价值高。
[0014]3、本实用新型在真空室中，热电偶随着工件架和水平旋转轴一起旋转，热电偶相对工件架和水平旋转轴是静止的，因此，通过本实用新型可以实时准确地在真空环境中测量工件的温度。
[0015]下面通过附图和实施例，对本实用新型做进一步的详细描述。
【附图说明】
[0016]图I为本实用新型的结构示意图。
[0017]图2为本实用新型的使用状态图。
[0018]附图标记说明：
[0019]! 一热电偶；2—第一插接件； 3—水平旋转轴；
[0020]4—连接线； 5—电滑环；6—温度仪表；
[0021]7—真空室； 8—工件架；9 一工件；
[0022]10一第二插接件；n一保护罩。
【具体实施方式】
[0023]如图I所示，本实用新型包括热电偶1、电滑环5、温度仪表6、第一插接件2和第二插接件10，所述热电偶I设置在真空蒸镀装置的水平旋转轴3的一侧，所述电滑环5设置在水平旋转轴3的另一侧，所述水平旋转轴3为空心轴，所述第一插接件2和第二插接件10分别安装在水平旋转轴3的两端且用于连接热电偶I与电滑环5，所述第一插接件2与第二插接件10之间通过连接线4连接，所述连接线4位于水平旋转轴3内，所述电滑环5的外环导线与温度仪表6连接且通过温度仪表6显示所测温度，所述第一插接件2上安装有保护罩11，所述热电偶I的测温头位于保护罩11外。
[0024]如图I所示，所述第一插接件2的一个连接头与热电偶I连接，所述第一插接件2的另一个连接头与连接线4的一端连接，所述连接线4的另一端与第二插接件10的一个连接头连接，所述第二插接件10的另一个连接头与电滑环5的内环导线连接。
[0025]本实施例中，所述第一插接件2与水平旋转轴3法兰连接，所述第二插接件10与水平旋转轴3法兰连接。
[0026]本实施例中，所述保护罩11与第一插接件2法兰连接。
[0027]本实施例中，所述热电偶I的数量为多个，根据需求，设置合适数量的热电偶I。
[0028]本实施例中，所述连接线4为热电偶补偿导线。
[0029]本实用新型的工作原理为:如图2所示，使用时，将水平旋转轴3的一部分和保护罩11 一起伸入真空蒸镀装置的真空室7内，使热电偶I的测温头与工件架8紧密接触，工件架8上安装工件9，然后将电滑环5的外环固定在真空蒸镀装置的静止部件上。热电偶I随着工件架8和水平旋转轴3—起水平旋转，热电偶I相对工件架8和水平旋转轴3是静止的。通过热传导由热电偶I直接测量工件架8表面的温度，电滑环5的内环随水平旋转轴3同步旋转，确保在旋转过程中热电偶I实时将温度数据传送到温度仪表6上显示。
[0030]以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型作任何限制，凡是根据本实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变换，均仍属于本实用新型技术方案的保护范围内。
【主权项】
1.一种真空蒸镀装置用测温机构，其特征在于:包括热电偶（I)、电滑环(5)、温度仪表(6)、第一插接件(2)和第二插接件（10)，所述热电偶（I)设置在真空蒸镀装置的水平旋转轴(3)的一侧，所述电滑环(5)设置在水平旋转轴(3)的另一侧，所述水平旋转轴(3)为空心轴，所述第一插接件(2)和第二插接件（10)分别安装在水平旋转轴(3)的两端且用于连接热电偶（I)与电滑环(5)，所述第一插接件(2)与第二插接件（10)之间通过连接线(4)连接，所述连接线(4)位于水平旋转轴(3)内，所述电滑环(5)的外环导线与温度仪表(6)连接且通过温度仪表(6)显示所测温度，所述第一插接件(2)上安装有保护罩（11)，所述热电偶（I)的测温头位于保护卓(11)外。2.按照权利要求I所述的一种真空蒸镀装置用测温机构，其特征在于:所述第一插接件(2)的一个连接头与热电偶（I)连接，所述第一插接件(2)的另一个连接头与连接线(4)的一端连接，所述连接线（4)的另一端与第二插接件（10)的一个连接头连接，所述第二插接件(10)的另一个连接头与电滑环(5)的内环导线连接。3.按照权利要求I或2所述的一种真空蒸镀装置用测温机构，其特征在于:所述第一插接件(2)与水平旋转轴(3)法兰连接，所述第二插接件(10)与水平旋转轴(3)法兰连接。4.按照权利要求I或2所述的一种真空蒸镀装置用测温机构，其特征在于:所述保护罩(11)与第一插接件(2)法兰连接。5.按照权利要求I或2所述的一种真空蒸镀装置用测温机构，其特征在于:所述热电偶(I)的数量为多个。6.按照权利要求I或2所述的一种真空蒸镀装置用测温机构，其特征在于:所述连接线(4)为热电偶补偿导线。
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空蒸镀装置用测温机构，包括热电偶、电滑环、温度仪表、第一插接件和第二插接件，热电偶设置在真空蒸镀装置的水平旋转轴的一侧，电滑环设置在水平旋转轴的另一侧，水平旋转轴为空心轴，第一插接件和第二插接件分别安装在水平旋转轴的两端且用于连接热电偶与电滑环，第一插接件与第二插接件之间通过连接线连接，连接线位于水平旋转轴内，电滑环的外环导线与温度仪表连接且通过温度仪表显示所测温度，第一插接件上安装有保护罩，热电偶的测温头位于保护罩外。本实用新型结构简单、设计合理且使用操作方便，通过接触测量工件架的温度来得到工件温度，测量准确，解决了旋转工件的温度测量问题，稳定性高，实用价值高。
【IPC分类】C23C14/24, C23C14/54
【公开号】CN205152326
【申请号】CN201520970724
【发明人】何飞, 刘林涛, 卢伟, 乔江江, 张勇, 吕海兵
【申请人】西北有色金属研究院
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年11月28日