一种滤光片真空蒸镀设备用的电极结构的制作方法

文档序号:10277497阅读:721来源:国知局
一种滤光片真空蒸镀设备用的电极结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种电极结构,尤其涉及一种滤光片真空蒸镀设备用的电极结构。
【背景技术】
[0002]在工业中提高工作产品是重中之重,而现有的蒸发舟的结构,其蒸发片的结构一般采用横向布置在蒸发舟上,从而电极也随蒸发片的位置进行设定,而电极的结构受到蒸发片结构的影响,其所能针对产品工作的数量受到横向布置的蒸发片束缚,需要往复的进行加装产品,从而加大了劳动力,同时由于长时间的工作,操作人员工作不当,容易将产品放置错误,导致产品的损坏,或者产品不良需要进行返工,加大了成本。
[0003]有鉴于上述的缺陷,本设计人,积极加以研究创新,以期创设一种新型结构的滤光片真空蒸镀设备用的电极结构,使其更具有产业上的利用价值。
【实用新型内容】
[0004]为解决上述技术问题,本实用新型的目的是提供一种滤光片真空蒸镀设备用的电极结构。
[0005]为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
[0006]—种滤光片真空蒸镀设备用的电极结构,包括水冷盘及带动并插接于水冷盘转动的旋转轴,沿所述水冷盘的圆周边上插接有12根外电极,且相邻的所述外电极之间的间隔呈30°布置,每根所述外电极的顶端和底端分别凸出于水冷盘的上端面和下端面,在外电极的内侧且沿所述水冷盘上还插接4根内电极,相邻的所述内电极之间的间隔呈90°布置,所述内电极的顶端和底端分别凸出于水冷盘的上端面和下端面,且4根内电极的底端上通过圆环相连,所述旋转轴上套装有安装板,所述安装板布置在水冷盘的下方,且与水冷盘之间设有间隔,所述安装板上插接有第一电极和第二电极,所述第一电极和第二电极分设在旋转轴的左右两侧,在第一电极工作时,所述第一电极的顶端逐一与12根外电极的底端相碰触布置,在第二电极工作时,所述第二电极的顶端与通过圆环相连的4根内电极的底端相碰触布置。
[0007]进一步的,所述的滤光片真空蒸镀设备用的电极结构,每根所述外电极的底端都在同一平面布置。
[0008]再进一步的,所述的滤光片真空蒸镀设备用的电极结构,每根所述内电极的底端都在同一平面布置。
[0009]更进一步的,所述的滤光片真空蒸镀设备用的电极结构,所述外电极的底端和内电极的底端都在同一平面布置。
[0010]再更进一步的,所述的滤光片真空蒸镀设备用的电极结构,所述外电极与水冷盘相接处设置有绝缘套。
[0011]再更进一步的,所述的滤光片真空蒸镀设备用的电极结构,所述内电极与水冷盘相接处设置有绝缘套。
[0012]再更进一步的,所述的滤光片真空蒸镀设备用的电极结构,所述第一电极与气缸驱动连接,且第二电极还与气缸驱动连接。
[0013]再更进一步的,所述的滤光片真空蒸镀设备用的电极结构,所述气缸挂设在安装板上。
[0014]再更进一步的,所述的滤光片真空蒸镀设备用的电极结构,所述第一电极和第二电极通过连接线与蒸发电极相连通。
[0015]再更进一步的,所述的滤光片真空蒸镀设备用的电极结构,所述连接线为铜编织带的连接线。
[0016]借由上述方案,本实用新型至少具有以下优点:
[0017]本实用新型通过在水冷盘上插接12根外电极和4根内电极,外电极呈30°分隔设置,而内电极呈90°分隔设置,并在内电极上通过圆环相连,使其该结构分布简单,便于维护和安装,外电极和内电极可以简单的安装于水冷盘上,且外电极能最大量的配合工作,同时最少数量的降低内电极的个数,降低成本,同时采用第一电极和第二电极分别与外电极和内电极相配合使用,降低第一电极和第二电极的数量,减少成本,同时通过旋转轴加快对产品的加热,从而提高工作效率。
[0018]上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
【附图说明】
[0019]为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0020]图1是本实用新型的结构不意图;
[0021 ]图2是水冷盘上外电极和内电极的结构示意图。
【具体实施方式】
[0022]下面结合附图和实施例,对本实用新型的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。
[0023]为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案,下面将结合本实用新型实施例中附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0024]如图1、图2所示,包括:水冷盘I及带动水冷盘I转动的旋转轴4,沿所述水冷盘I的圆周边上插接有12根外电极2,且相邻的所述外电极2之间的间隔呈30°布置,每根所述外电极2的顶端和底端分别凸出于水冷盘I的上端面和下端面,在外电极2的内侧且沿所述水冷盘I上还插接4根内电极3,相邻的所述内电极3之间的间隔呈90°布置,所述内电极3的顶端和底端分别凸出于水冷盘I的上端面和下端面,且4根内电极3的底端上通过圆环相连,所述旋转轴4上套装有安装板5,所述安装板5布置在水冷盘I的下方,且与水冷盘5之间设有间隔,所述安装板5上插接有第一电极6和第二电极7,所述第一电极6和第二电极7分设在旋转轴4的左右两侧,在第一电极6工作时,所述第一电极6的顶端逐一与12根外电极2的底端相碰触布置,在第二电极7工作时,所述第二电极7的顶端与通过圆环相连的4根内电极3的底端相碰触布置。外电极2和内电极3可以简单的安装于水冷盘上,且外电极2能最大量的配合工作,同时最少数量的降低内电极3的个数,降低成本,同时采用第一电极6和第二电极7分别与外电极2和内电极3相配合使用,降低第一电极6和第二电极7的数量,减少成本,同时通过旋转轴4加快对产品的加热,从而提高工作效率。
[0025]进一步的,每根所述外电极2
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