一种简易的气体混合腔的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种简易加工的气体混合腔，尤其是一种等离子体增强化学气相沉积(PECVD)平行板介质阻挡放电用气体混合装置。
【背景技术】
[0002]目前，PECVD是一种常用的薄膜制备方法，一般包括下列步骤:提供基片;提供前驱体;将前驱体由惰性气体(辅助气体)通入电极之间，等离子体中高速运动电子碰撞反应气体及前驱体形成大量自由基，通过吸附、扩散在基片表面沉积。PECVD基片温度低，沉积速率快，成膜质量好等优点使其得以广泛应用。
[0003]然而反应气体、辅助气体及前驱体的混合不均匀常常导致放电不均匀，沉积薄膜厚度形貌不一致。许多科研工作者都致力于气体混合装置研究。公开号为CN1712561A的中国专利中通过增多延长气体混合腔体来使气体混合均匀，但其占地面积较大，且大混合腔中空气难以排除。公开号为CN203737192U的专利提出对称结构来增加气体混合碰撞，但结构较为复杂。
【发明内容】
[0004]本实用新型的目的是提供一种简单，易加工，混合速度快，效果好的气体混合装置。
[0005]为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是提供了一种简易的气体混合腔，包括腔体，进气口，出气口。其特征在于，腔体开有第一进气口及第二进气口，在腔体内设有沿宽度方向等间距排列的第一分流管道及沿长度方向等间距排列的第二分流管道，第一分流管道及第二分流管道分别与第一进气口及第二进气口相通，第一分流管道及第二分流管道还与混气管道相通，混气管道与出气口相通。
[0006]优选地，所述腔体为长方体。
[0007]优选地，所述第一进气口及第二进气口为圆孔，并分别设有流量调节阀。
[0008]优选地，所有所述第一分流管道及第二分流管道的直径一致，可根据气流大小调
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[0009]优选地，所有所述第一分流管道和第二分流管道位于同一高度。
[0010]优选地，所述第一分流管道与所述第二分流管道相互垂直，或所述第一分流管道与所述第二分流管道间呈锐角夹角。
[0011]优选地，所述出气口为长方形扁平状或圆形小孔。
[0012]优选地，所述混合腔可选用聚四氟乙烯或可切割陶瓷材料，通过简单钻孔技术加工。
[0013]本实用新型的有益效果是:
[0014]1、整体结构设计合理，结构简单，易用加工。
[0015]2、气体经过多次分流和混合，多种气体相互碰撞的机会增加，混合效果良好，混合速度快。
【附图说明】
[0016]图1为本实用新型实施例1的简易的气体混合腔的结构示意图；
[0017]图2为本实用新型实施例2的简易的气体混合腔的结构示意图；
[0018]图3为本实用新型实施例3的简易的气体混合腔的结构示意图。
【具体实施方式】
[0019]为使本实用新型更明显易懂，兹以优选实施例，并配合附图作详细说明如下。
[0020]实施例1:
[0021 ]如图1中，本实施例的气体混合装置，包括腔体I，腔体I有第一进气口 2、第二进气口 3，第一分流管道4及第二分流管道5 ο所述第一进气口 2、第二进气口 3分别与两个气体质量流量计相连。第一分流管道4及第二分流管道5相互垂直，在高度方向位于同一平面，加工简易。出气口6为扁平长方形，没有阀门，直接与PECVD用平行板电极一端相连(图未示)。
[0022]本实用新型的气体混合腔工作室，第一进气口2和第二进气口 3的气体进入管道后，通过多次的分流混合，使气体的混合效果大大提高。出气端多个平行排列的出气孔增加了气体进入PECVD反应腔体的气体气流稳定性。
[0023]实施例2:
[0024]如图2所示，在实施例1的基础上，将相互垂直的第一分流管道4及第二分流管道5的夹角设置为60°。第一进气口 2为较小气流，第二进气口 3为较大气流。通过虹吸效应，第二分流管道5的大气流气体能有效地将第一分流管道4的气体吸附带入反应腔体，更利于气体的混合。
[0025]实施例3:
[0026]如图3所示，在实施例2的基础上，将出气端的多个平行出气口整合为一个出气口，单一出气口有利于将整个混气腔用于其他沉积装置，例如等离子体炬。
[0027]上述虽然结合附图对本专利的【具体实施方式】进行了描述，但并非对本专利保护范围的限制，所述领域技术人员应该明白，在本专利的技术方案的基础上，本领域技术人员不需要付出劳动即可做出的各种修改或变形仍在本专利的保护范围以内。
【主权项】
1.一种简易的气体混合腔，包括腔体(I)及出气口(6)，其特征在于，腔体(I)开有第一进气口(2)及第二进气口(3)，在腔体(I)内设有沿宽度方向等间距排列的第一分流管道(4)及沿长度方向等间距排列的第二分流管道(5)，第一分流管道(4)及第二分流管道(5)分别与第一进气口(2)及第二进气口(3)相通，第一分流管道(4)及第二分流管道(5)还与混气管道相通，混气管道与出气口相通。2.如权利要求1所述的一种简易的气体混合腔，其特征在于:所述腔体(I)为长方体。3.如权利要求1所述的一种简易的气体混合腔，其特征在于:所述第一进气口(2)及第二进气口(3)为圆孔，并分别设有流量调节阀。4.如权利要求1所述的一种简易的气体混合腔，其特征在于:所有所述第一分流管道(4)及第二分流管道(5)的直径一致。5.如权利要求1所述的一种简易的气体混合腔，其特征在于:所有所述第一分流管道(4)和第二分流管道(5)位于同一高度。6.如权利要求1所述的一种简易的气体混合腔，其特征在于:所述第一分流管道(4)与所述第二分流管道(5)相互垂直，或所述第一分流管道(4)与所述第二分流管道(5)间呈锐角夹角。7.如权利要求1所述的一种简易的气体混合腔，其特征在于:所述出气口(6)为长方形扁平状或圆形小孔。8.如权利要求1所述的一种简易的气体混合腔，其特征在于:所述混合腔选用聚四氟乙烯或可切割陶瓷材料，通过简单钻孔技术加工。
【专利摘要】本实用新型提供了一种简易的气体混合腔，包括腔体，进气口，出气口。其特征在于，腔体开有第一进气口及第二进气口，在腔体内设有沿宽度方向等间距排列的第一分流管道及沿长度方向等间距排列的第二分流管道，第一分流管道及第二分流管道分别与第一进气口及第二进气口相通，第一分流管道及第二分流管道还与混气管道相通，混气管道与出气口相通。本实用新型的有益效果是：整体结构设计合理，结构简单，易用加工；气体经过多次分流和混合，多种气体相互碰撞的机会增加，混合效果良好，混合速度快。
【IPC分类】C23C16/455
【公开号】CN205223346
【申请号】CN201520717288
【发明人】彭释, 张菁, 李炜
【申请人】东华大学
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2015年9月16日