一种带有尾气吸收装置的煅烧机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于靶材制造领域，具体涉及一种带有尾气吸收装置的煅烧机。
【背景技术】
[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。其中基板经过制粉、煅烧、烧结之后，制成基板毛料，基板毛料经过平面磨床抛光打磨之后进行溅射镀膜，目前所采用的煅烧工艺中用到的煅烧机尾气直接排放，尤其是生产靶材原料中的氨气，直接外排对于环境污染巨大。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型为了解决上述现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种带有尾气吸收装置的煅烧机，能够将尾气充分吸收，保证环境安全，符合当今环保主题。
[0004]本实用新型采用的具体技术方案是:
[0005]—种带有尾气吸收装置的煅烧机，包括煅烧炉、液压顶杆、变压器，液压顶杆设置在煅烧炉上方，煅烧炉的上端面与液压顶杆形成密封套装配合，煅烧炉内侧壁设置有炉内电极，炉内电极与液压顶杆分别连接变压器，所述煅烧炉上端面还设置有尾气排放口，所述的煅烧炉外侧套装有密封套壳，密封套壳连接通气管，通气管连接有尾气吸收罐，尾气吸收罐与密封套壳内侧借助通气管连通。
[0006]还设置有冷却水箱，冷却水箱套装在通气管外侧，通气管在冷却水箱内呈螺旋状盘绕。
[0007]所述的密封套壳为夹层结构，密封套壳的夹层内灌注有冷却液。
[0008]尾气吸收罐上设置有抽气机，抽气机设置在尾气吸收罐上端，通气管连接在尾气吸收罐底部。
[0009]本实用新型的有益效果是:
[0010]本实用新型，采用尾气吸收罐进行尾气吸收，避免直接外排尾气造成的环境污染，借助于抽气机，能够将尾气抽入尾气吸收罐，同时保持煅烧炉所处环境为负压状态，降低氧气含量，防止熔融物氧化，便于提高煅烧效果。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的结构示意图；
[0012]附图中，1、煅烧炉，2、液压顶杆，3、炉内电极，4、尾气排放口，5、密封套壳，6、通气管，7、尾气吸收罐，8、冷却水箱，9、抽气机。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步说明:
[0014]具体实施例如图1所示，本实用新型为一种带有尾气吸收装置的煅烧机，包括煅烧炉1、液压顶杆2、变压器，液压顶杆2设置在煅烧炉I上方，煅烧炉I的上端面与液压顶杆2形成密封套装配合，煅烧炉I内侧壁设置有炉内电极3，炉内电极3与液压顶杆2分别连接变压器，所述煅烧炉I上端面还设置有尾气排放口 4，所述的煅烧炉I外侧套装有密封套壳5，密封套壳5连接通气管6，通气管6连接有尾气吸收罐7，尾气吸收罐7与密封套壳5内侧借助通气管6连通。本实用新型使用时在尾气吸收罐7内灌注酸液以吸收尾气，生产时变压器的电流借助炉内电极3与液压顶杆2将炉内物料加热、熔融。
[0015]为了避免热气将尾气吸收罐7内酸液加热沸腾，还设置有冷却水箱8，冷却水箱8套装在通气管6外侧，通气管6在冷却水箱8内呈螺旋状盘绕。
[0016]为了避免高温损坏密封套壳5，所述的密封套壳5为夹层结构，密封套壳5的夹层内灌注有冷却液。同时能够避免煅烧炉与过量氧气接触，保证煅烧效果。
[0017]所述的尾气吸收罐7上设置有抽气机9，抽气机9设置在尾气吸收罐7上端，通气管6连接在尾气吸收罐7底部。抽气机9迫使尾气进入尾气吸收罐7，保证尾气吸收效果。
[0018]本实用新型，采用尾气吸收罐进行尾气吸收，避免直接外排尾气造成的环境污染，借助于抽气机，能够将尾气抽入尾气吸收罐，同时保持煅烧炉所处环境为负压状态，降低氧气含量，防止熔融物氧化，便于提高煅烧效果。
【主权项】
1.一种带有尾气吸收装置的煅烧机，包括煅烧炉(I)、液压顶杆(2)、变压器，液压顶杆(2)设置在煅烧炉(I)上方，煅烧炉(I)的上端面与液压顶杆(2)形成密封套装配合，煅烧炉(I)内侧壁设置有炉内电极(3)，炉内电极(3)与液压顶杆(2)分别连接变压器，所述煅烧炉(I)上端面还设置有尾气排放口(4)，其特征在于:所述的煅烧炉(I)外侧套装有密封套壳(5)，密封套壳(5)连接通气管(6)，通气管(6)连接有尾气吸收罐(7)，尾气吸收罐(7)与密封套壳(5)内侧借助通气管(6)连通。2.根据权利要求1所述的一种带有尾气吸收装置的煅烧机，其特征在于:还设置有冷却水箱(8)，冷却水箱(8)套装在通气管(6)外侧，通气管(6)在冷却水箱(8)内呈螺旋状盘绕。3.根据权利要求1所述的一种带有尾气吸收装置的煅烧机，其特征在于:所述的密封套壳(5)为夹层结构，密封套壳(5)的夹层内灌注有冷却液。4.根据权利要求1所述的一种带有尾气吸收装置的煅烧机，其特征在于:尾气吸收罐(7)上设置有抽气机(9)，抽气机(9)设置在尾气吸收罐(7)上端，通气管(6)连接在尾气吸收罐(7)底部。
【专利摘要】本实用新型属于靶材制造领域，具体涉及一种带有尾气吸收装置的煅烧机，包括煅烧炉、液压顶杆、变压器，液压顶杆设置在煅烧炉上方，煅烧炉的上端面与液压顶杆形成密封套装配合，煅烧炉内侧壁设置有炉内电极，炉内电极与液压顶杆分别连接变压器，所述煅烧炉上端面还设置有尾气排放口，所述的煅烧炉外侧套装有密封套壳，密封套壳连接通气管，通气管连接有尾气吸收罐，尾气吸收罐与密封套壳内侧借助通气管连通。本实用新型，采用尾气吸收罐进行尾气吸收，避免直接外排尾气造成的环境污染，借助于抽气机，能够将尾气抽入尾气吸收罐，同时保持煅烧炉所处环境为负压状态，降低氧气含量，防止熔融物氧化，便于提高煅烧效果。
【IPC分类】C23C14/34, B01D53/14
【公开号】CN205258593
【申请号】CN201521064872
【发明人】崔娜, 朱辉, 闫丽娜, 张卫, 康林杰, 郄奕
【申请人】河北东同光电科技有限公司
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2015年12月18日