一种便于基片翻转的真空镀膜机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及了一种便于基片翻转的真空镀膜机，属于真空镀膜设备技术领域。
【背景技术】
[0002]在真空镀膜的过程中，需要对产品进行翻面，实现对其上下表面均完成镀膜，因此需要在镀膜的过程中完成对用于固定产品的基片的翻转。而现有的真空镀膜机在完成了正面的镀膜后有的是采用人工手动翻转的方式，这种方式不仅效率低下，而且会影响到镀膜质量;另一种是通过采用在基片上下两端中间位置安装支杆，上支杆放在工件盘上凹槽内，下支杆插在基片旋转轴承内，工作盘在转动的过程中两根拔叉杆先后接触到拔叉并推动拔叉，在轴承的作用下使基片旋转至另一面，而这种翻转方式在翻转过程中由于速度较快，对基片上产品的震动较大，会造成产品偏移位置，导致镀膜不良。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种便于基片翻转的真空镀膜机，通过一个气缸气动一个拔叉的方式实现对基片的翻转，同时采用设置有月牙形开口的拔叉，避免基片翻转过程中的震动，减小产品的移位，提高镀膜质量。
[0004]为了解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是:
[0005]—种便于基片翻转的真空镀膜机，包括箱体，所述箱体内设置有转轴和与所述转轴连接的工作盘，所述工作盘被等分成多个用于放置基片的收容槽，所述工作盘的边缘对应设置有与所述收容槽数量相同的可相对其转动的拔叉，且拔叉上设置有伸入对应收容槽内的承载轴承，且承载轴承位于所述收容槽外侧边缘的中心位置处，所述转轴的边缘设置有与所述收容槽数量相同的圆销，且所述圆销位于对应收容槽的内侧边缘中心位置处;所述基片的外侧边缘的中心位置设置有可插入所述承载轴承的第一凹槽，所述基片的外侧边缘的中心位置设置有可插入所述圆销的第二凹槽，且所述箱体内设置有用于驱动拔叉转动的气缸。
[0006]前述的一种便于基片翻转的真空镀膜机，其特征在于:所述每个收容槽内设置有两片相对叠加固定的基片，产品固定在两片基片之间，且所述承载轴承为长方体结构，所述基片下表面的外侧中心位置设置高度为承载轴承高度一半的方形凹槽，所述基片下表面的内侧中心位置设置有与所述圆销直径一致的半圆形凹槽。
[0007]前述的一种便于基片翻转的真空镀膜机，其特征在于:每个所述拔叉通过固定工作盘边缘的支板连接在所述工作盘上，且所述拔叉上设置有月牙形开口。
[0008]前述的一种便于基片翻转的真空镀膜机，其特征在于:所述基片上表面的外侧设置两端设置有对重块。
[0009]前述的一种便于基片翻转的真空镀膜机，其特征在于:所述两片相对叠加固定的基片通过多个螺栓锁紧固定。
[0010]本实用新型的有益效果是:
[0011]1、通过一个气缸气动一个拔叉的方式实现对基片的翻转，同时采用设置有月牙形开口的拔叉，避免基片翻转过程中的震动，减小产品的移位，提高镀膜质量。
[0012]2、通过在基片的外侧表面两端设置对重块，在没有外力作用时，在基片稍有转动时，其中便会发生变化，在对重块的作用下会迅速恢复水平，保证了镀膜效果。
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型一种便于基片翻转的真空镀膜机安装了一组基片时的俯视图；
[0014]图2是本实用新型一种便于基片翻转的真空镀膜机的拔叉的结构示意图；
[0015]图3是本实用新型一种便于基片翻转的基片的后视图；
[0016]图4是本实用新型一种便于基片翻转的基片的前视图。
【具体实施方式】
[0017]下面将结合说明书附图，对本实用新型作进一步的说明。
[0018]如图1-图4所示，一种便于基片翻转的真空镀膜机，包括箱体I，所述箱体I内设置有转轴2和与所述转轴2连接的工作盘3，所述工作盘3被等分成多个用于放置基片4的收容槽31，所述工作盘3的边缘对应设置有与所述收容槽31数量相同的可相对其转动的拔叉7，且拔叉7上设置有伸入对应收容槽31内的承载轴承8，且承载轴承8位于所述收容槽31外侧边缘的中心位置处，所述转轴2的边缘设置有与所述收容槽31数量相同的圆销21，且所述圆销21位于对应收容槽31的内侧边缘中心位置处;所述基片4的外侧边缘的中心位置设置有可插入所述承载轴承8的第一凹槽，所述基片4的外侧边缘的中心位置设置有可插入所述圆销21的第二凹槽，且所述箱体I内设置有用于驱动拔叉7转动的气缸9。
[0019]本实施例中，所述每个收容槽31内设置有两片相对叠加固定的基片4，产品固定在两片基片之间，两片基片4之间通过多个螺栓5锁紧固定，且基片表面设置有多个圆形孔44，便于镀膜机对圆形孔44处的产品进行镀膜。
[0020]且所述承载轴承8为长方体结构，所述基片4下表面的外侧中心位置设置高度为承载轴承8高度一半的方形凹槽41，如图3所示，两片基片4相对叠加固定后，形成一个可插入承载轴承8的槽;所述基片4下表面的内侧中心位置设置有与所述圆销21直径一致的半圆形凹槽42，如图4所示，两片基片4相对叠加固定后，形成一个可插入圆销21的槽。
[0021]当需要将基片翻转时，气缸9推出，工作盘3带动每一个拔叉7作圆周运动，在拔叉通过气缸9时由于受到阻力作用使其发生转动，从而带动长方体结构的承载轴承8转动，从而带动两片基片4作翻转运动。
[0022]本实施例中，每个拔叉7通过固定工作盘3边缘的支板6连接在所述工作盘3上，且所述拔叉7上设置有月牙形开口 71，如图2所示，在月牙形开口 71接触到气缸9的推杆时，推杆沿月牙形开口 71的上弧线进入，当基片翻转90°时，推杆沿沿月牙形开口 71的下弧线出来，整个过程随工作盘3的转动而完成缓慢的翻转，不会在基片转过90°时因重力影响而发生快速的翻转，避免了基片翻转过程中的震动，减小产品的移位，提高镀膜质量。
[0023]所述基片4上表面的外侧设置两端设置有对重块43，在没有外力作用时，在基片稍有转动时，其中便会发生变化，在对重块的作用下会迅速恢复水平，保证了镀膜效果。
[0024]综上所述，本实用新型提供一种便于基片翻转的真空镀膜机，通过一个气缸气动一个拔叉的方式实现对基片的翻转，同时采用设置有月牙形开口的拔叉，避免基片翻转过程中的震动，减小产品的移位，提高镀膜质量。
[0025]以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界。
【主权项】
1.一种便于基片翻转的真空镀膜机，包括箱体(I)，所述箱体(I)内设置有转轴(2)和与所述转轴(2)连接的工作盘(3)，所述工作盘(3)被等分成多个用于放置基片(4)的收容槽(31)，其特征在于:所述工作盘(3)的边缘对应设置有与所述收容槽(31)数量相同的可相对其转动的拔叉(7)，且拔叉(7)上设置有伸入对应收容槽(31)内的承载轴承(8)，且承载轴承(8)位于所述收容槽(31)外侧边缘的中心位置处，所述转轴(2)的边缘设置有与所述收容槽(31)数量相同的圆销(21)，且所述圆销(21)位于对应收容槽(31)的内侧边缘中心位置处;所述基片(4)的外侧边缘的中心位置设置有可插入所述承载轴承(8)的第一凹槽，所述基片(4)的外侧边缘的中心位置设置有可插入所述圆销(21)的第二凹槽，且所述箱体(I)内设置有用于驱动拔叉(7)转动的气缸(9)。2.根据权利要求1所述的一种便于基片翻转的真空镀膜机，其特征在于:所述每个收容槽(31)内设置有两片相对叠加固定的基片(4)，产品固定在两片基片之间，且所述承载轴承(8)为长方体结构，所述基片(4)下表面的外侧中心位置设置高度为承载轴承(8)高度一半的方形凹槽(41)，所述基片(4)下表面的内侧中心位置设置有与所述圆销(21)直径一致的半圆形凹槽(42)。3.根据权利要求1所述的一种便于基片翻转的真空镀膜机，其特征在于:每个所述拔叉(7)通过固定工作盘(3)边缘的支板(6)连接在所述工作盘(3)上，且所述拔叉(7)上设置有月牙形开口(71)。4.根据权利要求1所述的一种便于基片翻转的真空镀膜机，其特征在于:所述基片(4)上表面的外侧设置两端设置有对重块(43)。5.根据权利要求2所述的一种便于基片翻转的真空镀膜机，其特征在于:所述两片相对叠加固定的基片(4)通过多个螺栓(5)锁紧固定。
【专利摘要】本实用新型公开了一种便于基片翻转的真空镀膜机，包括箱体，所述箱体内设置有转轴和与所述转轴连接的工作盘，所述工作盘被等分成多个用于放置基片的收容槽，所述工作盘的边缘对应设置有与所述收容槽数量相同的可相对其转动的拔叉，且拔叉上设置有伸入对应收容槽内的承载轴承，且承载轴承位于所述收容槽外侧边缘的中心位置处，所述转轴的边缘设置有与所述收容槽数量相同的圆销，且所述圆销位于对应收容槽的内侧边缘中心位置处；所述基片的外侧边缘的中心位置设置有可插入所述承载轴承的第一凹槽，所述基片的外侧边缘的中心位置设置有可插入所述圆销的第二凹槽，且所述箱体内设置有用于驱动拔叉转动的气缸。通过一个气缸气动一个拔叉的方式实现对基片的翻转，同时采用设置有月牙形开口的拔叉，避免基片翻转过程中的震动，减小产品的移位，提高镀膜质量。
【IPC分类】C23C16/458, C23C14/50
【公开号】CN205258596
【申请号】CN201521108830
【发明人】黄强, 刘同坤, 薛军辉
【申请人】苏州金研光电科技有限公司
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2015年12月29日