一种太阳能电池管式pecvd设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种太阳能电池管式PECVD设备。
【背景技术】
[0002]传统的太阳能电池结构从下往上包括背电极、背电场、P型硅、N+层、减反膜和正电极。在太阳能电池的各个结构中，减反膜的制备十分重要，而目前减反膜主要为SiNx单层膜、SiNx多层膜、S1x/SiNx叠层。减反膜的作用主要是三个方面:降低反射率，提高太阳光的利用率;硅片表面钝化和体钝化，减少少数载流子的复合速率；硅片正面的保护。对于SiNx的制备主要采用PECVD设备，而PECVD又分为管式PECVD和板式PECVD，管式PECVD制备的SiNx薄膜钝化效果比板式PECVD制备的SiNx薄膜致密性好，H含量多，钝化效果更好，因此成为目前市场主流的SiNx沉积设备。
[0003]管式PECVD为单炉腔式设备，产量低，不利于太阳能电池成本的降低。因此，如何开发一种管式PECVD设备，使其具备双炉腔结构，在保证沉积效果的前提下，大大提高电池片的生产速率和资源利用率成为研究者关注的重点。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种太阳能电池管式PECVD设备，可大大提高电池片的生产速率，降低电池片的生产成本。
[0005]为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种太阳能电池管式PECVD设备，包括炉腔、炉门、加热器、真空系统、射频发生器、充气系统和石墨舟，加热器、真空系统和充气系统均固定在炉腔外侧，射频发生器与石墨舟相连接，炉腔一端封闭，另一端敞开，炉门位于炉腔另一端，所述炉腔内设有可开闭的隔离门，隔离门将炉腔分成第一炉腔和第二炉腔，第一炉腔和第二炉腔内各放置一石墨舟，每个石墨舟各连接一射频发生器，真空系统分别与第一炉腔和第二炉腔相连通，充气系统分别与第一炉腔和第二炉腔相连通。
[0006]作为上述方案的改进，所述真空系统设有第一真空管和第二真空管，第一真空管与第一炉腔相连通，第二真空管与第二炉腔相连通。
[0007]作为上述方案的改进，所述充气系统设有第一充气管和第二充气管，第一充气管与第一炉腔相连通，第二充气管与第二炉腔相连通。
[0008]作为上述方案的改进，所述石墨舟的硅片承载量为200-500片。
[0009]作为上述方案的改进，所述炉腔隔离门为可旋转式开闭的隔离门。
[0010]作为上述方案的改进，所述充气系统和真空系统对称设置在炉腔两侧。
[0011]与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果:将传统的单炉腔管式PECVD改造为双炉腔管式PECVD，在不改变沉积效果的前提下，可以大大提高电池的生产速率，降低电池制造成本。
【附图说明】
[0012]图1是本实用新型的一种太阳能电池管式PECVD设备的结构示意图。
【具体实施方式】
[0013]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述。
[0014]现有技术的太阳能电池管式PECVD设备，包括炉腔、炉门、加热器、真空系统、射频发生器、充气系统和石墨舟。
[0015]如图1所示，本实用新型的一种太阳能电池管式PECVD设备，包括炉腔1、炉门2、加热器3、真空系统4、射频发生器5、充气系统6和石墨舟7，加热器3、真空系统4和充气系统6均固定在炉腔I外侧，射频发生器5与石墨舟7相连接，炉腔I一端封闭，另一端敞开，炉门2位于炉腔I另一端，炉腔I内设有可开闭的隔离门8，隔离门8将炉腔I分成第一炉腔11和第二炉腔12，第一炉腔11和第二炉腔12内各放置一石墨舟7，每个石墨舟7各连接一射频发生器5，真空系统4分别与第一炉腔11和第二炉腔12相连通，充气系统6分别与第一炉腔11和第二炉腔12相连通。射频发生器5分别对第一炉腔11和第二炉腔12中的气体进行弧光放电，使得每个石墨舟7中的硅片沉积减反膜。
[0016]石墨舟7的硅片承载量为200-500片:石墨舟7的大小正比于承载量，可根据炉腔I的大小设置不同大小的石墨舟7。
[0017]真空系统4设有第一真空管41和第二真空管42，第一真空管41与第一炉腔11相连通，第二真空管42与第二炉腔12相连通。真空系统4通过第一真空管41对第一炉腔11进行抽真空，真空系统4通过第二真空管42对第二炉腔12进行抽真空。
[0018]充气系统6设有第一充气管61和第二充气管62，第一充气管61与第一炉腔11相连通，第二充气管62与第二炉腔12相连通。充气系统6通过第一充气管61对第一炉腔11进行充气;充气系统6通过第二充气管62对第二炉腔12进行充气。充气系统6和真空系统4对称设置在炉腔I两侧。
[0019]隔离门8为可旋转式隔离门，可根据需求进行开闭。
[0020]与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果:将传统的单炉腔管式PECVD改造为双炉腔管式PECVD，在不改变沉积效果的前提下，可以大大提高电池的生产速率，降低电池制造成本。
[0021]以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种太阳能电池管式PECVD设备，包括炉腔、炉门、加热器、真空系统、射频发生器、充气系统和石墨舟，加热器、真空系统和充气系统均固定在炉腔外侧，射频发生器与石墨舟相连接，炉腔一端封闭，另一端敞开，炉门位于炉腔另一端，其特征在于:所述炉腔内设有可开闭的隔离门，隔离门将炉腔分成第一炉腔和第二炉腔，第一炉腔和第二炉腔内各放置一石墨舟，每个石墨舟各连接一射频发生器，真空系统分别与第一炉腔和第二炉腔相连通，充气系统分别与第一炉腔和第二炉腔相连通。2.如权利要求1所述的一种太阳能电池管式PECVD设备，其特征在于，所述真空系统设有第一真空管和第二真空管，第一真空管与第一炉腔相连通，第二真空管与第二炉腔相连通。3.如权利要求1所述的一种太阳能电池管式PECVD设备，其特征在于，所述充气系统设有第一充气管和第二充气管，第一充气管与第一炉腔相连通，第二充气管与第二炉腔相连通。4.如权利要求1所述的一种太阳能电池管式PECVD设备，其特征在于，所述石墨舟的硅片承载量为200-500片。5.如权利要求1所述的一种太阳能电池管式PECVD设备，其特征在于，所述炉腔隔离门为可旋转式开闭的隔离门。6.如权利要求1所述的一种太阳能电池管式PECVD设备，其特征在于，所述充气系统和真空系统对称设置在炉腔两侧。
【专利摘要】本实用新型公开了一种太阳能电池管式PECVD设备，包括炉腔、炉门、加热器、真空系统、射频发生器、充气系统和石墨舟，加热器、真空系统和充气系统均固定在炉腔外侧，射频发生器与石墨舟相连接，炉腔一端封闭，另一端敞开，炉门位于炉腔另一端，所述炉腔内设有可开闭的隔离门，隔离门将炉腔分成第一炉腔和第二炉腔，第一炉腔和第二炉腔内各放置一石墨舟，每个石墨舟各连接一射频发生器，真空系统分别与第一炉腔和第二炉腔相连通，充气系统分别与第一炉腔和第二炉腔相连通。与现有技术相比，本实用新型将传统的单炉腔管式PECVD改造为双炉腔管式PECVD，在不改变沉积效果的前提下，可以大大提高电池的生产速率，降低电池制造成本。
【IPC分类】C23C16/513
【公开号】CN205258602
【申请号】CN201520878128
【发明人】石强, 秦崇德, 方结彬, 黄玉平, 何达能, 陈刚
【申请人】广东爱康太阳能科技有限公司
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2015年11月4日