备很好的适用于RIE干法制绒生产太阳能多晶硅电池系统，具有简化了处理方法，操作方便，成本低，创造了一定的经济效益，通过采用两个功率较小的栗，并通过配合开关阀，实现两个栗之间相互匹配共同作用，并在较短时间完成硅片的干法制绒，非常科学有效；
[0027](2)本实用新型的适用于链式干法制绒生产多晶硅工艺的抽真空设备进行抽真空的方法操作简单，不需要专业人员也可实现操控，整个操作过程在常温常压的环境中即可实现操作，操作条件温和不苛刻，这种方法完美的解决了现有技术中的制绒的抽真空问题，成本低操作简单，值得后续借鉴应用，广泛推广，为本领域的抽真空技术弥补了技术空白；
[0028](3)本实用新型的抽真空设备投资小、占地面积小、运行费用低，和现代干法制绒企业可实现无缝对接，为企业节省了成本，创造了一定的经济效益。
【附图说明】
[0029]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，以下将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0030]图1为本实用新型实施例一的干法制绒生产多晶硅工艺的流程图；
[0031]图2为本实用新型实施例一的干法制绒生产多晶硅工艺的抽真空设备的结构图；
[0032]图3为本实用新型实施例二的干法制绒生产多晶硅工艺的抽真空设备的结构图。
[0033]附图标记:
[0034]101-装载腔；102-卸载腔；
[0035]103-第一真空栗；104-第二真空栗；
[0036]105-第一连接管道；106-第二连接管道；
[0037]107-第三连接管道；108-总控制阀；
[0038]109-第一安全控制阀；110-第二安全控制阀。
【具体实施方式】
[0039]下面将结合实施例对本实用新型的实施方案进行详细描述，但是本领域技术人员将会理解，下列实施例仅用于说明本实用新型，而不应视为限制本实用新型的范围。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。
[0040]实施例1
[0041]附图1为本实用新型实施例的干法制绒的工艺流程，整个工艺主要分为硅片装载和卸载两大步骤，将硅片在大气中放置在载板上，载板通过滑轮传输到装载腔中，在装载腔抽真空抽到1Pa左右。然后再传输到工艺腔接受RIE刻蚀或PECVD镀膜。工艺完成后，载板进入卸载腔(放气腔)，在卸载腔经过几次氮气吹扫后通入氮气或大气至大气压。载板传输出卸载腔。然后硅片从载板上取下到下一道工序。载板循环到装载区进行新一波硅片处理。装载腔在载板输出后，进行几次氮气吹扫，然后通入氮气或大气至大气压接受新的载板。同样的卸载腔要抽真空后才能接受下一块完成工艺的载板；
[0042]附图2为本实用新型实施例的干法制绒生产多晶硅工艺的抽真空设备的结构图，其中第一连接管道105的一端连接装载腔101，另一端连接第一真空栗103，第二连接管道106—端连接卸载腔102，另一端连接第二真空栗104，第三连接管道107分别与第一连接管道105以及第二连接管道106连通，总控制阀108设置于第三连接管道107上；
[0043]抽真空设备的工作具体操作时，在装载腔101需要抽真空时，总控制阀108为打开状态，这样第一真空栗103和第二真空栗104同时工作，加快抽真空，缩短抽真空至15pa的时间至8s内，第一真空栗以及第二真空栗分别用Edward IQX500型号的栗，功率控制在4000W左右；
[0044]当抽真空完毕，控制阀关闭，当硅片进入卸载腔102，当第二真空栗104需要吹大气时，总控制阀108再打开，通过第一真空栗103和第二真空栗104同时进行抽真空，这样可以加快硅片卸载的时间。
[0045]实施例2
[0046]整个工艺主要分为硅片装载和卸载两大步骤，将硅片在大气中放置在载板上，载板通过滑轮传输到装载腔中，在装载腔抽真空抽到1Pa左右。然后再传输到工艺腔接受RIE刻蚀或PECVD镀膜。工艺完成后，载板进入卸载腔(放气腔)，在卸载腔经过几次氮气吹扫后通入氮气或大气至大气压。载板传输出卸载腔。然后硅片从载板上取下到下一道工序。载板循环到装载区进行新一波硅片处理。装载腔在载板输出后，进行几次氮气吹扫，然后通入氮气或大气至大气压接受新的载板。同样的卸载腔要抽真空后才能接受下一块完成工艺的载板;附图3为本实用新型实施例的干法制绒生产多晶硅工艺的抽真空设备的结构图，其中第一连接管道105的一端连接装载腔101，另一端连接第一真空栗103，第二连接管道106—端连接卸载腔102，另一端连接第二真空栗104，第三连接管道107分别与第一连接管道105以及第二连接管道106连通，总控制阀108设置于第三连接管道107上，第一连接管道105以及第二连接管道106上分别设置有第一安全控制阀109与第二安全控制阀110，其中总控制阀为擦板阀；
[0047]抽真空设备的工作具体操作时，在装载腔101需要抽真空时，总控制阀108、第一安全控制阀109为打开状态，这样第一真空栗103和第二真空栗104同时工作，加快抽真空，缩短抽真空至1pa的时间至6-7s，第一真空栗以及第二真空栗的发别用韩国LOT FD3000的栗，功率控制在6000W;
[0048]当抽真空完毕，控制阀关闭，当硅片进入卸载腔102，当第二真空栗104需要吹大气时，总控制阀108以及第二安全控制阀110再打开，通过第一真空栗103和第二真空栗104同时进行抽真空，这样可以加快硅片卸载的时间，当需要将真空栗进行更换时，可将第一安全控制阀109与第二安全控制阀110设置成关闭状态，然后将真空栗拆卸下来更换新的栗体，操作方便灵活。
[0049]实施例3
[0050]其他操作步骤与本实用新型实施例2基本相同，只是第二连接管道以及第三连接管道的管道直径需要控制在100-200_之间。
[0051]尽管已用具体实施例来说明和描述了本实用新型，然而应意识到，在不背离本实用新型的精神和范围的情况下可以作出许多其它的更改和修改。因此，这意味着在所附权利要求中包括属于本实用新型范围内的所有这些变化和修改。
【主权项】
1.一种用于链式干法制绒和真空镀膜的抽真空设备，其特征在于，包括:用于硅片进行刻蚀工艺前抽真空的装载腔、用于将硅片完成刻蚀工艺后进行回填大气卸料的卸载腔、第一真空栗以及第二真空栗； 所述装载腔与所述第一真空栗、第二真空栗连接，所述卸载腔同与所述第一真空栗、第二真空栗连接。2.根据权利要求1所述的一种用于链式干法制绒和真空镀膜的抽真空设备，其特征在于，还包括第一连接管道，第二连接管道以及第三连接管道、总控制阀； 所述第一连接管道的一端连接装载腔，另一端连接第一真空栗，所述第二连接管道的一端连接卸载腔，另一端连接第二真空栗，所述第三连接管道分别与第一连接管道、第二连接管道连通，所述总控制阀设置于所述第三连接管道上。3.根据权利要求2所述的一种用于链式干法制绒和真空镀膜的抽真空设备，其特征在于，第一连接管道，第二连接管道以及第三连接管道的管道直径控制在100-200mm之间。4.根据权利要求2所述的一种用于链式干法制绒和真空镀膜的抽真空设备，其特征在于，所述总控制阀为擦板、角阀以及球阀中的其中一种。5.根据权利要求1所述的一种用于链式干法制绒和真空镀膜的抽真空设备，其特征在于，所述第一真空栗以及第二真空栗的功率控制在1000-6000W之间。6.根据权利要求5所述的一种用于链式干法制绒和真空镀膜的抽真空设备，其特征在于，所述第一真空栗以及第二真空栗为罗茨栗。7.根据权利要求2所述的一种用于链式干法制绒和真空镀膜的抽真空设备，其特征在于，还包括第一安全控制阀，所述第一安全控制阀设置于所述第一连接管道上。8.根据权利要求7所述的一种用于链式干法制绒和真空镀膜的抽真空设备，其特征在于，还包括第二安全控制阀，所述第二安全控制阀设置于所述第二连接管道上。9.根据权利要求7所述的一种用于链式干法制绒和真空镀膜的抽真空设备，其特征在于，所述第一安全控制阀为角阀或闸阀。10.根据权利要求8所述的一种用于链式干法制绒和真空镀膜的抽真空设备，其特征在于，所述第二安全控制阀为角阀或闸阀。
【专利摘要】本实用新型提供了一种用于链式干法制绒和真空镀膜的抽真空设备，包括：用于硅片进行刻蚀工艺前抽真空的装载腔、用于将硅片完成刻蚀工艺后进行回填大气卸料的卸载腔、第一真空泵以及第二真空泵；装载腔与第一真空泵、第二真空泵连接，卸载腔与第一真空泵、第二真空泵连接。在一个链式连续循环生产体系，装载腔和卸载腔交替抽真空和回填空气以达到在最少时间内完成装载和卸载工作。该实用新型使设备产能最高，操作方便，成本低，创造了显著的经济效益。
【IPC分类】C30B33/12, C23C16/54, F04B41/06, C23C16/513
【公开号】CN205258603
【申请号】CN201521136886
【发明人】上官泉元, 谭兴波, 庄正军, 包振兴
【申请人】常州比太科技有限公司
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2015年12月31日