光学镀膜机快速无尘进气系统的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型涉及光学镀膜领域，尤其指光学镀膜机快速无尘进气系统。
【背景技术】
[0002]目前，光学镀膜技术已经被应用到人们生活中的各个领域，如照相机、光显示仪、红外夜视仪、手机等领域。
[0003]目前现有技术存在的问题是:1、普遍采用铜发泡技术，无法满足各种高性能光学薄膜对于无尘环境制造的需求:在需要提供高性能薄膜时，只能是利用不同的设备对被镀件进行多次加工，薄膜器件制造过程中需要在不同设备之间转移，转移过程中因受到外界对薄膜表面的污染，存在着薄膜界面之间附着力下降乃至脱膜的问题，由于这种现象的发生，严重地影响到薄膜的质量;2、设备投入成本高:由于一机一用，为了能制造高性能的薄膜，必然要增加企业的设备投资；同时因为需要在多台设备之间转移，工序复杂，耗时增加的同时薄膜器件的成品率下降，导致运行成本增加。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型要解决的是现有技术所使用的进气系统不能满足生产需要，导致生产成本上升和工序复杂的技术问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案:
[0006]光学镀膜机快速无尘进气系统，包括过滤装置、电磁阀和压力调节阀，所述过滤装置包括至少一个过滤器，所述过滤装置的出气端与压力调节阀的进气端连通，所述压力调节阀的出气端与电磁阀的进气端连通。
[0007]对技术方案的进一步改进为，所述过滤器为0.Ο?μπι压缩空气过滤器。
[0008]对技术方案的进一步改进为，所述电磁阀为气体单向电磁阀。
[0009]对技术方案的进一步改进为，所述压力调节阀为紧凑型减压阀。
[0010]对技术方案的进一步改进为，所述过滤装置、电磁阀和压力调节阀通过无尘气管连接。
[0011 ]本实用新型的有益效果在于:
[0012]本实用新型提供了一种光学镀膜机快速无尘进气系统，包括过滤装置、电磁阀和压力调节阀，过滤装置包括至少一个过滤器，过滤装置的出气端与压力调节阀的进气端连通，压力调节阀的出气端与电磁阀的进气端连通。无尘进气系统工作时，进气口通入一定的洁净空压气体，气体首先通过过滤装置，气体在过滤装置中得到过滤，形成无尘的气体，再通过压力调节阀调节气压，经过电磁阀的自动控制有序的排出，为无尘设备提供符合光学镀膜标准的气体，本实用新型结构简单，安装方便，不仅满足了镀膜品质的要求，还能大幅度提高进气效率。
【附图说明】
[0013]附图1为本实用新型结构示意图。
【具体实施方式】
[0014]为了便于本领域技术人员的理解，下面结合实施例与附图对本实用新型作进一步的说明，实施方式提及的内容并非对本实用新型的限定。
[0015]如附图1所示，一种光学镀膜机快速无尘进气系统，包括过滤装置、电磁阀2和压力调节阀3，过滤装置包括三个过滤器I，过滤装置的出气端与压力调节阀3的进气端连通，压力调节阀3的出气端与电磁阀2的进气端连通。无尘进气系统工作时，进气口通入5Mpa的洁净空压气体，气体首先通过过滤装置，气体在过滤装置中得到过滤，形成无尘的气体，再通过压力调节阀3调节气压，经过电磁阀2的自动控制有序进入到无尘设备，为无尘设备提供符合光学镀膜标准的气体，本实用新型结构简单，安装方便，不仅满足了镀膜品质的要求，还能大幅度提尚进气效率。
[0016]过滤器I为0.ο?μπι压缩空气过滤器，提高了气体的洁净度。
[0017]电磁阀2为气体单向电磁阀，系统加入单向电磁阀，提高了系统的安全系数，便于计算机控制，避免人力资源的浪费，且提高了控制的精度，进一步提高了进气效率。
[0018]压力调节阀3为紧凑型减压阀，紧凑型减压阀为不锈钢膜片压力传输，输出稳定，进一步提尚了进气的效率。
[0019]过滤装置、电磁阀2和压力调节阀3通过无尘气管4连接，方便零件的拆卸和安装，提高了系统的可持续利用能力，减少了生产资源的浪费。
[0020]以上所述实施例仅表达了本实用新型的一种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.光学镀膜机快速无尘进气系统，其特征在于，包括过滤装置、电磁阀(2)和压力调节阀(3)，所述过滤装置包括至少一个过滤器(I)，所述过滤装置的出气端与压力调节阀(3)的进气端连通，所述压力调节阀(3)的出气端与电磁阀(2)的进气端连通。2.根据权利要求1所述光学镀膜机快速无尘进气系统，其特征在于，所述过滤器(I)为0.0lym压缩空气过滤器。3.根据权利要求1所述光学镀膜机快速无尘进气系统，其特征在于，所述电磁阀(2)为气体单向电磁阀。4.根据权利要求1所述光学镀膜机快速无尘进气系统，其特征在于，所述压力调节阀(3)为紧凑型减压阀。5.根据权利要求1所述光学镀膜机快速无尘进气系统，其特征在于，所述过滤装置、电磁阀(2)和压力调节阀(3)通过无尘气管(4)连接。
【专利摘要】本实用新型涉及光学镀膜领域，具体涉及光学镀膜机快速无尘进气系统，包括过滤装置、电磁阀和压力调节阀，所述过滤装置包括至少一个过滤器，过滤装置的出气端与压力调节阀的进气端连通，压力调节阀的出气端与电磁阀的进气端连通。无尘进气系统工作时，进气口通入一定的洁净空压气体，气体首先通过过滤装置，气体在过滤装置中得到过滤，形成无尘的气体，再通过压力调节阀调节气压，经过电磁阀的自动控制有序的排出，为无尘设备提供符合光学镀膜标准的气体，本实用新型结构简单，安装方便，不仅满足了镀膜品质的要求，还能有效提高进气效率。
【IPC分类】C23C14/22, C23C16/455
【公开号】CN205347561
【申请号】CN201620064717
【发明人】李雪高
【申请人】东莞市长益光电有限公司
【公开日】2016年6月29日
【申请日】2016年1月22日