抛光机的制作方法
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及发光二极管(LightEmitting D1de，简称LED)制造领域，尤其涉及一种利用金刚石抛光液对LED芯片蓝宝石衬底进行抛光的抛光机。
【背景技术】
[0002]研磨、抛光作为LED制作的一个工序，是将在外延生长时的衬底减薄到一定的程度。衬底的组成成分为AL2O3,此种成分对光有一定的吸收，且导热极差。在利用LED照明的过程中，如果量子阱发光区产生的温度得不到及时的释放，就会造成温度过高，在过高的温度下会加速灯具的老化和损坏。而研磨就是将蓝宝石基板减薄到一定的程度，使其能够有效的将热量及时的散发到基座上，并能提高光的透光效率。在利用研磨设备将基板减薄时，由于AL2O3的材料非常的坚硬，要使其能够有效的减薄必须用金刚石抛光液。
[0003]具体地:一般先使用研磨机对芯片背面即蓝宝石衬底的一面进行初步减薄，再使用抛光机对芯片背面进行精密抛光。其中，抛光机利用抛盘和芯片接触进行摩擦，摩擦过程中滴入金刚石抛光液进行抛光。由于金刚石抛光液中的金刚石小颗粒硬度比蓝宝石大，而且一般颗粒较小，所以不仅可以将蓝宝石衬底部分减薄而且背面较光滑，粗糙度达到标准。
[0004]但是，现有技术中，在使用上述抛光机对芯片进行抛光时，使用后的金刚石抛光液直接流出成为废液，造成抛光液的浪费，同时金刚石抛光液价格较高，导致芯片的成本增加。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型实施例提供一种抛光机，可以节省抛光液，进而降低芯片的成本。
[0006]第一方面，本实用新型提供一种抛光机，所述抛光机包括:抛盘和抛光液循环系统;所述抛光液循环系统包括:依次顺序连接的过滤容器组件、反应容器组件和回收容器组件;所述过滤容器组件具有位于所述抛盘下方的入液口，以使所述抛盘上的抛光尾液经由所述入液口流入所述过滤容器组件中，所述过滤容器组件的出液口与所述反应容器组件的入液口相连接，所述反应容器组件的出液口与所述回收容器组件的入液口相连接;所述过滤容器组件用于过滤所述抛光尾液中的固体杂质;所述反应容器组件用于去除所述抛光尾液中的可溶杂质;所述回收容器组件用于使去除杂质后的抛光尾液与抛光液机油混合，并重新生成抛光液。
[0007]结合第一方面，在第一方面的第一种可能实施方式中，所述过滤容器组件包括:至少一个过滤容器，每个所述过滤容器中包含有过滤芯或过滤网；当所述过滤容器为至少两个时，至少两个所述过滤容器由高至低依次摆放在不同高度，且高度较低的过滤容器的过滤精度高于高度较高的过滤容器的过滤精度，相邻过滤容器之间通过管道连接。
[0008]结合第一方面的第一种可能实施方式，在第一方面的第二种可能实施方式中，所述过滤容器为至少两个时，相邻过滤容器之间的管道上设置有第一阀门。
[0009]结合第一方面的第二种可能实施方式，在第一方面的第三种可能实施方式中，所述第一阀门上设置有第一计时器和第一控制器，所述第一计时器和所述第一控制器电连接，所述第一控制器与所述第一阀门的受控端相连，所述第一控制器用于根据所述第一计时器的计时时间控制所述第一阀门的开闭状态。
[0010]结合第一方面至第一方面的第三种可能实施方式中的任一项，在第一方面的第四种可能实施方式中，所述反应容器组件包括反应容器和结晶容器;所述反应容器中盛放有反应溶液，所述反应溶液用于与所述抛盘尾液中氧化物进行反应，所述氧化物为所述抛盘在抛光过程中所分离出的金属氧化物;所述结晶容器用于对所述反应溶液与所述氧化物反应后生成的所述可溶杂质进行冷却结晶，以生成所述可溶杂质的结晶物与所述去除杂质后的抛光尾液;所述反应容器和所述结晶容器由高至低依次摆放，所述反应容器和所述结晶容器之间通过管道连接。
[0011]结合第一方面的第四种可能实施方式，在第一方面的第五种可能实施方式中，所述反应容器和所述结晶容器之间的管道上设置有第二阀门。
[0012]结合第一方面的第五种可能实施方式，在第一方面的第六种可能实施方式中，所述第二阀门上设置有第二计时器和第二控制器，所述第二计时器和所述第二控制器电连接，所述第二控制器与所述第二阀门的受控端相连，所述第二控制器用于根据所述第二计时器的计时时间控制所述第二阀门的开闭状态。
[0013]本实用新型提供一种抛光机，包括:抛盘和抛光液循环系统;该抛光液循环系统包括:依次顺序连接的过滤容器组件、反应容器组件和回收容器组件;过滤容器组件具有位于抛盘下方的入液口，以使抛盘上的抛光尾液经由入液口流入过滤容器组件中，过滤容器组件的出液口与反应容器组件的入液口相连接，反应容器组件的出液口与回收容器组件的入液口相连接;过滤容器组件用于过滤抛光尾液中的固体杂质；反应容器组件用于去除抛光尾液中的可溶杂质；回收容器组件用于使去除杂质后的抛光尾液与抛光液机油混合，并重新生成抛光液。从而可以节省抛光液，进而降低芯片的成本。
【附图说明】
[0014]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为本实用新型一实施例提供的抛光机10的示意图；
[0016]图2为本实用新型一实施例提供的抛光液循环系统12的示意图。
【具体实施方式】
[0017]为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0018]为了解决现有技术中造成抛光液浪费，并且金刚石抛光液价格较高，导致芯片的成本增加的技术问题，本实用新型提供一种抛光机。
[0019]图1为本实用新型一实施例提供的抛光机10的示意图，如图1所示，该抛光机10包括抛盘11和抛光液循环系统12;可选地，还包括:真空压重系统，修刀系统和工作盘转动系统等，该抛光液循环系统12包括:依次顺序连接的过滤容器组件121、反应容器组件122和回收容器组件123;该过滤容器组件121具有位于抛盘11下方的入液口，以使抛盘11上的抛光尾液经由入液口流入过滤容器组件121中，该过滤容器组件121的出液口与反应容器组件122的入液口相连接，该反应容器组件122的出液口与回收容器组件123的入液口相连接。可选地，抛盘11可以是铜盘，抛光液为金刚石抛光液，这种情况下，上述的抛光尾液中包括铜元素和碳元素。本实用新型对抛盘的材质以及抛光液的成分不做限制。
[0020]进一步地，该过滤容器组件121用于过滤抛光尾液中的固体杂质；其中，通常这种固体杂质的直径要大于抛光尾液中碳元素的直径，通过对过滤容器组件121中的过滤网或者过滤芯中网格大小的设置，可以实现将固体杂质过滤掉。该反应容器组件122用于去除抛光尾液中的可溶杂质；回收容器组件123用于使去除杂质后的抛光尾液与抛光液机油混合，并重新生成抛光液。
[0021]可选地，上述抛盘11、过滤容器组件121、反应容器组件122和回收容器组件123可以由高至低依次摆放在不同高度。进一步地，通常结晶容器1222和回收容器组件123下方设置有载物台，其中结晶容器1222的载物台高于回收容器组件123的载物台。
[0022]本实用新型提供一种抛光机，包括:抛盘和抛光液循环系统;该抛光液循环系统包括:依次顺序连接的过滤容器组件、反应容器组件和回收容器组件;过滤容器组件具有位于抛盘下方的入液口，以使抛盘上的抛光尾液经由入液口流入过滤容器组件中，过滤容器组件的出液口与反应容器组件的入液口相连接，反应容器组件的出液口与回收容器组件的入液口相连接;过滤容器组件用于过滤抛光尾液中的固体杂质；反应容器组件用于去除抛光尾液中的可溶杂质；回收容器组件用于使去除杂质后的抛光尾液与抛光液机油混合，并重新生成抛光液。从而可以节省抛光液，进而降低芯片的成本。
[0023]图2为本实用新型一实施例提供的抛光液循环系统1