蒸镀设备的掩膜版的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供的蒸镀设备的掩膜版，包括闭合的边框、多个框条、多个滚轮和转动机构，其中，多个框条间隔排列，以将边框分隔形成多个沉积区域，每个框条的两端中的至少一端与滚轮固定连接；转动机构设置在边框上，用以驱动各个滚轮转动，以使框条缠绕在滚轮上，直至达到所需的张力。本实用新型提供的蒸镀设备的掩膜版，其不仅可以提高框条的使用寿命、减少更换框条的次数，而且在更换框条时，不会损伤边框，且无需打磨边框，从而不仅可以延长边框的使用寿命，降低工艺成本，而且还可以提高工艺效率。
【专利说明】
蒸镀设备的掩膜版
技术领域
[0001]本实用新型涉及掩膜版加工技术领域，具体地，涉及一种蒸镀设备的掩膜板。
【背景技术】
[0002]作为OLED的主要制作工艺，小分子蒸镀技术需要借助掩膜版来定义材料沉积在基板上的区域。
[0003]现有的掩膜版包括闭合的边框及多个框条，多个框条间隔排列，以将边框分隔形成多个沉积区域。为了准确定义该沉积区域，在进行工艺时，需要将边框放置在拉伸机台上，并通过拉伸装置拉伸各个框条，以使各个框条能够被精确地放置在边框上的相应位置。然后利用高能激光将各个框条与边框熔融，形成很多微小的焊接点，以使框条牢固地固定在边框上。
[0004]现有的掩膜版在实际应用中不可避免地存在以下问题:
[0005]其一，在将各个框条安装在边框上的过程中，由于需要对框条进行拉伸，框条存在很大的应力，该应力均由焊接点承受，这在工艺过程中，一旦不慎触碰框条，就很容易使其产生形变，甚至造成焊接点断裂。
[0006]其二，在进行工艺的过程中，框条上也会沉积材料，这使得在使用一段时间后，框条会因不断沉积的材料所具有的重量发生形变，从而影响与基板的准确对位，使得沉积区域发生变化。
[0007]在框条因为上述两种情况发生形变时，需要去除现有框条并重新焊接新框条，而且在焊接前，还需要打磨边框上的焊接点位置，使边框表面平整光滑，从而有利于焊接作业。但是，由于打磨时间较长，而且多次打磨会使边框厚度变薄，而蒸镀设备对边框的厚度有一定的要求，边框厚度超出范围值，则无法使用。
[0008]综上所述，在现有技术中，采用激光焊接技术制备的掩膜版，框条容易断裂，且更换新框条的成本较高。此外，在更换新框条时，多次打磨边框还会导致边框寿命变短，从而使工艺效率及成本均受到影响。
【实用新型内容】
[0009]本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种蒸镀设备的掩膜版，其不仅可以提高框条的使用寿命、减少更换框条的次数，而且在更换框条时，不会损伤边框，且无需打磨边框，从而不仅可以延长边框的使用寿命，降低工艺成本，而且还可以提尚工艺效率。
[0010]为实现本实用新型的目的而提供一种蒸镀设备的掩膜版，包括闭合的边框和多个框条，多个框条间隔排列，以将所述边框分隔形成多个沉积区域，还包括多个滚轮和转动机构，其中，每个框条的两端中的至少一端与所述滚轮固定连接;所述转动机构设置在所述边框上，用以驱动各个所述滚轮转动，以使所述框条缠绕在所述滚轮上，直至达到所需的张力。
[0011]优选的，所述转动机构包括多个旋转轴和多个制动件，其中，在所述边框上设置有多个凹槽，各个旋转轴一一对应地设置在各个凹槽中，且可相对于所述边框旋转;各个所述滚轮一一对应地位于各个凹槽中，且套设在所述旋转轴上;各个制动件一一对应地设置在各个凹槽中，用以在所述滚轮旋转所需的角度之后，锁定所述滚轮。
[0012]优选的，所述滚轮为齿轮。
[0013]优选的，所述转动机构还包括多个齿轮，各个齿轮一一对应地位于各个凹槽中，且套设在所述旋转轴上;各个所述制动件通过使所述齿轮固定不动，而锁定所述滚轮。
[0014]优选的，位于所述边框同侧的各个旋转轴连为一体或者相互串接。
[0015]优选的，在所述边框的上表面，且位于各个凹槽的内侧设置有凸台，所述凸台的外边沿形成圆弧倒角;所述滚轮的顶端低于所述凸台的上表面。
[0016]优选的，所述滚轮的顶端高于所述边框的上表面。
[0017]优选的，在所述滚轮上设置有夹持部，用以固定所述框条的端部。
[0018]优选的，所述掩膜版还包括控制机构，所述控制机构用于检测各个框条的张力，并根据该张力控制所述转动机构驱动各个所述滚轮转动。
[0019]优选的，所述转动机构采用手动、电动或气动的方式驱动各个所述滚轮转动。
[0020]本实用新型具有以下有益效果:
[0021]本实用新型提供的蒸镀设备的掩膜版，其通过将每个框条的两端中的至少一端与滚轮固定连接，并利用转动机构驱动各个滚轮转动，以使框条缠绕在滚轮上，直至达到所需的张力，可以实现框条的张力的调节，从而可以在框条变形时使之恢复原状，进而可以提高框条的使用寿命、减少更换框条的次数。而且，通过将每个框条的两端中的至少一端与滚轮固定连接，可以省去打磨边框的步骤，从而不仅可以延长边框的使用寿命，降低工艺成本，而且还可以提高工艺效率。
【附图说明】
[0022]图1为本实用新型实施例提供的蒸镀设备的掩膜版的俯视图；
[0023]图2为图1中I区域的立体图；
[0024]图3为本实用新型实施例采用的滚轮和制动件的示意图；以及
[0025]图4为本实用新型实施例提供的蒸镀设备的掩膜版的局部立体图。
【具体实施方式】
[0026]为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图来对本实用新型提供的蒸镀设备的掩膜版进行详细描述。
[0027]图1为本实用新型实施例提供的蒸镀设备的掩膜版的俯视图。图2为图1中I区域的立体图。请一并参阅图1和图2，蒸镀设备的掩膜版包括闭合的边框I和两个框条2。其中，边框I为一矩形边框，两个框条2间隔排列，以将该边框I分隔形成三个沉积区域A，该沉积区域A即为需要蒸镀设备将材料沉积在基板上的区域。
[0028]掩膜版还包括四个滚轮3和转动机构，其中，每个滚轮3通过转动机构固定在边框I上;每个框条2的两端分别与两个滚轮3固定连接。转动机构用于驱动各个滚轮3转动，以使框条2缠绕在该滚轮3上，直至达到所需的张力。转动机构采用手动、电动或气动的方式驱动各个滚轮3转动。这样，可以实现框条2的张力的调节，从而可以在框条2变形时使之恢复原状，进而可以提高框条2的使用寿命、减少更换框条2的次数。而且，通过将每个框条2的两端分别与两个滚轮3固定连接，可以省去打磨边框I的步骤，从而不仅可以延长边框I的使用寿命，降低工艺成本，而且还可以提高工艺效率。
[0029]图3为本实用新型实施例采用的滚轮和制动件的示意图。请参阅图3，转动机构包括四个旋转轴4和四个制动件5，其中，在边框I上设置有多个凹槽10，各个旋转轴4一一对应地设置在各个凹槽10中，且可相对于边框I旋转，具体来说，旋转轴4可以通过轴承和轴承座安装在凹槽10中。各个滚轮3—一对应地位于各个凹槽10中，且套设在旋转轴4上，如图3所示。各个制动件5—一对应地设置在各个凹槽10中，用以在滚轮3旋转所需的角度之后，锁定滚轮3，从而使滚轮3固定在当前位置不动。
[0030]在本实施例中，滚轮3为齿轮。这样，在通过旋转轴4带动滚轮3旋转时，可以通过计算滚轮3的转动齿数来控制滚轮3的转动角度，从而实现对滚轮3转动角度的精确控制，进而可以提高框条2的张力的精确度。
[0031]在本实施例中，制动件5采用楔形片状结构，通过将该制动件5插入齿轮的齿槽中来实现对滚轮3的锁定。当然，在实际应用中，该制动件5和滚轮3还可以分别为棘爪和棘轮，二者通过相互配合来实现对滚轮3的锁定。
[0032]在本实施例中，在滚轮3上设置有夹持部(图中未示出)，用以固定框条2的端部。例如，该夹持部可以为用于夹持框条2端部的卡口，通过采用夹持的方式固定框条2的端部，不仅可以提高连接的稳定性，而且便于框条2的更换。
[0033]图4为本实用新型实施例提供的蒸镀设备的掩膜版的局部立体图。请参阅图4，在边框I的上表面，且位于各个凹槽10的内侧设置有凸台11，该凸台11的外边沿形成圆弧倒角，并且滚轮3的顶端低于凸台11的上表面。借助凸台11及其上的圆弧倒角，在滚轮3转动并拉动框条2时，可以使框条2沿凸台11的圆弧倒角滑动，从而可以避免框条2与凹槽10的开口边缘处接触，导致划伤或产生不可逆形变。
[0034]优选的，滚轮3的顶端高于边框I的上表面，这可以进一步避免框条2与凹槽10的开口边缘处接触，导致划伤或产生不可逆形变。
[0035]另外，优选的，掩膜版还包括控制机构(图中未示出)，该控制机构用于检测各个框条2的张力，并根据该张力控制转动机构驱动各个滚轮3转动，从而实现框条2张力的自动和高精度调节。
[0036]需要说明的是，在本实施例中，框条2为两个，但是本实用新型并不局限于此，在实际应用中，框条2的数量还可以为三个以上，而且框条2的排布方式、相邻两个框条2之间的间距可以根据所需的不同的沉积区域的形状和尺寸进行自由设定。
[0037]还需要说明的是，在本实施例中，每个框条2的两端分别与两个滚轮3固定连接，但是本实用新型并不局限于此，在实际应用中，也可以仅将框条2的其中一端与滚轮3连接，而另一端可以采用其他方式与边框I固定连接，也就是说，只要每个框条的两端中的至少一端与滚轮固定连接，即可利用转动机构驱动各个滚轮转动，实现对框张力的调节。
[0038]进一步需要说明的是，在本实施例中，各个旋转轴4一一对应地设置在各个凹槽10中，即，每个滚轮4配备有一个旋转轴4，且各个旋转轴4相互独立，这可以实现对每个滚轮3的转动角度进行单独调节，从而可以提高调节的灵活性。但是本实用新型并不局限于此，在实际应用中，还可以通过将位于边框I同侧的各个旋转轴4连为一体或者相互串接，使位于边框I同侧的各个旋转轴4同步转动，从而实现位于边框I同侧的滚轮3联动。在这种情况下，只需要转动其中一个旋转轴4，即可带动位于边框I同侧的滚轮3—起转动。
[0039]另外需要说明的是，在本实施例中，滚轮3为齿轮，但是本实用新型并不局限于此，在实际应用中，滚轮3可以为任意结构的滚轮，并在各个旋转轴4上另设齿轮，并利用该齿轮精确控制滚轮3的转动角度。具体来说，多个齿轮一一对应地位于各个凹槽中，且套设在各个旋转轴4上;各个制动件5通过使各个齿轮固定不动，而锁定滚轮3。
[0040]综上所述，本实用新型实施例提供的蒸镀设备的掩膜版，其通过将每个框条的两端中的至少一端与滚轮固定连接，并利用转动机构驱动各个滚轮转动，以使框条缠绕在滚轮上，直至达到所需的张力，可以实现框条的张力的调节，从而可以在框条变形时使之恢复原状，进而可以提高框条的使用寿命、减少更换框条的次数。而且，通过将每个框条的两端中的至少一端与滚轮固定连接，可以省去打磨边框的步骤，从而不仅可以延长边框的使用寿命，降低工艺成本，而且还可以提高工艺效率。
[0041]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种蒸镀设备的掩膜版，包括闭合的边框和多个框条，多个框条间隔排列，以将所述边框分隔形成多个沉积区域，其特征在于，还包括多个滚轮和转动机构，其中， 每个框条的两端中的至少一端与所述滚轮固定连接； 所述转动机构设置在所述边框上，用以驱动各个所述滚轮转动，以使所述框条缠绕在所述滚轮上，直至达到所需的张力。2.根据权利要求1所述的蒸镀设备的掩膜版，其特征在于，所述转动机构包括多个旋转轴和多个制动件，其中，在所述边框上设置有多个凹槽，各个旋转轴一一对应地设置在各个凹槽中，且可相对于所述边框旋转； 各个所述滚轮一一对应地位于各个凹槽中，且套设在所述旋转轴上； 各个制动件一一对应地设置在各个凹槽中，用以在所述滚轮旋转所需的角度之后，锁定所述滚轮。3.根据权利要求2所述的蒸镀设备的掩膜版，其特征在于，所述滚轮为齿轮。4.根据权利要求2所述的蒸镀设备的掩膜版，其特征在于，所述转动机构还包括多个齿轮，各个齿轮一一对应地位于各个凹槽中，且套设在所述旋转轴上； 各个所述制动件通过使所述齿轮固定不动，而锁定所述滚轮。5.根据权利要求2所述的蒸镀设备的掩膜版，其特征在于，位于所述边框同侧的各个旋转轴连为一体或者相互串接。6.根据权利要求2所述的蒸镀设备的掩膜版，其特征在于，在所述边框的上表面，且位于各个凹槽的内侧设置有凸台，所述凸台的外边沿形成圆弧倒角； 所述滚轮的顶端低于所述凸台的上表面。7.根据权利要求2所述的蒸镀设备的掩膜版，其特征在于，所述滚轮的顶端高于所述边框的上表面。8.根据权利要求1-7任意一项所述的蒸镀设备的掩膜版，其特征在于，在所述滚轮上设置有夹持部，用以固定所述框条的端部。9.根据权利要求1-7任意一项所述的蒸镀设备的掩膜版，其特征在于，所述掩膜版还包括控制机构，所述控制机构用于检测各个框条的张力，并根据该张力控制所述转动机构驱动各个所述滚轮转动。10.根据权利要求1-7任意一项所述的蒸镀设备的掩膜版，其特征在于，所述转动机构采用手动、电动或气动的方式驱动各个所述滚轮转动。
【文档编号】C23C14/24GK205420526SQ201620207683
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2016年3月16日
【发明人】胡长奇, 邹清华, 郭书鹏, 卜斌
【申请人】合肥鑫晟光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司