一种蒸镀设备的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种蒸镀设备，属于显示技术领域，其可解决现有的蒸镀设备热传导效率低，易堵塞坩埚口的问题。本实用新型的蒸镀设备中，至少部分加热丝设于坩埚壁处，通过给加热丝通电，将电能转化为热能，相当于在坩埚壁处增加热交换，提高热传导效率，同时可以使得坩埚内的蒸镀材料受热均匀，不会堵塞坩埚口，蒸镀工艺稳定。此外，还能通过加热丝固定坩埚的位置。本实用新型的蒸镀设备适用于各种蒸镀工艺。
【专利说明】
一种蒸镀设备
技术领域
[0001]本实用新型属于显示技术领域，具体涉及一种蒸镀设备。
【背景技术】
[0002]在基板上形成有机发光二级管(Organic Light-Emitting D1de，0LED)器件通常采用蒸镀工艺，具体的，是在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料升华成原子、分子或原子团组成的蒸气，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。蒸镀工艺按照蒸镀源(蒸镀材料的加热装置)的类型可分为点源蒸镀和线源蒸镀，其中点源蒸镀技术发展较为成熟，已经在生产线实现了量产。
[0003]发明人发现现有技术中至少存在如下问题:现有技术中的点源蒸镀设备通常包括坩祸，以及设于坩祸的底部的加热丝和热电偶。这种点源蒸镀设备的坩祸的底部受热，其热传导效率低，影响tooling值(蒸镀的实际厚度/设定厚度的比值)；同时由于仅有坩祸的底部受热，坩祸口(即坩祸顶部)温度较低，会导致蒸镀材料受热不均，蒸镀材料遇冷凝固，易堵塞坩祸口，影响蒸镀稳定性。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型针对现有的蒸镀设备热传导效率低，易堵塞坩祸口的问题，提供一种蒸镀设备。
[0005]解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是:
[0006]—种蒸镀设备，包括坩祸和加热丝，所述坩祸包括坩祸底和坩祸壁，至少部分加热丝设于所述坩祸壁处。
[0007]优选的是，所述坩祸壁内部设有多个空心柱，至少部分所述加热丝设于所述空心柱内。
[0008]优选的是，所述空心柱垂直于所述坩祸底设置，且均匀排布。
[0009]优选的是，所述加热丝包括多个相连接的U型结构；
[0010]所述坩祸壁靠近坩祸底的一侧有与所述空心柱联通的开口；
[0011 ] 所述U型结构的竖直部分由所述开口插入所述空心柱内。
[0012]优选的是，所述U型结构插入所述空心柱内的深度小于或等于坩祸壁的高度。
[0013]优选的是，所述加热丝包括多个相连接的S型结构；
[0014]所述坩祸壁靠近坩祸底的一侧以及远离坩祸底的一侧均设有与所述空心柱联通的开口；
[0015]所述加热丝依次穿过每根空心柱。
[0016]优选的是，所述坩祸壁的外壁设有螺旋凹槽，所述螺旋凹槽中设有加热丝。
[0017]优选的是，所述加热丝由钨或镍铬构成。
[0018]优选的是，所述坩祸底设有热电偶。
[0019]优选的是，所述坩祸底设有加热丝。
[0020]本实用新型的蒸镀设备中，至少部分加热丝设于坩祸壁处，相当于在坩祸壁处增加热交换，提高热传导效率，同时可以使得坩祸内的蒸镀材料受热均匀，不会堵塞坩祸口，蒸镀工艺稳定。此外，还能通过加热丝固定坩祸的位置。本实用新型的蒸镀设备适用于各种蒸镀工艺。
【附图说明】
[0021]图1为本实用新型的实施例1的蒸镀设备的结构示意图；
[0022]图2为本实用新型的实施例2的一种蒸镀设备的坩祸结构示意图；
[0023]图3为本实用新型的实施例2的蒸镀设备的坩祸截面示意图；
[0024]图4为本实用新型的实施例2的蒸镀设备的加热丝结构示意图；
[0025]图5为本实用新型的实施例2的蒸镀设备的结构示意图；
[0026]图6为本实用新型的实施例2的另一种蒸镀设备的结构示意图；
[0027]图7为本实用新型的实施例2的另一种蒸镀设备的坩祸结构示意图；
[0028]图8为本实用新型的实施例2的另一种蒸镀设备的加热丝结构示意图；
[0029]图9为本实用新型的实施例2的另一种蒸镀设备的结构示意图；
[0030]图10为本实用新型的实施例3的蒸镀设备的结构示意图；
[0031]其中，附图标记为:1、坩祸；11、坩祸壁;12、空心柱；13、坩祸底；14、螺旋凹槽;2、加热丝;3、热电偶。
【具体实施方式】
[0032]为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细描述。
[0033]实施例1:
[0034]本实施例提供一种蒸镀设备，如图1所示，包括坩祸I和加热丝2，所述坩祸I包括坩祸底13和坩祸壁11，至少部分加热丝2设于所述坩祸壁11处。
[0035]本实施例的蒸镀设备(也可称为蒸镀加热源)中，至少部分加热丝2设于坩祸壁11处，通过给加热丝2通电(图1中用表示)，将电能转化为热能，相当于在坩祸壁11处增加热交换，提高热传导效率，同时可以使得坩祸I内的蒸镀材料受热均匀，不会堵塞坩祸口，蒸镀工艺稳定。此外，还能通过加热丝2固定坩祸I的位置。本实用新型的蒸镀设备适用于各种蒸镀工艺。
[0036]实施例2:
[0037]本实施例提供一种蒸镀设备，如图2-9所示，包括坩祸I和加热丝2，所述坩祸包括坩祸底13和坩祸壁11，至少部分加热丝2设于所述坩祸壁11处。
[0038]本实施例的蒸镀设备中，至少部分加热丝2设于坩祸壁11处，相当于在坩祸壁11处增加热交换，提高热传导效率，同时可以使得坩祸内的蒸镀材料受热均匀，不会堵塞坩祸口，蒸镀工艺稳定。此外，还能通过加热丝2固定坩祸I的位置。本实用新型的蒸镀设备适用于各种蒸镀工艺。
[0039]优选的是，所述坩祸壁11内部设有多个空心柱12，至少部分所述加热丝2设于所述空心柱12内。
[0040]也就是说，如图2所示，将空心柱12设置在坩祸壁11的壁体中，把加热丝2设置于相应的空心柱12中。
[0041]优选的是，所述空心柱12垂直于所述坩祸底13设置，且均匀排布。
[0042]也就是说，为了使得坩祸I内的蒸镀材料受热更均匀，图2中设置了沿坩祸壁11均匀排布的一圈空心柱12，其中，如图3所示，两两相对的空心柱12在坩祸I横截面的直径上，相邻的两个空心柱12之间的距离相同。
[0043]优选的是，所述加热丝2包括多个相连接的U型结构；
[0044]所述坩祸壁11靠近坩祸底13的一侧有与所述空心柱12联通的开口；
[0045]所述U型结构的竖直部分由所述开口插入所述空心柱12内。
[0046]也就是说，如图4所示，加热丝2为一条，加热丝2的两端分别连接正负极用于通电，将其弯折成多个相连接的U型结构，其中，如图5所示，U型结构的竖直部分由下至上插入空心柱12，这样相当于多个相连接的U型结构合力将空心柱12顶起来，实现依靠加热丝2固定坩祸的目的。
[0047]优选的是，所述U型结构插入所述空心柱12内的深度小于或等于坩祸壁11的高度。
[0048]优选的是，所述加热丝2包括多个相连接的S型结构；
[0049]所述坩祸壁11靠近坩祸底13的一侧以及远离坩祸底13的一侧均设有与所述空心柱12联通的开口 ；
[0050]所述加热丝2依次穿过每根空心柱12。
[0051]也就是说，空心柱12两端均联通，如图6所示，加热丝2为一条，加热丝2的一端沿“之”字型依次将空心柱12穿起。
[0052]优选的是，所述坩祸壁11的外壁设有螺旋凹槽14，所述螺旋凹槽14中设有加热丝2。
[0053]也就是说，如图7、图8所示，加热丝2为螺旋型，坩祸壁11的外壁设有与螺旋型加热丝2相匹配的螺旋凹槽14，螺旋型加热丝2可沿所述凹槽旋入或旋出。坩祸壁11加热丝2紧密接触，可以充分利用热传导。
[0054]优选的是，所述加热丝2由钨或镍铬构成。
[0055]优选的是，所述坩祸底13设有热电偶3。
[0056]也就是说，如图9所示，热电偶3设置在坩祸I的下方接触坩祸底13。
[0057]优选的是，所述坩祸底设有加热丝。
[0058]也就是说，坩祸底或坩祸口处也可以设置加热丝，进一步增加热交换的面积，提高热传导效率。
[0059]实施例3:
[0060]本实施例提供一种蒸镀设备，其具有与实施例2的蒸镀设备类似的结构，具体的，如图10所示，i甘祸的内径为5cm，高度为10cm，i甘祸壁11厚度为5mm，i甘祸壁11内有一圈空心柱12，空心柱12紧靠坩祸内壁，空心柱12垂直于坩祸底13设置，空心柱12的高为10cm，空心柱12共8个，沿坩祸壁11均匀分布一圈。
[0061]加热丝2材质为钨或镍铬，加热丝2的U型结构竖直的部分恰好可以嵌入到空心柱12中，可以固定坩祸，坩祸壁11与加热丝2紧密接触，可以充分利用热传导，降低加热温度。
[0062]或者，U型结构竖直的部分的长度大于空心柱12的高，这样加热丝2可以顶起并支撑坩祸。
[0063]此外，也可以同时加热坩祸的顶部，以避免蒸镀材料在坩祸口(即坩祸顶部)遇冷凝固，减少蒸镀材料在坩祸口处堵塞。
[0064]显然，上述各实施例的【具体实施方式】还可进行许多变化;例如:空心柱或加热丝的尺寸可以根据坩祸的具体尺寸进行调整，螺旋凹槽的螺旋圈数可以根据实际控温需要进行改变。
[0065]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种蒸镀设备，包括坩祸和加热丝，所述坩祸包括坩祸底和坩祸壁，其特征在于，至少部分加热丝设于所述坩祸壁处。2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述坩祸壁内部设有多个空心柱，至少部分所述加热丝设于所述空心柱内。3.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述空心柱垂直于所述坩祸底设置，且均匀排布。4.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述加热丝包括多个相连接的U型结构； 所述坩祸壁靠近坩祸底的一侧有与所述空心柱联通的开口； 所述U型结构的竖直部分由所述开口插入所述空心柱内。5.根据权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述U型结构插入所述空心柱内的深度小于或等于坩祸壁的高度。6.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述加热丝包括多个相连接的S型结构； 所述坩祸壁靠近坩祸底的一侧以及远离坩祸底的一侧均设有与所述空心柱联通的开P; 所述加热丝依次穿过每根空心柱。7.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述坩祸壁的外壁设有螺旋凹槽，所述螺旋凹槽中设有加热丝。8.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述加热丝由钨或镍铬构成。9.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述坩祸底设有热电偶。10.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述坩祸底设有加热丝。
【文档编号】C23C14/26GK205420533SQ201620248835
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2016年3月25日
【发明人】万想, 孙力
【申请人】合肥鑫晟光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司