一种立式吊盖离子镀膜设备的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及镀膜设备领域，特别涉及一种立式吊盖离子镀膜设备，包括电磁加热盘，大口径不锈钢镜面管抽气管，所述电磁加热盘链接在扩散泵底部，所述相邻大口径不锈钢镜面管抽气管之间、所述大口径不锈钢镜面管抽气管与所述立式吊盖离子镀膜设备其他部分之间均采用法兰链接，两个相邻法兰之间用螺栓固定。本实用新型解决现有离子镀膜设备加工效率低、加工效果不好的问题，同时达到节能效果。
【专利说明】
_种立式吊盖禹子镀膜设备
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及镀膜设备领域，特别涉及一种立式吊盖离子镀膜设备。
【背景技术】
[0002]现有的立式吊盖离子镀膜设备，加工效率低，加工效果不好，究其原因，一是加热方式均采用电炉丝加热，存在升温慢、持续能耗大的问题;二是抽气机组的抽气管采用小口径碳钢制造，管内容易生锈，影响抽气速度且清理管内铁锈难度大，费时费力。该两个问题易造成镀膜加工效率低，且造成镀膜色差较大、膜层厚度不均，加工效果不好。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于，提供一种立式吊盖离子镀膜设备，解决现有立式吊盖离子镀膜设备加工效率低、加工效果不好的问题。
[0004]本实用新型一种立式吊盖离子镀膜设备，包括电磁加热盘，大口径不锈钢镜面管抽气管，所述电磁加热盘链接在扩散栗底部，所述相邻大口径不锈钢镜面管抽气管之间、所述大口径不锈钢镜面管抽气管与所述立式吊盖离子镀膜设备其他部分之间均采用法兰链接，两个相邻法兰之间用螺栓固定。
[0005]本实用新型的有益效果在于，通过解决升温慢，还通过解决小口径碳钢制造抽气管因管内生锈而导致的抽气速度慢的问题，大幅提高镀膜加工效率，同时提高加工效果。另夕卜，还达到了节能的效果。
【附图说明】
[0006]图1所示为本实用新型实施例结构示意图。
[0007]图中:1_电磁加热盘、2-大口径不锈钢镜面管抽气管、3-法兰。
【具体实施方式】
[0008]下文将结合具体附图详细描述本实用新型具体实施例。应当注意的是，下述实施例中描述的技术特征或者技术特征的组合不应当被认为是孤立的，它们可以被相互组合从而达到更好的技术效果。在下述实施例的附图中，附图所出现的相同标号代表相同的特征或者部件，可应用于不同实施例中。
[0009]如图1所示，本实用新型实施例，包括电磁加热盘I，大口径不锈钢镜面管抽气管2，所述电磁加热盘I链接在扩散栗底部，所述相邻大口径不锈钢镜面管抽气管2之间、所述大口径不锈钢镜面管抽气管2与所述立式吊盖离子镀膜设备其他部分之间均采用法兰3链接，两个相邻法兰3之间用螺栓固定。
[0010]本实用新型的有益效果在于，通过解决升温慢，还通过解决小口径碳钢制造抽气管因管内生锈而导致的抽气速度慢的问题，大幅提高镀膜加工效率，同时提高加工效果。另夕卜，还达到了节能的效果。
[0011]本文虽然已经给出了本实用新型的一些实施例，但是本领域的技术人员应当理解，在不脱离本发明精神的情况下，可以对本文的实施例进行改变。上述实施例只是示例性的，不应以本文的实施例作为本发明权利范围的限定。
【主权项】
1.一种立式吊盖离子镀膜设备，其特征在于，包括电磁加热盘(I)和大口径不锈钢镜面管抽气管(2)，所述电磁加热盘(I)链接在扩散栗底部，相邻的所述大口径不锈钢镜面管抽气管(2)之间、所述大口径不锈钢镜面管抽气管(2)与所述立式吊盖离子镀膜设备其他部分之间均采用法兰(3)链接，两个相邻法兰(3)之间用螺栓固定。
【文档编号】C23C14/32GK205420535SQ201620125094
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2016年2月17日
【发明人】宋永斌
【申请人】青岛优百宇真空设备股份有限公司