多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置的制造方法

文档序号:10739413阅读:507来源:国知局
多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开一种多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置,包括阀座、阀盖和阀盖驱动机构,阀盖设于阀座上方,阀盖顶部与阀盖驱动机构连接;真空锁装置设于相邻两个真空室的连接处,阀座上设有供卷绕基材通过用的倾斜通孔,倾斜通孔与真空室侧壁上的进料孔连通。本真空锁装置结构简单,使用灵活而方便,所占体积较小,可直接在各真空室上加装即可,不影响真空室的现有结构,其制造成本也低。将其应用于多室卷绕镀膜系统,可将各个处理区域设置成相互独立的真空室,可方便换卷或对某一真空室进行维护,有效避免串气或镀膜区域会吸附水蒸气及空气中粉尘而造成污染的现象,防止交叉污染,从而提高产品质量。
【专利说明】
多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及卷材表面镀膜技术领域,特别涉及一种多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置。
【背景技术】
[0002]柔性智能电致变色膜是一种的新型电致变色材料,它在电场作用下具有光吸收透过的可调节性,可选择地吸收或反射外界的热辐射和内部的热扩散,减少夏季保持凉爽和冬季保持温暖而必须消耗的大量能源,同时起到改善自然光照程度、防窥的目的。目前常用于智能窗、防炫目后视镜、高档轿车和飞机上的调光玻璃灯等变色用途,是一种市场需求量较大的产品。
[0003]目前,挠性线路板的加工设备都是采用一体式真空室的结构,即将水冷鼓、收卷辊和放卷辊设于同一真空室内,在同一腔体内完成整个镀膜工艺。但在实践中,每加工完一卷材料,进行换卷时,真空室内的所有机构都处于大气状态下,这样镀膜区域会吸附水蒸气及空气中粉尘,造成污染,从而难以得到高品质膜层。同时,每次进行镀膜前都需重新抽真空,镀膜周期加长,生产效率低。另外,每次进行镀膜前都需重新充入反应或保护气体,成本高。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,针对包含多个真空室的卷绕镀膜系统,提供一种结构简单、可有效保持各真空室的洁净度和真空度的真空锁装置。
[0005]本实用新型的技术方案为:一种多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置,包括阀座、阀盖和阀盖驱动机构,阀盖设于阀座上方,阀盖顶部与阀盖驱动机构连接;真空锁装置设于相邻两个真空室的连接处,阀座上设有供卷绕基材通过用的倾斜通孔,倾斜通孔与真空室侧壁上的进料孔连通。
[0006]所述阀座上,倾斜通孔的进口端位于阀座的顶面上,倾斜通孔的出口端位于阀座的侧壁上,出口端与真空室侧壁上的进料孔相连接。
[0007]所述阀盖的底面为平面,阀座的顶面也为平面,保证阀盖关闭时,阀盖与阀座之间贴紧处于密封状态,阀座的侧壁与真空室侧壁固定连接。
[0008]所述真空锁装置处于关闭状态时,阀盖的底面与阀座的顶面紧密相接,且阀盖底面覆盖于倾斜通孔的进口端上。
[0009]所述阀座的截面形状为三角形,倾斜通孔的进口端位于阀座的顶面中部,倾斜通孔的出口端位于阀座的侧壁中部。
[0010]所述倾斜通孔的截面形状为长条状的矩形或跑道形,其形状主要是配合卷绕基材的截面形状即可。
[0011]所述阀盖的截面形状为倒置的T形,便于利用气缸的动力,使阀盖底面贴紧于阀座顶面上,从而实现密封的目的。
[0012]所述阀盖驱动机构包括气动件和密封座,阀盖和阀座设于相邻两个真空室中的一个真空室内,气动件通过密封座固定于该真空室的外壁上,气动件的末端伸入真空室内,并与阀盖的顶面固定连接;阀盖驱动机构带动阀盖上升或下降,阀盖上升时,真空锁装置处于开启状态,阀盖下降时,真空锁装置处于关闭状态。
[0013]所述气动件为气缸。
[0014]上述真空锁装置应用于多室卷绕镀膜系统时,其工作原理是:在镀膜系统正常进行镀膜工艺时,真空锁装置处于开启状态;当需要进行换卷或对某个真空室进行维护时,关闭真空锁装置,开启相应的真空室即可。关闭真空锁装置时,启动气动件,气动件推动阀盖下降,直至阀盖底面贴紧于阀座顶面上,使阀盖底面覆盖于倾斜通孔的进口端,从而将相邻的两个真空室隔离,各自形成独立的腔体,以保证不需要开启的真空室内的洁净度和真空度。
[0015]本实用新型相对于现有技术,具有以下有益效果:
[0016]本真空锁装置结构简单,使用灵活而方便,所占体积较小,可直接在各真空室上加装即可,不影响真空室的现有结构,其制造成本也低。
[0017]将本真空锁装置应用于多室卷绕镀膜系统,可将各个处理区域设置成相互独立的真空室,可方便换卷或对某一真空室进行维护,有效避免串气或镀膜区域会吸附水蒸气及空气中粉尘而造成污染的现象,防止交叉污染,从而提高产品质量。同时,无需在每次进行镀膜前都重新抽真空,缩短镀膜周期,提高生产效率,也减少反应气体或保护气体的使用,有效降低加工成本。
【附图说明】
[0018]图1为本真空锁装置的结构示意图。
[0019]图2为图1中A方向上本真空锁装置的结构示意图。
[0020]图3为本真空锁装置在多室卷绕镀膜系统中的安装位置示意图(图中未示出阀盖驱动机构)。
【具体实施方式】
[0021]下面结合实施例,对本实用新型作进一步的详细说明,但本实用新型的实施方式不限于此。
[0022]实施例
[0023]本实施例一种多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置,如图1或图2所示,包括阀座1、阀盖2和阀盖驱动机构,阀盖设于阀座上方,阀盖顶部与阀盖驱动机构连接;真空锁装置设于相邻两个真空室3的连接处,阀座上设有供卷绕基材通过用的倾斜通孔4,倾斜通孔与真空室侧壁上的进料孔5连通。
[0024]阀座上,倾斜通孔的进口端位于阀座的顶面上,倾斜通孔的出口端位于阀座的侧壁上,出口端与真空室侧壁上的进料孔相连接。阀盖的底面为平面,阀座的顶面也为平面,保证阀盖关闭时,阀盖与阀座之间贴紧处于密封状态,阀座的侧壁与真空室侧壁固定连接。真空锁装置处于关闭状态时,阀盖的底面与阀座的顶面紧密相接,且阀盖底面覆盖于倾斜通孔的进口端上。
[0025]如图1所示,阀座的截面形状为三角形,倾斜通孔的进口端位于阀座的顶面中部,倾斜通孔的出口端位于阀座的侧壁中部。阀盖的截面形状为倒置的T形,便于利用气缸的动力,使阀盖底面贴紧于阀座顶面上,从而实现密封的目的。
[0026]如图2所示,倾斜通孔的截面形状为长条状的矩形或跑道形,其形状主要是配合卷绕基材的截面形状即可。
[0027]阀盖驱动机构包括气缸6和密封座7,阀盖和阀座设于相邻两个真空室中的一个真空室内,气缸通过密封座固定于该真空室的外壁上,气缸的末端伸入真空室内,并与阀盖的顶面固定连接;阀盖驱动机构带动阀盖上升或下降,阀盖上升时,真空锁装置处于开启状态,阀盖下降时,真空锁装置处于关闭状态。
[0028]上述真空锁装置应用于多室卷绕镀膜系统时,其安装位置如图3中的标号8所示,其工作原理是:在镀膜系统正常进行镀膜工艺时,真空锁装置处于开启状态;当需要进行换卷或对某个真空室进行维护时,关闭真空锁装置,开启相应的真空室即可。关闭真空锁装置时,启动气动件,气动件推动阀盖下降,直至阀盖底面贴紧于阀座顶面上,使阀盖底面覆盖于倾斜通孔的进口端,从而将相邻的两个真空室隔离,各自形成独立的腔体,以保证不需要开启的真空室内的洁净度和真空度。
[0029]如上所述,便可较好地实现本实用新型,上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例,并非用来限定本实用新型的实施范围;即凡依本【实用新型内容】所作的均等变化与修饰,都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。
【主权项】
1.多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置,其特征在于,包括阀座、阀盖和阀盖驱动机构,阀盖设于阀座上方,阀盖顶部与阀盖驱动机构连接;真空锁装置设于相邻两个真空室的连接处,阀座上设有供卷绕基材通过用的倾斜通孔,倾斜通孔与真空室侧壁上的进料孔连通。2.根据权利要求1所述多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置,其特征在于,所述阀座上,倾斜通孔的进口端位于阀座的顶面上,倾斜通孔的出口端位于阀座的侧壁上,出口端与真空室侧壁上的进料孔相连接。3.根据权利要求2所述多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置,其特征在于,所述阀盖的底面为平面,阀座的顶面也为平面,阀座的侧壁与真空室侧壁固定连接。4.根据权利要求2所述多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置,其特征在于,所述真空锁装置处于关闭状态时,阀盖的底面与阀座的顶面紧密相接,且阀盖底面覆盖于倾斜通孔的进口端上。5.根据权利要求2所述多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置,其特征在于,所述阀座的截面形状为三角形,倾斜通孔的进口端位于阀座的顶面中部,倾斜通孔的出口端位于阀座的侧壁中部。6.根据权利要求1所述多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置,其特征在于,所述倾斜通孔的截面形状为长条状的矩形或跑道形。7.根据权利要求1所述多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置,其特征在于,所述阀盖的截面形状为倒置的T形。8.根据权利要求1所述多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置,其特征在于,所述阀盖驱动机构包括气动件和密封座,阀盖和阀座设于相邻两个真空室中的一个真空室内,气动件通过密封座固定于该真空室的外壁上,气动件的末端伸入真空室内,并与阀盖的顶面固定连接;阀盖驱动机构带动阀盖上升或下降。9.根据权利要求8所述多室卷绕镀膜系统用的真空锁装置,其特征在于,所述气动件为气缸。
【文档编号】C23C14/56GK205420539SQ201520978941
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2015年11月30日
【发明人】朱文廓, 朱刚劲, 朱刚毅
【申请人】广东腾胜真空技术工程有限公司
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