蒸镀装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种蒸镀装置，属于真空蒸镀技术领域，其可至少部分解决现有的蒸镀装置中挡板上因累积废料过多而无法顺利开启的问题。本实用新型的蒸镀装置包括蒸镀腔室，蒸镀腔室内设有材料容器和挡板，材料容器用于盛装蒸镀材料，材料容器的上表面开设有蒸镀口，挡板用于阻挡从蒸镀口中出来的蒸镀材料，挡板能在蒸镀位与停留位之间周转，还包括与材料容器相离设置的废料厚度探测单元，废料厚度探测单元包括探测元件，探测元件设置于挡板处于停留位下方设定距离的位置，用于探测挡板上累积的废料的厚度是否超过预设阀值。该蒸镀装置能及时探测到挡板上废料的厚度是否超过预设阀值，以便工作人员及时清理，避免遮挡板由于废料积累过多而无法开启。
【专利说明】
蒸镀装置
技术领域
[0001]本实用新型属于真空蒸镀技术领域，具体涉及一种蒸镀装置。
【背景技术】
[0002]近年来，有机发光二极管(organic light emitting d1de，简称0LED)显示器已经成为国内外广泛使用的显示器产品，相比于现有的液晶显示器(liquid crystaldisplay，简称LCD)，0LED具有自发光、广视角、广色域、反应时间短、工作电压低、工作温度范围广等优点。
[0003]目前，在OLED的制作过程中，无论是在实验线上还是在量产线上，对于金属阴极的成膜部分，大多采用点蒸发源类型的蒸镀装置来完成。图1为现有的蒸镀装置的结构示意图，如图1所示，蒸镀装置包括蒸镀腔室01、材料容器02、挡板03和加热器04，材料容器02用于盛装蒸镀材料，材料容器02的上表面开设有蒸镀口 05，挡板03用于阻挡从蒸镀口 05中出来的蒸镀材料。
[0004]发明人发现现有技术中至少存在如下问题:
[0005]在蒸镀过程中，需要持续完成对多个基板的蒸镀工作，相邻基板之间的蒸镀通过挡板03阻挡蒸镀口 05进行切换。在切换过程中，挡板03位于蒸镀位以阻挡蒸镀口 05，此时，由于加热器04的温度依然较高，蒸镀材料仍会从蒸镀口 05中蒸发出来，累积到挡板03的下表面。当挡板03上累积的废料的厚度达到一定值后，移动挡板03时，累积的废料会与蒸镀口05发生干涉，导致蒸镀口 05无法正常打开，并会对蒸镀口 05造成很大程度的磨损，降低蒸镀装置的使用寿命。此时，只能关闭整个装置，待工作人员清理掉挡板03上累积的废料后，才能使装置恢复正常的工作状态，导致极大地增长了工艺时间。
[0006]因此，迫切地需要设计一种蒸镀装置，该蒸镀装置能在挡板上累积的废料的厚度超过预定的阀值时，及时发出报警信号，或采用清洁单元清理累积的废料，避免挡板因废料累积过多无法开启的问题出现，缩短工艺时间。
【实用新型内容】
[0007]本实用新型为至少部分解决现有的上述问题，提供一种蒸镀装置。该蒸镀装置可以在挡板上累积的废料的厚度超过允许的最大值时，及时发出报警信号，工作人员便控制清洁单元快速地清理挡板上累积的废料。
[0008]解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是提供一种蒸镀装置，包括蒸镀腔室，所述蒸镀腔室内设有材料容器和挡板，所述材料容器用于盛装蒸镀材料，所述材料容器的上表面开设有蒸镀口，所述挡板用于阻挡从所述蒸镀口中出来的蒸镀材料，所述挡板能在蒸镀位与停留位之间周转，还包括与所述材料容器相离设置的废料厚度探测单元，所述废料厚度探测单元包括探测元件，所述探测元件设置于所述挡板处于停留位下方设定距离的位置，用于探测所述挡板上累积的废料的厚度是否超过预设阀值。
[0009]优选的是，所述探测元件包括红外发射器和红外接收器，所述红外发射器和所述红外接收器分设于所述挡板的停留位的相对两侧，所述红外发射器的发射口和所述红外接收器的接收口互相对应，所述红外发射器发出的红外线能经所述挡板的停留位下方设定距离射至所述红外接收器。
[0010]优选的是，所述红外发射器的发射口和所述红外接收器的接收口的设置位置位于所述挡板下方5?15mm处。
[0011]优选的是，还包括报警器，所述报警器与所述红外接收器电连接，所述报警器用于在所述红外接收器由接收到红外线到未接收到红外线的时刻发出报警信号。
[0012]优选的是，还包括用于清理所述挡板上累积的所述蒸镀材料的清洁单元，所述清洁单元设置于所述挡板处于停留位的正下方;所述清洁单元包括清洁钻头和旋转电机，所述清洁钻头正对所述挡板的停留位、并在朝向停留位的一侧设置有多个尖刺结构;所述旋转电机能带动所述清洁钻头旋转。
[0013]优选的是，所述清洁单元还包括升降电机，所述升降电机设置于所述清洁钻头的下方，所述升降电机能带动所述清洁钻头在竖直方向上移动。
[0014]优选的是，所述清洁单元还包括废料收集器，所述废料收集器为上端开设有开口的桶状结构，所述清洁钻头位于所述废料收集器的内部、且与所述开口相对;所述开口的尺寸不小于所述挡板的尺寸，所述挡板能经所述开口进入所述废料收集器内部。
[0015]优选的是，所述蒸镀腔室内还设置有转动臂，所述转动臂与所述挡板连接，用于带动所述挡板在蒸镀位与停留位之间切换，以遮挡或开启所述蒸镀口。
[0016]优选的是，所述蒸镀设备还包括加热器，所述加热器与所述材料容器电连接，用于加热所述材料容器所盛装的蒸镀材料。
[0017]优选的是，所述蒸镀口的形状为圆形，所述挡板的形状为与所述蒸镀口形状相适的圆形。
[0018]本实用新型的蒸镀装置，通过废料厚度探测单元探测挡板上累积的废料的厚度，当废料的厚度超过预定的阀值时，报警器发出报警信号，工作人员便控制清洁单元快速地清理挡板上累积的废料。这样，首先，可以保证挡板上累积的废料不会与蒸镀口发生干涉，挡板可以顺利地在蒸镀位与停留位之间周转，对蒸镀口不会产生磨损，延长了装置的使用寿命;其次，清洁单元能够快速有效地清理废料，缩短了工艺时间，提高了加工效率;最后，收集的蒸镀废料还能再次重复利用，降低了工艺成本。
【附图说明】
[0019]图1为现有技术中的蒸镀装置的结构示意图；
[0020]图2为本实用新型实施例中蒸镀装置的结构示意图；
[0021]其中，附图标记为:
[0022]01、蒸镀腔室;02、材料容器;03、挡板;04、加热器;05、蒸镀口 ；
[0023]1、蒸镀腔室;2、材料容器;3、挡板;4、加热器;5、蒸镀口； 6、红外发射器;7、红外接收器;8、报警器;9、清洁钻头;1、尖刺结构；11、废料收集器。
【具体实施方式】
[0024]为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细描述。
[0025]本实施例提供的蒸镀装置相比于现有的蒸镀装置，增设了废料厚度探测单元、报警器以及清洁单元，当废料厚度探测单元探测到废料的厚度超过预定的阀值时，报警器发出报警信号，工作人员便控制清洁单元快速高效地清理掉挡板上累积的废料，以保证蒸镀装置工作状态良好。
[0026]图2为本实施方式的蒸镀装置的结构示意图，如图2所示，蒸镀装置包括蒸镀腔室I，蒸镀腔室I内设有材料容器2和挡板3，材料容器2用于盛装蒸镀材料，材料容器2的上表面开设有蒸镀口 5，挡板3用于阻挡从蒸镀口 5中出来的蒸镀材料，挡板3能在蒸镀位与停留位之间周转(图2中挡板3所在的位置为蒸镀位，位于蒸镀口 5的上方，即用于实际遮挡蒸镀材料的位置;虚线的位置代表停留位，即蒸镀过程中挡板闲置、不遮挡蒸镀材料的位置)，还包括与材料容器2相离设置的废料厚度探测单元，废料厚度探测单元包括探测元件，探测元件设置于挡板3处于停留位下方设定距离的位置，用于探测挡板3上累积的废料的厚度是否超过预设阀值。
[0027]蒸镀装置还包括加热器4，加热器4与材料容器2电连接，用于加热材料容器2所盛装的蒸镀材料。当蒸镀材料被加热至一定温度后，蒸镀材料将从材料容器2中蒸发，并经蒸镀口 5蒸镀到待加工的基板上，此时，挡板3相应处在停留位。为提高蒸镀材料蒸镀时的均匀性，优选，蒸镀口 5的形状为圆形，挡板3的形状也为与蒸镀口 5形状相适的圆形。
[0028]蒸镀腔室I内还设置有转动臂，转动臂与挡板3连接，用于带动挡板3在蒸镀位与停留位之间切换，以遮挡或开启蒸镀口 5。
[0029]在蒸镀装置对基板进行蒸镀加工的过程中，挡板3在转动臂的控制下，处于停留位，材料容器2中的蒸镀材料从蒸镀口 5蒸发出来，完成对基板的蒸镀加工;在蒸镀装置切换基板的过程中，挡板3在转动臂的控制下，处于蒸镀位，此时，蒸镀材料仍具有较高温度，会持续蒸发出来，并以一定速度冲击挡板3并累积在挡板3的下表面，当挡板3上累积的废料到达一定厚度后，挡板3从蒸镀位移至停留位将受到阻碍。
[0030]本实施例的蒸镀装置中，探测元件包括红外发射器6和红外接收器7，红外发射器6和红外接收器7分设于挡板3的停留位的相对两侧，红外发射器6的发射口和红外接收器7的接收口互相对应，红外发射器6发出的红外能经挡板3的停留位下方设定距离射至红外接收器7。通过红外发射器6和红外接收器7，在停留位测量挡板3下方的废料的材料并根据情况选择进一步的清洁工作，可选择在蒸镀过程中进行，因此不会造成工艺时间的延长。
[0031]为了充分保证挡板3在移动过程中不会受到阻碍，优选的是，将红外线设置在挡板下方5?15_处，也就是说，红外发射器6的发射口和红外接收器7的接收口的设置位置位于挡板下方5?15mm处。
[0032]蒸镀装置还包括报警器8，报警器8与红外接收器7电连接，用于在红外接收器7由接收到红外线到未接收到红外线的时刻发出报警信号。也就是说，挡板3的下表面上的废料，在工作过程中不断增多，当废料增多到阻断红外发射器6与红外接收器7之间的红外线时，报警器8发出报警信号，通知工作人员及时清理挡板3上累积的废料。
[OO3 3 ]例如，将红外线设置在挡板下方I Omm处，则废料的厚度允许的阀值为I Omm，如果挡板3下方累积的废料的厚度超过10_，废料将会阻断红外线，从而触发报警器8。
[0034]容易理解的是，报警器8可以设置在蒸镀腔室I内部，也可以设置在蒸镀腔室I夕卜部、并通过连接线与红外接收器7电连接。
[0035]为了能够快速有效地清理挡板3上的废料，蒸镀装置还包括清洁单元，清洁单元设置于挡板3处于停留位的正下方;清洁单元包括清洁钻头9和旋转电机，清洁钻头9正对挡板的停留位、并在朝向停留位的一侧设置有多个尖刺结构10;旋转电机能带动清洁钻头9旋转，以清洁挡板3下方的废料。
[0036]清洁单元还包括升降电机，升降电机设置于清洁钻头9的下方，升降电机能带动清洁钻头9在竖直方向上移动。当开始清理挡板3下方的废料时，便通过升降电机控制清洁钻头9向挡板3靠近，直到尖刺结构10接触到挡板3下方的废料。
[0037]这样，清洁钻头9可在旋转电机与升降电机的协同控制下，实现旋转运动和上下运动，从而准确、灵活地清理掉挡板3下方的废料。
[0038]清洁钻头9的形状优选为圆柱形，尖刺结构10均匀地分布在圆柱形朝向挡板3停留位的表面上，以便有效地清理掉挡板3下方的废料。
[0039]为进一步缩短工艺时间、提高加工效率，可设置清洁单元直接与红外接收器7电连接，当红外接收器7由接收到红外线到未接收到红外线时，直接触发清洁单元工作，自动对挡板3开始清理累积的废料，并在清理预设时长后，自动停止清理，并回归原来位置。这样可显著提高装置的自动化程度，提高加工效率。
[0040]为了保持蒸镀腔室I内的整洁，防止清洁钻头9从挡板3上清理下来的废料四处飞溅造成蒸镀腔室内环境污染，清洁单元还包括废料收集器11，废料收集器11为上端开设有开口的桶状结构，清洁钻头9位于废料收集器11的内部、且与开口相对;开口的尺寸不小于挡板3的尺寸，挡板3能经开口进入废料收集器11内部。
[0041]这样，清洁钻头9在升降电机的作用下向上移动的过程中，废料收集器11也随着清洁钻头9向上移动、逐渐包覆挡板3。在清洁钻头9旋转地清理挡板3上的废料的过程中，清理掉的废料将散落在废料收集器11的内部，从而保持了蒸镀腔室I内的整洁，并且，收集在废料收集器11内部的废料还可以重新利用，从而提高加工的经济效益，降低工艺成本。
[0042]本实施方式提供的蒸镀装置，通过废料厚度探测单元探测挡板上累积的废料的厚度，当废料的厚度超过预定的阀值时，报警器发出报警信号，工作人员便控制清洁单元快速地清理挡板上累积的废料;或者，当废料的厚度超过预定的阀值时，使得清洁单元自动启动，开始清理工作，在清理完成后自动回归原来位置，而且利用废料收集器收集清理出来的废料。这样，首先，可以保证挡板上累积的废料不会与蒸镀口发生干涉，挡板可以顺利地在蒸镀位与停留位之间周转，避免对蒸镀口产生磨损，延长了装置的使用寿命;其次，清洁单元能够快速有效地清理废料，保证挡板能够顺利开启，缩短了工艺时间，提高了加工效率；最后，保持了蒸镀腔室内部的整洁，并实现了废料再利用，提高了经济效益。
[0043]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种蒸镀装置，包括蒸镀腔室，所述蒸镀腔室内设有材料容器和挡板，所述材料容器用于盛装蒸镀材料，所述材料容器的上表面开设有蒸镀口，所述挡板用于阻挡从所述蒸镀口中出来的蒸镀材料，所述挡板能在蒸镀位与停留位之间周转，其特征在于，还包括与所述材料容器相离设置的废料厚度探测单元，所述废料厚度探测单元包括探测元件，所述探测元件设置于所述挡板处于停留位下方设定距离的位置，用于探测所述挡板上累积的废料的厚度是否超过预设阀值。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述探测元件包括红外发射器和红外接收器，所述红外发射器和所述红外接收器分设于所述挡板的停留位的相对两侧，所述红外发射器的发射口和所述红外接收器的接收口互相对应，所述红外发射器发出的红外线能经所述挡板的停留位下方设定距离射至所述红外接收器。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述红外发射器的发射口和所述红外接收器的接收口的设置位置位于所述挡板下方5?15mm处。4.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括报警器，所述报警器与所述红外接收器电连接，所述报警器用于在所述红外接收器由接收到红外线到未接收到红外线的时刻发出报警信号。5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括用于清理所述挡板上累积的所述蒸镀材料的清洁单元，所述清洁单元设置于所述挡板处于停留位的正下方;所述清洁单元包括清洁钻头和旋转电机，所述清洁钻头正对所述挡板的停留位、并在朝向停留位的一侧设置有多个尖刺结构;所述旋转电机能带动所述清洁钻头旋转。6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述清洁单元还包括升降电机，所述升降电机设置于所述清洁钻头的下方，所述升降电机能带动所述清洁钻头在竖直方向上移动。7.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述清洁单元还包括废料收集器，所述废料收集器为上端开设有开口的桶状结构，所述清洁钻头位于所述废料收集器的内部、且与所述开口相对;所述开口的尺寸不小于所述挡板的尺寸，所述挡板能经所述开口进入所述废料收集器内部。8.根据权利要求1-7任一所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀腔室内还设置有转动臂，所述转动臂与所述挡板连接，用于带动所述挡板在蒸镀位与停留位之间切换，以遮挡或开启所述蒸镀口。9.根据权利要求1-7任一所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀设备还包括加热器，所述加热器与所述材料容器电连接，用于加热所述材料容器所盛装的蒸镀材料。10.根据权利要求1-7任一所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀口的形状为圆形，所述挡板的形状为与所述蒸镀口形状相适的圆形。
【文档编号】C23C14/24GK205501405SQ201620307876
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年4月13日
【发明人】张鹏
【申请人】京东方科技集团股份有限公司