一种双源掺杂用挡板开合控制系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种双源掺杂用挡板开合控制系统，包括蒸发源压环和与所述蒸发源压环形成配合连接的圆形挡板，所述系统还包括曲柄连杆机构和横臂梁，所述横臂梁的两端分别与两相邻的所述圆形挡板铰接，所述横臂梁与所述曲柄连杆机构固定连接，所述曲柄连杆机构上设有用于驱动所述横臂梁沿直线运动的转轴，所述转轴旋转并驱动所述横臂梁作往复移动，使两所述圆形挡板同时与其对应的所述蒸发源压环实现开合。本实用新型解决当前有机电致发光沉积系统在进行双组分掺杂的过程中存在的双源挡板开合不同步的问题，提高了双源掺杂的稳定性。
【专利说明】
一种双源掺杂用挡板开合控制系统
技术领域
[0001]本实用新型涉及有机电致发光材料应用领域，具体涉及一种双源掺杂用挡板开合控制系统，用于有机电致发光沉积系统，提高掺杂的稳定性。
【背景技术】
[0002]有机电致发光材料的沉积主要是在真空腔室内进行的，这种方式能够在不受大气环境和杂质的影响下精确地控制材料沉积的成分和比例。有机电致发光材料主要由放置于蒸发源内的高纯度源材料在加热至一定温度后蒸发得到。
[0003]—般腔室内会在基板和蒸发源中间安装一个尺寸大于基板的大档板，同时，在大档板和蒸发源之间，对应每个蒸发源都会安装一个可旋转的小挡板，其尺寸大于蒸发源开口。大挡板和小挡板均具有阻止材料通过的作用。其中，大挡板用于阻止所有蒸发源的材料在基板上的沉积，而小挡板在阻止各自对应蒸发源材料通过的同时，还可利用同时开合不同的挡板，达到多种材料掺杂共蒸的目的。
[0004]传统的小挡板多为耐高温金属材料加工而成，通常为单个团扇形状，贴近蒸发源开口，在控制材料通过的同时能够减少蒸发源热量的损失。
[0005]在利用双源进行材料掺杂的情况下，由于材料在蒸出过程中，蒸发出的粒子一般沿直线运动，为了提高掺杂的均匀性和稳定性，通常进行掺杂的两种材料会放置在相邻的两个蒸发源内。
[0006]在掺杂开始阶段需要打开各源的小挡板，对蒸发速率进行调整，由于两挡板在人为控制和机械反应上均存在差异，会大大延长速率稳定的时间，造成材料的浪费;在关闭过程中由于人为关闭挡板的先后不同和转向轴旋转速率不同，同样会造成两挡板在关闭过程中的不同步，使得单一组分出现过量的现象，影响掺杂效果。
【实用新型内容】
[0007]因此，本实用新型为了解决当前有机电致发光沉积系统在进行双组分掺杂的过程中存在的双源挡板开合不同步的问题，提高双源掺杂的稳定性，本实用新型提供了一种双源掺杂用挡板开合控制系统。
[0008]所述技术方案如下:
[0009]一种双源掺杂用挡板开合控制系统，包括蒸发源压环和与所述蒸发源压环形成配合连接的圆形挡板，其特征在于，所述系统还包括曲柄连杆机构和横臂梁，所述横臂梁的两端分别与两相邻的所述圆形挡板铰接，所述横臂梁与所述曲柄连杆机构固定连接，所述曲柄连杆机构上设有用于驱动所述横臂梁沿直线运动的转轴，所述转轴旋转并驱动所述横臂梁作往复移动，使两所述圆形挡板同时与其对应的所述蒸发源压环实现开合。
[0010]所述蒸发源压环上设有导向凹槽，所述圆形挡板的下端面设有与所述导向凹槽形成滑配连接的导轨。
[0011]所述导轨深度大于所述导向凹槽的深度，其宽度小于所述导向凹槽的槽宽。
[0012]所述导向凹槽贯穿所述蒸发源压环的中心，所述导轨沿所述圆形挡板直径方向设置。
[0013]所述曲柄连杆机构包括第一连杆和第二连杆，所述第一连杆的一端与所述转轴可拆卸固定连接，所述第一连杆的另一端与所述第二连杆的一端旋转连接，所述第二连杆的另一端与所述横臂梁的中部可拆卸固定连接。
[0014]所述横臂梁为V形的非扭转结构，其两端部的连线与所述横臂梁的运动方向呈垂直设置。
[0015]所述曲柄连杆机构(3)满足关系式:1^=匕=1?1+1?3、1?3>1?2>1?1、(308€[=(232-132)/2&2;
[0016]其中:L为所述圆形挡板开合时运行的距离；
[0017]b为第二连杆的长度；
[0018]a为第一连杆的长度；
[0019]办和此为蒸发源压环的内、外半径；
[°02°] R3为圆形挡板半径，α为转轴旋转角度。
[0021]所述蒸发源压环为T型圆环，所述导向凹槽位于T型圆环平面，且其中心线通过T型圆环的中点。
[0022]所述横臂梁设置与所述曲柄连杆机构的上方，其中部与所述第二连杆的自由端通过固定销可拆卸固定连接。
[0023]所述第一连杆的驱动端带有紧固螺孔的套环，用于所述转轴的固定，所述第二连杆的自由端设有固定环，用于所述横臂梁上固定销的插入固定。
[0024]本实用新型技术方案，具有如下优点:
[0025]Α.本实用新型所提供的一种双源掺杂用挡板开合控制系统，用于有机电致发光沉积系统蒸发源的开合控制，通过曲柄连杆机构驱动位于横臂梁两端的圆形挡板沿着直线作往复移动，从而实现对相邻两挡板的同步开合，避免了单一组分出现过量的现象，提高了双源掺杂的稳定性。
[0026]B.本实用新型在蒸发源压环的上端平台上开有截面为矩形的导向凹槽，圆形挡板为下端带有与导向凹槽相匹配的导轨，挡板面积可遮蔽整个蒸发源，在曲柄连杆机构带动横臂梁移动的过程中，圆形挡板沿着导向凹槽移动，通过V型横臂梁对相邻的两圆形挡板进行连接，增强结构稳定性并实现两圆形挡板的同时开闭；连接在转轴上的第一连杆提供挡板开合动力的同时，也提高了体系的稳定性。
[0027]C.本实用新型的圆形挡板与蒸发源压环距离极小，能够有效的起到蒸发源保温和防止材料溢出的效果。
[0028]D.本实用新型所述V型横臂梁能够在连接两相邻挡板的同时对挡板起到支撑作用和传动作用，相对于可扭转的曲柄连接，本实用新型更加稳定;通过采用曲柄连杆传动方式，相较于刚性连接传动，能够在有限的腔体内实现双档板的同时运动。
【附图说明】
[0029]为了更清楚地说明本实用新型【具体实施方式】或现有技术中的技术方案，下面将对【具体实施方式】或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0030]图1为本实用新型所提供的双源掺杂用挡板的平面结构示意图；
[0031]图2为图1在挡板打开状态时的左视图；
[0032]图3为T型压环、挡板和V型横臂梁的装配前视图；
[0033]图4为T型压环、挡板和V型横臂梁的装配俯视图；
[0034]图5为曲柄连杆机构的在开合状态下的视图；
[0035]图6为曲柄连杆机构的左视图；
[0036]图7为图1中蒸发源压环的侧面视图；
[0037]图8为图1中圆形挡板的侧面视图。
[0038]图中:1-蒸发源压环;2-圆形挡板;3-曲柄连杆机构，31-第一连杆，32-第二连杆，33-导向杆;4-横臂梁;5-导向凹槽;6-导轨;7-套环;8-固定环;9-转轴;10-固定销。
【具体实施方式】
[0039]下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0040]如图1和图2所示，本实用新型提供了一种双源掺杂用挡板开合控制系统，包括蒸发源压环I和与蒸发源压环I形成配合连接的圆形挡板2，系统还包括曲柄连杆机构3和横臂梁4，横臂梁4的两端分别与两相邻的圆形挡板2铰接，横臂梁4与曲柄连杆机构3固定连接，曲柄连杆机构3上设有用于驱动横臂梁4沿直线运动的转轴9，转轴9旋转并驱动横臂梁4作往复移动，使两圆形挡板2同时与其对应的蒸发源压环I实现开合，实现了相邻两圆形挡板2的同步开合，避免了单一组分出现过量的现象，提高了双源掺杂的稳定性。
[0041]为了提高圆形挡板2与蒸发源压环I间的精准开合，如图7和图8所示，在蒸发源压环I上设有导向凹槽5，圆形挡板2的下端面设有与导向凹槽5形成滑配连接的导轨6。在曲柄连杆机构3的作用下，驱动圆形挡板2沿着导轨6与导向凹槽5的配合方向移动，其中结合图2和图3，圆形挡板2上的导轨6与蒸发源压环I的导向凹槽5的中线均通过圆形挡板2与蒸发源压环I的中点，导轨6高度大于导向凹槽5的深度，导轨6的最大长度为圆形挡板2的直径，导向凹槽5的最大长度为蒸发源压环I的直径，导向凹槽5的宽度应略大于导轨6的宽度。其中两相邻挡板2经V型横臂梁4连接，约束在蒸发源压环I的导向凹槽5内，第一连杆31的旋转角度α并推动V型横臂梁4，带动圆形挡板2沿导向凹槽5方向运动，实现两相邻圆形挡板2的同时开合。
[0042]其中的曲柄连杆机构3如图5和图6所示，包括第一连杆31和第二连杆32，第一连杆31的一端与转轴9可拆卸固定连接，第一连杆31的另一端与第二连杆32的一端旋转连接，第二连杆32的另一端与横臂梁4的中部可拆卸固定连接。其中横臂梁4优选为V形的非扭转结构，如图4所示，其两端部的连线与横臂梁4的运动方向呈垂直设置。
[0043 ] 其中的曲柄连杆机构3满足关系式:L = b = RdR3、RCI^R1、Co sa = (2a2_b2) /2a2;
[0044]其中:L为所述圆形挡板开合时运行的距离；
[0045]b为第二连杆的长度；
[0046]a为第一连杆的长度；
[0047]RjPR2为蒸发源压环的内、外半径；
[0048]R3为圆形挡板半径，α为转轴旋转角度。
[0049I图1所示挡板运动距离L满足L = b = Ri+R3，结合图2可以看出圆形挡板2在运动过程中，挡板2与蒸发源压环I始终处于咬合状态，增强了结构的稳定性。
[0050]在闭合情况下，圆形挡板2与蒸发源压环I的中点连线垂直于水平面。
[0051]当第一连杆31和第二连杆32处在同一直线上时达到最大长度，因此，第一连杆31在安装过程中应根据转轴的旋转角度选择初始安装的角度，尽可能的使第一连杆31的旋转角度α等于转轴的旋转角度。
[0052]如图5，V型横臂梁4与第二连杆32的连接采用销-孔结构，在保证连接强度的同时保证了连接的活动性能，而该结构中曲柄连杆机构3在下，V型横臂梁4在上的结构也有效的增强了 V型横臂梁4的稳定性。同时，为保证曲柄连杆机构3在运动过程中不会受到V型横臂梁4的影响，如图2所示，V型横臂梁4的高度应不低于曲柄连杆机构3所在的最大高度。
[0053]图1-4中所示连杆均可使用圆形或方形连杆进行连接。
[0054]所有配件材料均应使用耐热金属进行加工，以适应蒸镀过程中产生的热量。同时，圆形挡板2与蒸发源压环I更宜采用一体切割技术进行精确加工，曲柄连杆机构3应进一步选择高强度、高耐磨性的金属材料。
[0055]本实用新型中的蒸发源压环I为T型圆环，导向凹槽5位于T型圆环平面，且其中心线通过T型圆环的中点。横臂梁4设置与曲柄连杆机构3的上方，其中部与第二连杆32的自由端通过固定销10可拆卸固定连接。
[0056]进一步优选地，在第一连杆31的驱动端带有紧固螺孔的套环7，用于转轴9的固定，第二连杆32的自由端设有固定环8，用于横臂梁4上固定销10的插入固定。
[0057]显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。
【主权项】
1.一种双源掺杂用挡板开合控制系统，包括蒸发源压环(I)和与所述蒸发源压环(I)形成配合连接的圆形挡板(2)，其特征在于，所述系统还包括曲柄连杆机构(3)和横臂梁(4)，所述横臂梁(4)的两端分别与两相邻的所述圆形挡板(2)铰接，所述横臂梁(4)与所述曲柄连杆机构(3)固定连接，所述曲柄连杆机构(3)上设有用于驱动所述横臂梁(4)沿直线运动的转轴(9);所述转轴(9)旋转并驱动所述横臂梁(4)作往复移动，使两所述圆形挡板(2)同时与其对应的所述蒸发源压环(I)实现开合。2.根据权利要求1所述的双源掺杂用挡板开合控制系统，其特征在于，所述蒸发源压环(I)上设有导向凹槽(5)，所述圆形挡板(2)的下端面设有与所述导向凹槽(5)形成滑配连接的导轨(6)。3.根据权利要求2所述的双源掺杂用挡板开合控制系统，其特征在于，所述导轨(6)深度大于所述导向凹槽(5)的深度，其宽度小于所述导向凹槽(5)的槽宽。4.根据权利要求3所述的双源掺杂用挡板开合控制系统，其特征在于，所述导向凹槽(5)贯穿所述蒸发源压环(I)的中心，所述导轨(6)沿所述圆形挡板(2)直径方向设置。5.根据权利要求1所述的双源掺杂用挡板开合控制系统，其特征在于，所述曲柄连杆机构(3)包括第一连杆(31)和第二连杆(32)，所述第一连杆(31)的一端与所述转轴(9)可拆卸固定连接，所述第一连杆(31)的另一端与所述第二连杆(32)的一端旋转连接，所述第二连杆(32)的另一端与所述横臂梁(4)的中部可拆卸固定连接。6.根据权利要求5所述的双源掺杂用挡板开合控制系统，其特征在于，所述横臂梁(4)为V形的非扭转结构，其两端部的连线与所述横臂梁(4)的运动方向呈垂直设置。7.根据权利要求6所述的双源掺杂用挡板开合控制系统，其特征在于，所述曲柄连杆机构(3)满足关系式丄=匕=1?1+1?3、1?3>1?2>1?1、。08€[=(2&2-132)/2&2; 其中:L为所述圆形挡板开合时运行的距离； b为第二连杆的长度； a为第一连杆的长度； R1和R2为蒸发源压环的内、外半径； R3为圆形挡板半径，α为转轴旋转角度。8.根据权利要求1-7任一所述的双源掺杂用挡板开合控制系统，其特征在于，所述蒸发源压环(I)为T型圆环，所述导向凹槽(5)位于T型圆环平面，且其中心线通过T型圆环的中点。9.根据权利要求8所述的双源掺杂用挡板开合控制系统，其特征在于，所述横臂梁(4)设置与所述曲柄连杆机构(3)的上方，其中部与所述第二连杆(32)的自由端通过固定销(10)可拆卸固定连接。10.根据权利要求9所述的双源掺杂用挡板开合控制系统，其特征在于，所述第一连杆(31)的驱动端带有紧固螺孔的套环(7)，用于所述转轴(9)的固定，所述第二连杆(32)的自由端设有固定环(8)，用于所述横臂梁(4)上固定销(10)的插入固定。
【文档编号】C23C14/24GK205529003SQ201620114856
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年2月4日
【发明人】范洪涛, 李轶文, 邵爽, 任雪艳
【申请人】固安鼎材科技有限公司